加工设备的控制方法和加工系统技术方案

本申请提供了一种加工设备的控制方法和加工系统，其中控制方法由PLC执行，控制方法包括：响应于启动指令，根据加工设备的物理参数的实时值和设定值进行PID自动调谐，得到最优PID参数，其中启动指令用于指示PLC启动PID调节；根据最优PID参数、实时值和设定值进行PID调节，得到参考输出值；响应于参考输出值和设定值之间的误差小于预设阈值，根据参考输出值控制加工设备，以将物理参数的实时值调整至参考输出值。本申请加工设备的控制方法具有控制精准度、实时性和稳定性高，简单易实施的优点。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光伏材料或半导体材料加工，尤其涉及一种加工设备的控制方法和加工系统。

技术介绍

1、加工设备常用来对光伏材料或半导体材料做加工处理。加工过程中，通常会对加工设备相关的物理参数进行实时控制。例如，在加工设备对光伏片状材料实施化学气相沉积镀膜工艺时，会实时调控反应腔内部的温度、压力及所通入工艺流体的流量，以确保成膜质量。然而，目前常用的控制算法较为复杂，且调节时间较长，控制精准度也较差，容易影响到光伏材料或半导体材料的加工质量。

技术实现思路

1、为解决现有技术的不足，本申请提供了一种加工设备的控制方法和加工系统。

2、本申请第一方面提出一种加工设备的控制方法，控制方法由plc执行，用于控制加工设备的物理参数；控制方法包括：响应于启动指令，根据物理参数的实时值和物理参数的设定值进行pid自动调谐，得到最优pid参数；启动指令用于指示plc启动pid调节；根据最优pid参数、实时值和设定值进行pid调节，得到参考输出值；响应于参考输出值和设定值之间的误差小于预设阈值，根据参考输出值控制加工设备本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种加工设备的控制方法，其特征在于，所述控制方法由PLC执行，用于控制加工设备的物理参数；所述控制方法包括：

2.如权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述物理参数包括流量、温度、压力、线速度、角速度、角度、位移。

3.如权利要求1或2所述的控制方法，其特征在于，所述根据所述最优PID参数对所述实时值进行PID调节，得到参考输出值，包括：

4.如权利要求3所述的控制方法，其特征在于，所述响应于所述参考输出值和所述设定值之间的误差小于预设阈值，根据所述参考输出值控制所述加工设备，以将所述物理参数的实时值调整至所述参考输出值，包括：

5....

【技术特征摘要】

1.一种加工设备的控制方法，其特征在于，所述控制方法由plc执行，用于控制加工设备的物理参数；所述控制方法包括：

2.如权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述物理参数包括流量、温度、压力、线速度、角速度、角度、位移。

3.如权利要求1或2所述的控制方法，其特征在于，所述根据所述最优pid参数对所述实时值进行pid调节，得到参考输出值，包括：

4.如权利要求3所述的控制方法，其特征在于，所述响应于所述参考输出值和所述设定值之间的误差小于预设阈值，根据所述参考输出值控制所述加工设备，以将所述物理参数的实时值调整至所述参考输出值，包括：

5.如权利要求4所述的控制方法，其特征在于，在所述根据所述参考输出值和所述设定值计算所述误差之后，所述控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭永胜，庞爱锁，张武，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：