一种扩散装置和扩散设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种扩散装置和扩散设备，涉及光伏技术领域，以解决面向间隔处的待处理电池片上沉积的处理材料过多，致使其方块电阻值偏低，进而导致处理后的电池片的转换效率偏低的问题。所述扩散装置包括：承载件和挡板组件。承载件具有承载空间，挡板组件上开设有至少一个通孔。沿承载件的长度方向，至少两个挡板组件间隔设置于承载空间内，并将承载空间划分为交替排列的至少一个第一空间和至少一个第二空间，多个工件间隔设置于第一空间。沿承载件的长度方向，通孔具有相对的第一端和第二端，第二端靠近工件，通孔的第二端的开口区域面积小于通孔的第一端的开口区域面积。本实用新型专利技术还提供了一种扩散设备，包括上述技术方案所述的扩散装置。方案所述的扩散装置。方案所述的扩散装置。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散装置和扩散设备


[0001]本技术涉及光伏
，尤其涉及一种扩散装置和扩散设备。

技术介绍

[0002]在制作太阳能电池的过程中，通常需要经过扩散设备的处理。一般情况下，是将待处理电池片放置在石英舟中，之后将承载有待处理电池片的石英舟放置在扩散炉中进行处理。
[0003]在实际放置待处理电池片时，多个待处理电池片为一组。具体的，每一组中相邻两个待处理电池片之间具有一定间隙，相邻两组之间具有较大间隔(为了后期便于描述定义为第一间隔)。并且，靠近石英舟的两端，待处理电池片与石英舟端部之间也具有较大间隔(为了后期便于描述定义为第二间隔)。
[0004]由于第一间隔和第二间隔的尺寸相较于其他位置的间隙尺寸大，例如，待处理电池片之间的间距(即间隙)为2.7mm，待处理电池片与石英舟端部之间的间距(即第二间隔)为14mm，相邻两组之间的间距(即第一间隔)为30mm。此时，第一间隔和第二间隔处的气体流与其他位置的气流不一致(气体在炉管内会在待处理电池片的边缘发生混乱，间隔越大越容易产生)，正常位置间隙不会产生湍流。基于此，会导致直接面向间隔处的待处理电池片(后续简称为端部电池片)上沉积的处理材料(例如磷源)过多，致使端部电池片的方块电阻值偏低，进而导致处理后的端部电池片的转换效率偏低。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种扩散装置和扩散设备，用于提高面向间隔处的待处理电池片的方块电阻值，以提高处理后电池片的转换效率。
[0006]为了实现上述目的，第一方面，本技术提供了一种扩散装置。该扩散装置包括：承载件和挡板组件。承载件具有承载空间，挡板组件上开设有至少一个通孔。沿承载件的长度方向，至少两个挡板组件间隔设置于承载空间内。至少两个挡板组件将承载空间划分为至少一个第一空间和至少一个第二空间，第一空间和第二空间交替排列，多个工件间隔设置于第一空间内。沿承载件的长度方向，通孔具有相对的第一端和第二端，第二端靠近工件，通孔的第二端的开口区域面积小于通孔的第一端的开口区域面积。
[0007]上述工件可以是待处理电池片或其它非电池片类结构。下面以待处理电池片为例进行描述，应理解，以下描述仅用于理解，不用于具体限定。进一步地，为了便于描述，后续将待处理电池片简称为电池片。此外，沿用前文将面向间隔处的待处理电池片简称为端部电池片这一描述。在本技术提供的扩散装置中，由于挡板组件上开设有至少一个通孔，此时，相比于现有技术中没有通孔的挡板，本技术提供的挡板组件可以确保工艺气体在第一空间和第二空间内正常流通和循环，以提高挡板组件与端部电池片之间(即间隔位置处)的工艺气体扩散的均匀性以及提高在端部电池片上沉积的材料的均匀性。进一步地，由于多个电池片间隔设置于第一空间内，并且第一空间和第二空间是由挡板组件划分形成
的。此时，挡板组件可以用于阻挡在端部电池片上沉积材料(即工艺气体中含有的材料)，以减少或避免出现端部电池片上材料沉积量过多的情况。基于此，可以提高端部电池片的方块电阻值，进而提高处理后端部电池片的转换效率。再进一步地，由于通孔中靠近工件的第二端的开口区域面积，小于通孔的第一端的开口区域面积。此时，在工艺气体流通过程中，工艺气体先经过较大的一端进入通孔内部，以减少或避免因通孔入口较小，导致工艺气体受到较大阻力无法顺利进入通孔内部的情况。
[0008]在一种实现方式中，沿靠近工件的方向，通孔的开口区域面积逐渐减小。
[0009]采用上述技术方案的情况下，可以使工艺气体通过通孔的流量逐渐减小。此时，不仅可以使工艺气体顺利进入通孔内部，达到端部电池片。同时，还可以使沉积在端部电池片上的材料的含量符合实际需要，以减少或避免出现端部电池片上材料沉积量过多的情况。进一步地，由于通孔的开口区域面积逐渐减小，此时，可以逐渐降低通孔内工艺气体的含量。基于此，有利于沉积在端部电池片处的工艺气体中的材料与端部电池片反应，以提高处理后端部电池片的质量。
