一种金属舟料车和原子层沉积设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种金属舟料车和原子层沉积设备，涉及硅片镀膜设备技术领域，用于增强金属舟组的舟腔体的密封性，提升硅片原子层沉积工艺的效果，提高硅片的良率。金属舟料车包括承载架、匀流板、尾排板和第一密封件，承载架包括支撑杆组，支撑杆组用于承载金属舟组的底部。匀流板设置于承载架，匀流板与金属舟组的舟腔体连通，用于向舟腔体内通入沉积气体。尾排板设置于承载架，尾排板与舟腔体连通，用于排出沉积气体，匀流板和尾排板分别用于夹紧设置于金属舟组的两端。第一密封件设置于匀流板靠近金属舟组一侧的安装面，使得匀流板的安装面与金属舟组一端的安装面密封连接。原子层沉积设备包括工艺腔室、金属舟和上述的金属舟料车。料车。料车。

【技术实现步骤摘要】
一种金属舟料车和原子层沉积设备


[0001]本技术涉及硅片镀膜设备
，尤其涉及一种金属舟料车和原子层沉积设备。

技术介绍

[0002]太阳能电池生产过程中，需在硅片上沉积一层氧化铝薄膜以增强钝化效果，从而提升太阳能电池转化效率。
[0003]目前，一般采用原子层沉积技术在硅片上制备氧化铝薄膜。硅片在工艺腔室内进行原子层沉积时，放置于金属舟的舟腔体中，而金属舟放置在料车上。料车与金属舟配合，使得金属舟的舟腔体处于密封状态。
[0004]但是，现有技术中，由于料车与金属舟的配合不佳，易出现舟腔体漏气的现象，致使原子层沉积工艺失败，不仅降低硅片的良率，而且影响太阳能电池生产的效率。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种金属舟料车和原子层沉积设备，用于增强金属舟组的舟腔体的密封性，提升硅片原子层沉积工艺的效果，提高硅片的良率。
[0006]为了实现上述目的，第一方面，本技术提供一种金属舟料车，用于承载金属舟组。金属舟料车包括承载架、匀流板、尾排板和第一密封件，承载架用于承载金属舟组的底部。匀流板设置于承载架，匀流板设置有第一开口，第一开口用于与金属舟组的舟腔体连通，以向舟腔体内通入沉积气体。尾排板设置于承载架上远离匀流板的一端，尾排板和匀流板形成夹设金属舟组的空间。尾排板与舟腔体连通，用于排出沉积气体。第一密封件设置于匀流板，用于紧密贴合匀流板和金属舟组。
[0007]采用上述技术方案时，本技术提供的金属舟料车，用于承载金属舟组，金属舟组具有舟腔体。具体实施时，工件放置在金属舟组的舟腔体内，以便于工件在舟腔体内进行原子层沉积工艺。金属舟料车包括匀流板和尾排板，匀流板设置有第一开口，第一开口用于与金属舟组的舟腔体连通，以向舟腔体内通入沉积气体，尾排板与舟腔体连通，用于排出沉积气体及沉积工艺产生的尾气，实现气体的流通。尾排板和匀流板形成夹设金属舟组的空间，匀流板用于紧密贴合于金属舟组的一端，尾排板用于紧密贴合于金属舟组的另一端，以实现金属舟组的两端分别与匀流板和尾排板的密封接触，避免舟腔体与匀流板和尾排板连接处发生漏气的现象，出现外部气体进入舟腔体的情况。另外，金属舟料车还包括承载架，匀流板和尾排板均设置于承载架，承载架为匀流板和尾排板提供支撑力。承载架用于承载金属舟组的底部，以免金属舟组在重力作用下相对于匀流板和尾排板下沉，出现金属舟组偏移匀流板和尾排板的现象，降低舟腔体的密封性。不仅如此，本技术提供的金属舟料车还包括设置于匀流板靠近金属舟组一侧的第一密封件，第一密封件用于紧密贴合匀流板和金属舟组，使得匀流板与金属舟组密封连接，以增强匀流板与金属舟组连接的密封性，进一步地提升舟腔体的密封性，从而可提高工件在舟腔体内进行原子层沉积工艺的效果。
[0008]在一种可能的实现方式中，金属舟组包括单个或多个依次排布的金属舟，金属舟料车还包括第二密封件，设置于尾排板，第二密封件用于紧密贴合尾排板和金属舟组。
[0009]采用上述技术方案时，第二密封件设置于尾排板，使得尾排板与金属舟组紧密贴合，增强尾排板与金属舟组连接的密封性，进一步地提升舟腔体的密封效果，从而可提高工件在舟腔体内进行原子层沉积工艺的效果。
[0010]在一种可能的实现方式中，第一密封件和/或第二密封件为石墨垫片。
[0011]采用上述技术方案时，第一密封件和第二密封件均为石墨垫片，或其中的一个为石墨垫片。石墨垫片具有耐高温特性，能够延长第一密封件和第二密封件的使用寿命。另外，石墨垫片具有弹性，能够增加匀流板和尾排板与金属舟组的两端之间的弹性阻尼，增大了匀流板和尾排板与金属舟组之间的摩擦力，提升匀流板和尾排板与金属舟组之间连接的稳固性。再者，由于石墨垫片具有弹性，能够发生弹性形变，在石墨垫片发生弹性形变之后，能够填充匀流板和尾排板与金属舟组紧密贴合位置的间隙，增强匀流板和尾排板与金属舟组之间的密封效果。
