声波装置及其制造方法制造方法及图纸

一种声波装置包含压电基板及换能器

【技术实现步骤摘要】
声波装置及其制造方法


[0001]本专利技术关于射频通讯，特别是用于射频通讯中的一种声波装置及其制造方法
。

技术介绍

[0002]表面声波
(surface acoustic wave
，
SAW)
装置可用于电信号与声信号的转换及传递
。
表面声波装置具有诸多用途
。
举例而言，
SAW
滤波器用以滤除噪声及留下特定频段的无线信号，具有传输损耗小
、
抗电磁干扰性能佳
、
体积小的特性，因此被广泛应用于各种通讯产品
。
然而现有的
SAW
滤波器会产生能量泄漏，造成质量因子下降
。
此外，表面声波装置亦可用作谐振器
(resonator)。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例提供一种声波装置，包含压电基板及换能器
。
压电基板具有表面
。
换能器设置在压电基板的表面上，换能器包含第一电极
、
第二电极及介电材料部
。
第一电极沿第一方向延伸，具有第一末端
。
第二电极沿第一方向延伸，具有第二末端，第二电极与第一电极在第二方向上间隔设置
。
介电材料部设置于第一电极的第一末端处，且位于压电基板的表面上
。
压电基板的表面包含与第一电极接触的第一电极区域，以及与介电材料部接触的介电材料部区域，介电材料部区域受到的压力不小于第一电极区域受到的压力
。
[0004]本专利技术实施例提供另一种声波装置的制造方法，包含提供压电基板，该压电基板具有第一表面
。
在该第一表面上形成导电层
。
使该导电层图案化，以形成图案化导电层，该图案化导电层包含沿第一方向延伸的第一电极及第二电极
。
第一电极具有第一末端，且第二电极具有第二末端，该第二电极与该第一电极在该第二方向上间隔设置；该图案化导电层还包含位于压电基板的第一表面上且设置于第一电极的第一末端处的第一介电材料部
。
压电基板的该第一表面包含与该第一电极接触的第一电极区域及与第一介电材料部接触的第一介电材料部区域，该第一介电材料部区域受到的压力不小于该第一电极区域受到的压力
。
附图说明
[0005]图1为本专利技术实施例中的一种声波装置的俯视图
。
图2为图1中的声波装置沿切线2‑2’
的剖面图
。
图3为图1中的介电材料部的另一种设置方式的示意图
。
图4为图1中的介电材料部的另一种设置方式的示意图
。
图5为本专利技术实施例中的另一种声波装置的俯视图
。
图6为本专利技术实施例中的另一种声波装置的俯视图
。
图7为本专利技术实施例中的另一种声波装置的俯视图
。
图8为图7中的声波装置沿切线3‑3’
的剖面图
。
图9为图
1、
图5‑7中的声波装置的制造方法的流程图
。
符号说明
[0006]1,5
～
7:
声波装置
10:
压电基板
101:
表面
11,51,61,71:
换能器
121
及
122:
母线
121e
及
122e:
边缘
122s:
母线表面
131
至
133,141
至
143:
电极
131a:
第一电极区域
131s:
电极表面
131e
至
133e,141e
至
143e:
末端
151
至
153,161
至
163,551
至
553,561
至
563,651
至
653,661
至
663,751
至
753,761
至
763:
介电材料部
151a,751a:
介电材料部区域
151s,751s:
介电表面
171
至
173,181
至
183:
伪电极
171e
至
173e,181e
至
183e:
伪末端
171a:
伪电极区域
171s:
伪电极表面
21
至
23,31
至
33:
间隙
40:
钝化层
900:
制造方法
S902
至
S908:
步骤
D1,D2,D3:
方向
具体实施方式
[0007]图1是本专利技术实施例中的一种声波装置的俯视图
。
在一些实施例中，声波装置1可为表面声波
(surface acoustic wave
，
SAW)
滤波器
。
例如，声波装置1可将来自天线的射频信号转换为声波，对声波进行处理以产生滤波信号，及输出滤波信号
。
射频信号及滤波信号是电性信号
。
此处仅举例说明
SAW
装置1的用途，惟本专利技术不限于此，在其他实施例中，
SAW
装置1亦可用于其他用途
。
[0008]在一些实施例中，声波装置1包含压电基板
10
及设置在压电基板
10
的表面
101
上的换能器
