一种基板抛光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基板抛光装置，包括底板

【技术实现步骤摘要】
一种基板抛光装置


[0001]本技术涉及抛光装置
，具体为一种基板抛光装置
。

技术介绍

[0002]半导体材料是一种常见的用于制作集成电路或者半导体元器件的材料，具有一定的导电能力且结构稳定，而基板通常是指半导体基板，为半导体元器件的基本载体，但半导体基板一般无法直接进行使用，需要先根据要求使用抛光装置等设备对基板进行加工
。
[0003]然而如公开号为
CN215470345U
，授权公告日为
20220111
的一种用于半导体材料基板的抛光装置虽然能够在抛光基板时收集碎屑，但仅通过重力作用来实现碎屑的收集，使得装置收集碎屑的能力不足，从而导致装置不易充分阻挡飞溅的碎屑，使得碎屑易飞溅到周围环境中造成污染，降低了装置的实用性
。
[0004]针对上述问题，急需在原有基板抛光装置的基础上进行创新设计
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种基板抛光装置，以解决上述
技术介绍
提出现有的基板抛光装置收集碎屑的能力不足，从而导致装置不易充分阻挡飞溅的碎屑，使得碎屑易飞溅到周围环境中造成污染，降低了装置实用性的问题
。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基板抛光装置，包括底板
、
抛光盘和马达，所述底板的上表面边侧固定安装有收集筒，且收集筒的一端外壁设置有集尘机构，并且收集筒另一端的上表面固定连接有抛光仓，而且抛光仓的内壁固定连接有定位座，所述抛光仓的外壁固定安装有支架，且支架的内壁活动连接有传动杆，并且传动杆的上下两端分别固定有方杆以及副锥齿轮，所述抛光仓的上端外壁套设有盖板，且盖板的中心处内壁活动连接有驱动杆，并且盖板的端部外壁固定安装有定位臂，所述支架边侧的底板上表面固定设置有马达
。
[0007]优选的，所述集尘机构包括套环和滤袋，且套环螺纹连接于收集筒的端部外壁，并且套环的外壁固定连接有滤袋
。
[0008]优选的，所述抛光仓和盖板组成滑动结构，且盖板远离定位臂的端部内壁活动连接有旋钮，并且旋钮分别与抛光仓以及盖板螺纹设置
。
[0009]优选的，所述支架和底板固定连接，且支架和传动杆旋转连接
。
[0010]优选的，所述方杆的外壁滑动安装有套筒，且套筒和定位臂旋转设置，并且套筒的上端外壁通过链轮机构和驱动杆的上端外壁相连接，而且驱动杆和盖板旋转设置，同时驱动杆的下端部固定安装有抛光盘，所述驱动杆边侧的盖板上表面开设有孔洞
。
[0011]优选的，所述马达的输出轴端部固定连接有动力杆，且动力杆的外壁固定安装有主锥齿轮
。
[0012]优选的，所述主锥齿轮和副锥齿轮啮合连接
。
[0013]优选的，所述动力杆和收集筒组成转动结构，且收集筒内部的动力杆外壁固定安
装有扇叶
。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过基板的移动，使得基板插入定位座中，再通过盖板的下移，使得盖板密封抛光仓，同时盖板带动抛光盘贴合基板，接着通过旋钮的转动，使得盖板稳定贴合抛光仓，接下来启动马达，使得马达带动动力杆旋转，然后马达带动主锥齿轮旋转，使得主锥齿轮带动副锥齿轮旋转，接着通过副锥齿轮带动传动杆旋转，使得方杆带动套筒旋转，接下来套筒通过链轮机构旋转带动驱动杆旋转，从而使得驱动杆带动抛光盘旋转对基板进行抛光，此时盖板和抛光仓对飞溅的碎屑进行阻挡，并且随着动力杆的旋转，使得扇叶转动带动装置内部的空气流动进入滤袋中，从而使得空气流动带动抛光仓内部的碎屑进入滤袋中，进而使得装置对基板进行抛光时充分阻挡飞溅的碎屑，且使得碎屑集中到滤袋中，加强了装置收集碎屑的能力，避免碎屑飞溅到周围环境中造成污染
。
附图说明
[0015]图1为本技术正剖结构示意图；
[0016]图2为本技术盖板上移状态正剖结构示意图；
[0017]图3为本技术盖板俯视结构示意图；
[0018]图4为本技术盖板正剖结构示意图；
[0019]图5为本技术定位座俯视结构示意图
。
[0020]图中：
1、
底板；
2、
收集筒；
3、
集尘机构；
301、
套环；
302、
滤袋；
4、
抛光仓；
5、
定位座；
6、
支架；
7、
传动杆；
8、
方杆；
9、
副锥齿轮；
10、
套筒；
11、
定位臂；
12、
盖板；
13、
驱动杆；
14、
抛光盘；
15、
旋钮；
16、
马达；
17、
动力杆；
18、
主锥齿轮；
19、
扇叶
。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0022]请参阅图1‑5，本技术提供一种技术方案：一种基板抛光装置，包括底板
1、
收集筒
2、
集尘机构
3、
套环
301、
滤袋
302、
抛光仓
4、
定位座
5、
支架
6、
传动杆
7、
方杆
8、
副锥齿轮
9、
套筒
10、
定位臂
11、
盖板
12、
驱动杆
13、
抛光盘
14、
旋钮
15、
马达
16、
动力杆
17、
主锥齿轮
18
和扇叶
19
，底板1的上表面边侧固定连接有收集筒2，且收集筒2的一端外壁安装有集尘机构3，并且收集筒2另一端的上表面固定设置有抛光仓4，而且抛光仓4的内壁固定安装有定位座5，集尘机构3包括套环
301
和滤袋
302
，且套环
301
螺纹安装于收集筒2的端部外壁，并且套环
301
的外壁固定连接有滤袋
302
，便于旋转套环
301
安装到收集筒2的端部外壁，进行滤袋
302
的安装，从而使得滤袋
302
对空气进行过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种基板抛光装置，包括底板
(1)、
抛光盘
(14)
和马达
(16)
，其特征在于：所述底板
(1)
的上表面边侧固定安装有收集筒
(2)
，且收集筒
(2)
的一端外壁设置有集尘机构
(3)
，并且收集筒
(2)
另一端的上表面固定连接有抛光仓
(4)
，而且抛光仓
(4)
的内壁固定连接有定位座
(5)
，所述抛光仓
(4)
的外壁固定安装有支架
(6)
，且支架
(6)
的内壁活动连接有传动杆
(7)
，并且传动杆
(7)
的上下两端分别固定有方杆
(8)
以及副锥齿轮
(9)
，所述抛光仓
(4)
的上端外壁套设有盖板
(12)
，且盖板
(12)
的中心处内壁活动连接有驱动杆
(13)
，并且盖板
(12)
的端部外壁固定安装有定位臂
(11)
，所述支架
(6)
边侧的底板
(1)
上表面固定设置有马达
(16)。2.
根据权利要求1所述的一种基板抛光装置，其特征在于：所述集尘机构
(3)
包括套环
(301)
和滤袋
(302)
，且套环
(301)
螺纹连接于收集筒
(2)
的端部外壁，并且套环
(301)
的外壁固定连接有滤袋
(302)。3.
根据权利要求1所述的一种基板抛光装置，其特征在于：所述抛光仓
(4)
和盖板
(12)
组成滑动结构，且盖板
(12)
远离定位...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎华，
申请(专利权)人：苏州惠力达半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：