一种储能锚点结构及微机电系统谐振器技术方案

本申请提供的储能锚点结构及微机电系统谐振器，包括固定锚点、储能锚点、第一锚点连接梁以及第二锚点连接梁。其中，固定锚点用于固定振动部件，储能锚点用于存储振动组件产生的弹性波并反射至振动组件。因此，在本申请实施例中，通过设置储能锚点，可以存储振动组件振动时产生的能量波，并将此能量波反射至振动组件，从而可以补充振动组件在锚点处的能量损耗，即减少振动组件在锚点处的振动损耗，进而可以提高微机电系统谐振器的Q值。可以提高微机电系统谐振器的Q值。可以提高微机电系统谐振器的Q值。

【技术实现步骤摘要】
一种储能锚点结构及微机电系统谐振器


[0001]本申请涉及微机电系统
，具体涉及一种储能锚点结构及微机电系统谐振器。

技术介绍

[0002]微机电系统(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，MEMS)谐振器是使机械结构在其固有频率振动的装置。近年来，基于微机电系统谐振器的振荡器引起人们越来越多的关注。微机电系统谐振器目前正被开发用于各种各样的应用。例如，其可以用在电子装置的时钟电路中以生成时钟信号。
[0003]其中，Q值是表征微机电系统谐振器性能的重要指标，而微机电系统谐振器的Q值主要受锚点损耗限制。具体地，微机电系统谐振器工作时，部分能量会通过锚点耗散，从而导致能量损失，进而影响微机电系统谐振器的Q值，导致微机电系统谐振器的Q值降低。
[0004]因此，如何减小微机电系统谐振器中锚点的能量通过锚点耗散是现有微机电系统谐振器厂家亟需解决的难题。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种储能锚点结构及微机电系统谐振器，可以解决因微机电系统谐振器中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种储能锚点结构，其特征在于，包括固定锚点、储能锚点、第一锚点连接梁以及第二锚点连接梁；其中，所述第一锚点连接梁和所述第二锚点连接梁交叉连接，所述固定锚点位于所述第一锚点连接梁的端部，所述储能锚点位于所述第二锚点连接梁的端部。2.根据权利要求1所述的储能锚点结构，其特征在于，所述储能锚点为质量块。3.根据权利要求1所述的储能锚点结构，其特征在于，所述固定锚点呈工字形，且所述储能锚点位于所述固定锚点形成的缺口中。4.根据权利要求1所述的储能锚点结构，其特征在于，所述第一锚点连接梁沿第一方向设置，所述第二锚点连接梁沿第二方向设置，所述第一方向与所述第二方向垂直。5.根据权利要求1所述的储能锚点结构，其特征在于，所述第一锚点连接梁与所述第二锚点连接梁的交叉点位于所述第一锚点连接梁的对称中心。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷永庆，吴振云，李轩，
申请(专利权)人：麦斯塔微电子深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：