[0012]在一种可能的实现方式中，第一密封件靠近匀流板的端面形状与匀流板靠近第一密封件的安装面的形状吻合。
[0013]采用上述技术方案时，能够使得沉积气体进行更好的流通，同时增强匀流板的安装面与金属舟组之间的密封性。
[0014]在一种可能的实现方式中，第二密封件靠近尾排板的端面形状与尾排板靠近第二密封件的安装面的形状吻合。
[0015]采用上述技术方案时，能够使得沉积气体进行更好的流通，同时增强尾排板的安装面与金属舟组之间的密封性。
[0016]在一种可能的实现方式中，金属舟料车还包括提拉组件，设置于承载架，承载架包括支撑杆组，提拉组件用于承托于支撑杆组下方。
[0017]采用上述技术方案时，提拉组件用于承托于支撑杆下方，提拉组件给与支撑杆组向上的提拉作用力，避免支撑杆组在长时间支撑金属舟组后出现下沉现象时，使得金属舟组同步下落，致使金属舟组相对于匀流板和尾排板出现偏移的现象，破坏匀流板和尾排板与金属舟组之间的密封接触，降低舟腔体的密封效果，影响工件原子层沉积工艺的正常进行。
[0018]在一种可能的实现方式中，提拉组件包括托杆和第一连接件，托杆位于支撑杆组的下方，用于承托支撑杆组。第一连接件具有相对的第一端和第二端，第一端连接于承载架的导向轴，导向轴位于支撑杆组的上方，第二端连接于托杆。
[0019]采用上述技术方案时，提拉组件包括托杆和第一连接件，第一连接件具有相对的第一端和第二端，第一端连接于承载架的导向轴，且导向轴位于支撑杆组的上方，使得第一连接件能够悬挂在导向轴上。第二端连接于托杆，从而使得托杆通过第一连接件悬挂在导向轴上。托杆位于支撑杆组的下方，用于承托支撑杆组，能够使得托杆对支撑杆组施加向上的作用力，避免支撑杆组在长时间支撑金属舟组后出现下沉现象时，使得金属舟组同步下落，致使金属舟组相对于匀流板和尾排板出现偏移的现象，破坏匀流板和尾排板与金属舟组之间的密封接触，降低舟腔体的密封效果，影响工件原子层沉积工艺的正常进行。
[0020]在一种可能的实现方式中，提拉组件还包括升降调节机构，升降调节机构设置于
第一连接件，升降调节机构驱动托杆沿第一连接件的轴线升降。
[0021]采用上述技术方案时，升降调节机构能够驱动托杆沿第一连接件的轴线升降，便于根据实际情况对托杆的高度进行调节。不仅如此，当第一连接件及其对应的升降调节机构的数量为多个时，利于通过升降调节机构调节托杆的高度，以使金属舟组保持水平状态，避免金属舟组出现倾斜时，降低金属舟组与匀流板和尾排板的贴合的紧密性。
[0022]在一种可能的实现方式中，第一连接件为螺纹杆。升降调节机构包括螺母和第二连接件，螺母与螺纹杆配合。第二连接件具有相对的第三端和第四端，第三端连接于螺母，第四端连接于托杆。
[0023]采用上述技术方案时，拧动螺母时，螺母与螺纹杆配合能够沿着螺纹杆的轴线升降，从而带动第二连接件沿着螺纹杆的轴线升降，进一步地，使得托杆沿着螺纹杆的轴线升降。
[0024]在一种可能的实现方式中，第一端可移动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属舟料车，其特征在于，用于承载金属舟组，所述金属舟料车包括：承载架，所述承载架用于承载所述金属舟组的底部；匀流板，设置于所述承载架；所述匀流板设置有第一开口，用于与所述金属舟组的舟腔体连通，以向所述舟腔体内通入沉积气体；尾排板，设置于所述承载架上远离所述匀流板的一端，和所述匀流板形成夹设所述金属舟组的空间；所述尾排板与所述舟腔体连通，用于排出所述沉积气体；第一密封件，设置于所述匀流板，用于紧密贴合所述匀流板和所述金属舟组。2.根据权利要求1所述的金属舟料车，其特征在于，所述金属舟组包括单个或多个依次排布的金属舟；所述金属舟料车还包括第二密封件，设置于所述尾排板，用于紧密贴合所述尾排板和所述金属舟组。3.根据权利要求2所述的金属舟料车，其特征在于，所述第一密封件和/或所述第二密封件为石墨垫片。4.根据权利要求2所述的金属舟料车，其特征在于，所述第一密封件靠近所述匀流板的端面形状与所述匀流板靠近所述第一密封件的安装面的形状吻合；和/或，所述第二密封件靠近所述尾排板的端面形状与所述尾排板靠近所述第二密封件的安装面的形状吻合。5.根据权利要求1所述的金属舟料车，其特征在于，所述金属舟料车还包括提拉组件，设...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳明军，涂宏波，杨斌，崔旭，周立平，汪仁斌，刘闯，杨云，
申请(专利权)人：陕西隆基乐叶光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：