[0010]在一种实现方式中，工件与挡板组件相互平行。此时，有利于通过通孔的工艺气体均到达工件上，避免工件上材料沉积量不足。
[0011]在一种实现方式中，上述挡板组件包括至少三个挡板，每一挡板上均开设有至少一个通孔，相邻两个挡板抵接，并且沿承载件的长度方向，相邻两个挡板中相对设置的两个通孔连通。此时，可以减少沉积在挡板组件上的材料的含量，提高材料的利用率。
[0012]在一种实现方式中，上述挡板组件包括至少三个挡板，每一挡板上均开设有至少一个通孔，相邻两个挡板间隔设置，且沿承载件的长度方向，相邻两个挡板中相对设置的两个通孔连通。间隔设置的挡板更有利于工艺气体的流通和循环，有利于处理电池片。相邻两个挡板之间的间距，大于或等于相邻两个工件之间的间距，且小于或等于相邻两个工件之间间距的五倍。此时，可以保证沉积在端部电池片上的材料含量满足实际需要。
[0013]此外，上述挡板组件中挡板的设置方式选择性较多，此时，可以根据实际需要进行设置。基于此，可以使挡板组件适应不同的应用场景，进而扩大扩散装置的适用范围。
[0014]在一种实现方式中，沿承载件的长度方向，挡板组件与相邻的工件之间具有第一间隔，相邻两个工件之间具有第二间隔，第一间隔的长度等于第二间隔的长度。
[0015]采用上述技术方案的情况下，由于存在第一间隔和第二间隔，此时，可以确保工艺气体在每个电池片的四周均正常流通和循环，进而提高所有电池片上沉积的材料的均匀性。进一步地，由于第一间隔的长度等于第二间隔的长度，此时，可以使端部电池片与其他位置的电池片上沉积的材料含量基本一致或一致，以减小处理后所有电池片之间的质量差值。
[0016]在一种实现方式中，沿承载件的长度方向，相邻两个挡板组件之间具有第三间隔，挡板组件与相邻的承载件内壁之间具有第四间隔。第三间隔的长度和第四间隔的长度均大于第一间隔的长度。
[0017]采用上述技术方案的情况下，由于存在第三间隔和第四间隔，此时，可以进一步确保工艺气体在每个电池片的四周均正常流通和循环，进而进一步提高所有电池片上沉积的材料的均匀性。
[0018]在一种实现方式中，每一挡板上开设的通孔均具有中心轴线，相邻两个挡板中相
对设置的两个通孔的中心轴线共线。
[0019]采用上述技术方案的情况下，相较于中心轴线不共线但是工艺气体可以沿直线流通的情况，本技术提供的中心轴线共线的通孔，可以减小同一挡板组件中多个挡板上通孔的尺寸，即可以增加挡板中的实体部分。此时，不仅可以确保工艺气体正常流通，同时还可以增强挡板的阻挡作用，以加强挡板对端部电池片的保护作用，进一步减少或避免出现端部电池片上材料沉积量过多的情况。
[0020]在一种实现方式中，上述通孔的横截面形状包括三角形、矩形或弧形与线段构成的封闭图形。
[0021]采用上述技术方案的情况下，上述通孔的横截面形状多种多样，为工作人员增加了选择性。并且，上述通孔的横截面形状可以根据实际情况进行设置，此时可以使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散装置，其特征在于，包括：承载件，具有承载空间；挡板组件，所述挡板组件上开设有至少一个通孔；沿所述承载件的长度方向，至少两个所述挡板组件间隔设置于所述承载空间内，至少两个所述挡板组件将所述承载空间划分为至少一个第一空间和至少一个第二空间，所述第一空间和所述第二空间交替排列；多个工件间隔设置于所述第一空间内；沿所述承载件的长度方向，所述通孔具有相对的第一端和第二端，所述第二端靠近所述工件，所述通孔的第二端的开口区域面积小于所述通孔的第一端的开口区域面积。2.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，沿靠近所述工件的方向，所述通孔的开口区域面积逐渐减小。3.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，所述工件与所述挡板组件相互平行。4.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，所述挡板组件包括至少三个挡板，每一所述挡板上均开设有至少一个所述通孔；相邻两个所述挡板抵接，并且沿所述承载件的长度方向，相邻两个所述挡板中相对设置的两个所述通孔连通。5.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，所述挡板组件包括至少三个挡板，每一所述挡板上均开设有至少一个所述通孔；相邻两个所述挡板间隔设置，且沿所述承载件的长度方向，相邻两个所述挡板中相对设置的两个所述通孔连通；相邻两个所述挡板之间的间距，大于或等于相邻两个所述工件之间的间距，且小于或等于相邻两个所述工件之间间距的五倍。6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛晓歌，涂宏波，王续，王华，苏一峰，马逸凡，陈礼军，夏磊，
申请(专利权)人：陕西隆基乐叶光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：