扩散炉制造技术

本实用新型专利技术适用于太阳能电池制造技术领域，提供了一种扩散炉，扩散炉的第一进气管设置在炉体上且用于连接外部气源，第二进气管设置在炉门上且用于向炉腔内供气。在炉门封闭炉口时，第二进气管的进气端与第一进气管的出气端对接。在炉门打开炉口时，第二进气管的进气端与第一进气管的出气端分离。如此，将第二进气管设置在炉门上可以直接在炉门侧通过炉口向炉腔内供气，可以有效的避免气管设置在尾端沿炉腔的侧壁延伸太长而容易造成碰撞事故，并且气管可以根据需要做成不同的形状，位置布置更加灵活，同时也可以避免某些气体(如硅烷)进入过程中被加热产生沉积物堵塞气管，同时也便于维修和更换。于维修和更换。于维修和更换。

【技术实现步骤摘要】
扩散炉


[0001]本技术涉及太阳能电池制造
，尤其涉及一种扩散炉。

技术介绍

[0002]在制造太阳能电池时，通常将硅片放置在扩散炉内，然后向扩散炉内通入气体并加热以对硅片进行扩散处理。在相关技术的扩散炉中，进气管通常设置在扩散炉的炉尾，在这样的情况下，当气管口需在放在炉口附近时，从炉尾进入的气管需要一直延伸到炉口，气管太长容易弯曲造成碰撞事故，而为了避免气管与产品碰撞，气管只能布置在扩散炉内的管壁附近，布置位置不灵活。并且，对于某些气体(如硅烷)，若从炉尾进入经过一段长气管到达炉口，气体会被加热产生沉积物堵塞气管，并且，将气管设置在尾端伸入至炉管内不便于维修和更换。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种扩散炉，旨在解决现有技术中扩散炉的进气管布置位置不灵活、从炉尾进入经过一段长气管到达炉口时气体会被加热产生沉积物堵塞气管以及气管不便于维修和更换的技术问题。
[0004]本技术是这样实现的，本技术实施例的扩散炉包括：
[0005]炉体，所述炉体形成有炉腔，所述炉腔的一端开放形成有炉口；
[0006]炉门，所述炉门设置在所述炉口所在的一侧，所述炉门与所述炉体活动连接以使所述炉门打开或者封闭所述炉口；
[0007]第一进气管，所述第一进气管设置在所述炉体上且用于连接外部气源；和
[0008]第二进气管，所述第二进气管设置在所述炉门上且用于向所述炉腔内供气；
[0009]其中，在所述炉门封闭所述炉口时，所述第二进气管的进气端与所述第一进气管的出气端对接，在所述炉门打开所述炉口时，所述第二进气管的进气端与所述第一进气管的出气端分离。
[0010]更进一步地，所述第一进气管的出气端形成有出气接口，所述第二进气管的进气端形成有进气接口，在所述炉门封闭所述炉口时，所述进气接口和所述出气接口对接。
[0011]更进一步地，所述第一进气管的出气端和所述第二进气管的进气端中的至少一个上设有密封垫。
[0012]更进一步地，所述第一进气管的出气端固定连接在所述炉体的外侧，所述第二进气管的出气端固定连接在所述炉门上并穿设所述炉门，所述第二进气管的进气端位于所述炉门的外侧与所述第一进气管的出气端对应的位置。
[0013]更进一步地，所述第一进气管的出气端嵌入在所述炉体上且位于所述炉腔内，所述第二进气管的进气端设于所述炉门上。
[0014]更进一步地，所述第一进气管的出气端与所述炉体形成有所述炉口的端面平齐，所述第二进气管的进气端与所述炉门朝向所述炉口的端面平齐。
[0015]更进一步地，所述第二进气管的出气端上的出气口位于所述炉门的中心位置。
[0016]更进一步地，所述第一进气管的数量为多根，所述第二进气管的数量也为多根，所述第一进气管与所述第二进气管一一对应；或者
[0017]所述第二进气管具有多个进气端，所述第一进气管的数量为多根，每个所述第二进气管的进气端对应一根所述第一进气管；或者
[0018]所述第一进气管具有多个出气端，所述第二进气管具有多个进气端，所述第二进气管的进气端与所述第一进气管的出气端一一对应。
[0019]更进一步地，所述扩散炉还包括支架，所述支架用于承载待扩散元件，所述炉门上设有承载部，所述承载部与所述炉腔的内壁活动连接，所述承载部用于承载所述支架。
[0020]更进一步地，所述扩散炉还包括排气管，所述排气管设于所述炉体和/或所述炉门上。
[0021]在本技术实施例的扩散炉中，扩散炉的第一进气管设置在炉体上，第二进气管设置在炉门上，在炉门封闭炉口时，第二进气管的进气端与第一进气管的出气端对接，在炉门打开炉口时，第二进气管的进气端与第一进气管的出气端分离。如此，将第二进气管设置在炉门上可以直接在炉门侧通过炉口向炉腔内供气，可以有效的避免气管设置在尾端沿炉腔的侧壁延伸太长而容易造成碰撞事故，并且气管可以根据需要做成不同的形状，位置布置更加灵活，同时也可以避免某些气体(如硅烷)进入过程中被加热产生沉积物堵塞气管，同时也便于维修和更换。
[0022]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0023]图1是本技术提供的扩散炉在炉门处于关闭状态的立体结构示意图；
[0024]图2是本技术提供的扩散炉在炉门处于打开状态的立体结构示意图；
[0025]图3是本技术提供的扩散炉在炉门处于打开状态的另一立体结构示意图；
[0026]图4是本技术提供的扩散炉在炉门处于打开状态的又一立体结构示意图；
[0027]图5是本技术提供的扩散炉在炉门处于关闭状态的平面结构示意图；
[0028]图6是本技术提供的扩散炉在炉门处于打开状态的平面结构示意图；
[0029]图7是本技术提供的扩散炉的部分结构的立体结构示意图。
[0030]主要元件符号说明：
[0031]扩散炉100、炉体10、炉腔11、炉口111、法兰部12、炉门20、第一进气管30、第二进气管40、密封圈50、支架60、承载部70、支撑板71、密封垫80。
具体实施方式
[0032]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。此外，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本实用新
型。
[0033]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0034]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0035]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉，其特征在于，包括：炉体，所述炉体形成有炉腔，所述炉腔的一端开放形成有炉口；炉门，所述炉门设置在所述炉口所在的一侧，所述炉门与所述炉体活动连接以使所述炉门打开或者封闭所述炉口；第一进气管，所述第一进气管设置在所述炉体上且用于连接外部气源；和第二进气管，所述第二进气管设置在所述炉门上且用于向所述炉腔内供气；其中，在所述炉门封闭所述炉口时，所述第二进气管的进气端与所述第一进气管的出气端对接，在所述炉门打开所述炉口时，所述第二进气管的进气端与所述第一进气管的出气端分离。2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一进气管的出气端形成有出气接口，所述第二进气管的进气端形成有进气接口，在所述炉门封闭所述炉口时，所述进气接口和所述出气接口对接。3.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一进气管的出气端和所述第二进气管的进气端中的至少一个上设有密封垫。4.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一进气管的出气端固定连接在所述炉体的外侧，所述第二进气管的出气端固定连接在所述炉门上并穿设所述炉门，所述第二进气管的进气端位于所述炉门的外侧与所述第一进气管的出气端对应的位置。5.根据权利要求1所述的扩散炉，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊兼海，陈刚，
申请(专利权)人：浙江爱旭太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：