炉管结构及扩散炉制造技术

本实用新型专利技术属于扩散设备技术领域，公开了一种炉管结构及扩散炉。该炉管结构包括炉管本体和防护件。该炉管本体具有内腔；该防护件设置于该炉管本体内壁，该防护件具有一接收外部热辐射的热吸收表面和一热发射表面，该热发射表面被配置为将热吸收表面接收到的外部热辐射以热传导的方式传递给位于该内腔中的片状材料。该炉管结构中的防护件能够防止扩散反应对其内壁的损害，延长使用寿命，并且防护件的热吸收表面能够接收外部热辐射，热发射表面能够以热传导的方式将热量传递给位于该内腔中的片状材料。通过上述设置，能够提升温度传递的均匀性，稳定炉管本体的内部温度，使温度的传递更稳定和均衡。传递更稳定和均衡。传递更稳定和均衡。

【技术实现步骤摘要】
炉管结构及扩散炉


[0001]本技术涉及扩散设备
，尤其涉及一种炉管结构及扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散过程在太阳能电池片的制造过程中起着至关重要的作用。通过扩散过程，在电池片内部形成PN结。目前采用的方法是将硅片放入扩散炉管中，并通入含磷的气体进行扩散。在现有的硅片扩散炉中，使用的扩散炉管一般均为石英管件。石英管长期处于高温及内外压差较大的状态下，在扩散过程中，石英管还会持续受到扩散反应的产物的影响。
[0003]现有的石英管内壁上并未增加隔绝措施，以至于石英管的内壁直接接触带腐蚀性的气体并且容易出现生成物堆积的情况。上述生成物在堆积严重时，会导致石英管发生破损。由于硅片的扩散过程需要硅片处于真空的反应场所中，所以石英管需要保证密封性能，因此在扩散反应前会对石英管内部进行抽真空处理。若石英管内部有损伤，抽真空过程中的内外压差会加剧损伤处的应力集中，从而使石英管炸裂。同时，由于石英管为透明结构，加热时炉体的热量大部分会以热辐射的形式直接透过透明石英管传递到硅片上，由于硅片在炉管内的放置位置不同，导致不同硅片间和单硅片的不同部位由于受热辐射的强度不同，从而使硅片的片间和片内方阻不一致。
[0004]因此，亟需一种炉管结构及扩散炉，以解决以上问题。

技术实现思路

[0005]根据本技术的一个方面，目的在于提供一种炉管结构，该炉管结构能够防止扩散反应对其内壁的损害，延长使用寿命，并且能够提升热量传导的均匀性，稳定内部温度，降低温控难度。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]炉管结构，包括：
[0008]炉管本体，具有内腔；
[0009]防护件，设置于所述炉管本体内壁，所述防护件具有一接收外部热辐射的热吸收表面和一热发射表面，所述热发射表面被配置为将所述热吸收表面接收到的外部热辐射以热传导的方式传递给位于所述内腔中的片状材料。
[0010]作为本技术提供的炉管结构的优选方案，所述防护件包括多个防护管本体，多个所述防护管本体沿周向逐一排布于所述炉管本体的内壁。
[0011]作为本技术提供的炉管结构的优选方案，相邻的两个所述防护管本体拼接设置。
[0012]作为本技术提供的炉管结构的优选方案，所述炉管本体的侧壁设置进气管安装位，所述防护管本体避让所述进气管安装位设置。
[0013]作为本技术提供的炉管结构的优选方案，所述防护管本体可拆卸连接于所述炉管本体的内壁。
[0014]作为本技术提供的炉管结构的优选方案，所述防护管本体的横截面为半圆形结构或方形结构。
[0015]作为本技术提供的炉管结构的优选方案，多个所述防护管本体粘接于所述炉管本体的内壁。
[0016]作为本技术提供的炉管结构的优选方案，所述防护件为一体成型的碳化硅件或氧化锆件，所述防护件可拆卸安装于所述炉管本体内壁。
[0017]作为本技术提供的炉管结构的优选方案，所述防护管本体为碳化硅管或氧化锆管。
[0018]根据本技术的另一个方面，目的在于提供一种扩散炉，所述扩散炉包括炉体主体和如上述方案任一项所述的炉管结构，所述炉管结构布置于所述炉体主体中，所述炉体主体设有加热组件，所述加热组件用于提供热辐射。
[0019]本技术的有益效果：
[0020]本技术提供的炉管结构包括炉管本体和防护件。该炉管本体具有内腔；该防护件设置于该炉管本体内壁，该防护件具有一接收外部热辐射的热吸收表面和一热发射表面，该热发射表面被配置为将接收到的外部热辐射以热传导的方式传递给位于该内腔中的片状材料。也就是说，该防护件能够对炉管本体的内壁和炉管本体的内部空间进行隔绝，防止扩散过程中的生成物在炉管本体的内壁的堆积，防止生成物对炉管本体的损害，延长炉管本体的使用寿命。同时防护件的热吸收表面能够接收外部热辐射，热发射表面能够以热传导的方式将热量传递给位于该内腔中的片状材料。通过上述设置，能够提升温度传递的均匀性，稳定炉管本体的内部温度，使温度的传递更稳定和均衡。
附图说明
[0021]图1是本技术实施例提供的炉管结构的截面示意图；
[0022]图2是图1中结构标记为A的局部放大图。
[0023]图中：
[0024]100、炉管本体；110、进气管安装位；120、管体安装件；
[0025]200、防护件；210、防护管本体。
具体实施方式
[0026]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0027]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通
过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0029]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、“左”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0030]本实施例提供了一种炉管结构及扩散炉。该扩散炉包括炉体主体和本实施例提供的炉管结构。该炉体主体设有加热组件，内部形成热场，加热组件用于提供热辐射。该炉管结构布置于该炉体主体中，能够受到加热组件的加热。
[0031]图1示出本技术实施例提供的炉管结构的截面示意图；图2示出图1中结构标记为A的局部放大图。参照图1和图2，该炉管结构包括炉管本体100以及防护件200。该炉管本体100为圆柱筒形结构，其内部中空具有内腔，该内腔为反应空间，多个片状材料于该反应空间中进行扩散过程，其中，片状材料指的是硅片。在本实施例中，该炉管本体100为透明的石英管。防护件200设置于该炉管本体100的内壁，该防护件200具有一接收外部热辐射的热吸收表面和一热发射表面。该热发射表面朝向反应空间，该热吸收本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.炉管结构，其特征在于，包括：炉管本体(100)，具有内腔；防护件(200)，设置于所述炉管本体(100)内壁，所述防护件(200)具有一接收外部热辐射的热吸收表面和一热发射表面，所述热发射表面被配置为将所述热吸收表面接收到的外部热辐射以热传导的方式传递给位于所述内腔中的片状材料。2.根据权利要求1所述的炉管结构，其特征在于，所述防护件(200)包括多个防护管本体(210)，多个所述防护管本体(210)沿周向逐一排布于所述炉管本体(100)的内壁。3.根据权利要求2所述的炉管结构，其特征在于，相邻的两个所述防护管本体(210)拼接设置。4.根据权利要求2所述的炉管结构，其特征在于，所述炉管本体(100)的侧壁设置进气管安装位(110)，所述防护管本体(210)避让所述进气管安装位(110)设置。5.根据权利要求2所述的炉管结构，其特征在于，所述防护管...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，易术，万林，屈亚运，肖阳，陈洪鑫，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：