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本实用新型适用于太阳能电池制造技术领域,提供了一种扩散炉,扩散炉的第一进气管设置在炉体上且用于连接外部气源,第二进气管设置在炉门上且用于向炉腔内供气。在炉门封闭炉口时,第二进气管的进气端与第一进气管的出气端对接。在炉门打开炉口时,第二进气管...该专利属于浙江爱旭太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江爱旭太阳能科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型适用于太阳能电池制造技术领域,提供了一种扩散炉,扩散炉的第一进气管设置在炉体上且用于连接外部气源,第二进气管设置在炉门上且用于向炉腔内供气。在炉门封闭炉口时,第二进气管的进气端与第一进气管的出气端对接。在炉门打开炉口时,第二进气管...