(transducer)11。
压电基板
10
可包含基板及设置在基板上的压电材料层
。
举例而言，压电基板
10
的基板可包含硅基板
。
压电材料层可包含压电单晶体
、
压电多晶体
(
压电陶瓷
)、
压电聚合物
、
和压电复合材料
。
举例而言，压电材料层可包含氧化锌
(ZnO)、
氮化铝
(AlN)、
钽酸锂
(LiTaO3)、
及其组合
。
在一些实施例中，换能器
11
可包含母线
(bus bar)121
及
122、
电极
131
至
133、
电极
141
至
143、
介电材料部
151
至
153
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种声波装置，其特征在于，其包含：一压电基板，具有一第一表面；及一换能器，设置在该压电基板的该第一表面上，该换能器包含：一第一电极，沿一第一方向延伸，具有一第一末端；一第二电极，沿该第一方向延伸，具有一第二末端，该第二电极与该第一电极在一第二方向上间隔设置；及一第一介电材料部，设置于该第一电极的该第一末端处，且位于该压电基板的该第一表面上；其中，该压电基板的该第一表面包含与该第一电极接触的一第一电极区域，以及与第一介电材料部接触的一第一介电材料部区域，该第一介电材料部区域受到的一压力不小于该第一电极区域受到的一压力
。2.
如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该第一介电材料部沿该第二方向的一尺寸小于
、
等于或大于该第一电极沿该第二方向的一尺寸
。3.
如权利要求2所述的声波装置，其特征在于，其中该第一介电材料部沿该第二方向的该尺寸大于该第一电极沿该第二方向的该尺寸，及该第一介电材料部接触该第二电极
。4.
如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该换能器另包含：一第一母线，沿该第二方向延伸，该第一电极从该第一母线延伸至该第一末端；及一第二母线，沿该第二方向延伸，该第二电极从该第二母线延伸至该第二末端；其中在该第一电极与该第二母线之间形成一第一间隙，该第一介电材料部至少部分填充该第一间隙
。5.
如权利要求4所述的声波装置，其特征在于，其中该换能器另包含：一第一伪电极，从该第二母线开始沿该第一方向延伸，具有一第一伪末端；其中沿该第一方向，该第一伪电极的该第一伪末端与该第一电极的该第一末端对齐；该第一间隙形成于该第一电极的该第一末端与该第一伪电极的该第一伪末端之间；该第一表面包含该第一伪电极与该压电基板接触的一第一伪电极区域；及该第一介电材料部区域受到的压力不小于该第一伪电极区域受到的压力
。6.
如权利要求4或5所述的声波装置，其特征在于，其中该第一介电材料部与该第一电极直接接触
。7.
如权利要求6所述的声波装置，其特征在于，其中该第一介电材料部与该第二母线或该第一伪电极直接接触
。8.
如权利要求4或5所述的声波装置，其特征在于，其中该第一电极具有一第一电极表面；该第一介电材料部具有一第一介电表面；及相对于该压电基板的该第一表面，该第一介电表面高于该第一电极表面
。9.
如权利要求8所述的声波装置，其特征在于，其中该第二母线具有一第二母线表面；该第一伪电极具有第一伪电极表面；及相对于压电基板的该第一表面，该第一介电表面高于该第二母线表面或高于该第一伪电极表面
。
10.
如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该第一介电材料部的一材料密度小于该第一电极的一材料密度
。11.
如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该换能器另包含：一第二介电材料部，设置于该第二电极的该第二末端处，且位于该压电基板的该第一表面上；及该压电基板的该第一表面还包含与该第二电极接触的一第二电极区域，及与该第二介电材料部接触的一第二介电材料部区域，其中该第二介电材料部区域受到的压力不小于该第二电极区域受到的压力
。12.
如权利要求
11
所述的声波装置，其特征在于，其中该第二介电材料部沿该第二方向的一尺寸小于
、
等于或大于该第二电极沿该第二方向的一尺...

【专利技术属性】
技术研发人员：林诗猛，陈诗喆，
申请(专利权)人：立积电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：