【技术实现步骤摘要】
气流传感器及气流传感器封装结构
[0001]本专利技术涉及一种应用在有油烟或者其他污染物环境下的电子设备中的气流传感器，更为具体的说涉及一种气流传感器及气流传感器封装结构。
技术介绍
[0002]基于微机电系统（Micro
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Electro
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Mechanical System，MEMS）制造的器件被称为MEMS器件，MEMS电容型压力传感器的器件包括振膜和背极板，并且振膜与背极板之间具有间隙。气压的改变会导致振膜变形，振膜与背极板之间的电容值发生改变，从而转换为电信号输出。
[0003]对于应用在有油烟或者其他污染物环境下的电子设备中的气流传感器的情形，当气流传感器在感应到用户吸气时，气流传感器的振膜发生形变，将气流传感器的振膜两侧的气压变换为气流传感器内部电容变化来输出信号，从而气流传感器可作为开关控制电子烟的雾化器工作。一般应用在有油烟或者其他污染物环境下的电子设备中的气流传感器通常会将振膜做成封闭的膜结构，来阻挡进气口位于MEMS电容型压力传感器的背腔和PCB板一侧时，油烟...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气流传感器，其特征在于，包括：层叠设置的基底（10）、振动电极（30）以及固定电极（50），所述基底（10）具有在其厚度方向上贯通的背腔（11）；所述振动电极（30）具有振动敏感区域，所述振动敏感区域和所述固定电极（50）之间设置有间隙层（42），所述振动电极（30）与所述固定电极（50）形成可变电容，所述固定电极（50）包括绝缘层（501）和与所述绝缘层（501）固定连接的导电层（601），在所述基底（10）的厚度方向上，所述导电层（601）的投影覆盖所述背腔（11）的投影，所述导电层（601）上不设置有泄气孔（51），仅在所述绝缘层（501）上设置有泄气孔（51）；所述振动电极（30）的振动敏感区域的周向边缘设置有均压孔（31），在所述基底（10）的厚度方向上，所述均压孔（31）的投影与所述泄气孔（51）的投影交叠，经由所述均压孔（31）、所述泄气孔（51）以及间隙层通道（41）共同形成泄气通道，以在所述背腔（11）与所述气流传感器（2）之外的空间建立连续的流动路径，并且所述泄气通道与所述间隙层（42）相连通。2.如权利要求1所述的气流传感器，其特征在于，所述振动电极（30）与所述基底（10）之间具有部分区域贯通的第一支撑体（20），所述固定电极（50）与所述振动电极（30）之间具有部分区域贯通的第二支撑体（40）；在垂直于所述基底（10）的厚度方向上，所述泄气孔（51）分布在靠近所述第二支撑体（40）的边缘。3.如权利要求2所述的气流传感器，其特征在于，所述泄气孔（51）的数量小于或者等于50。4.如权利要求2所述的气流传感器，其特征在于，所述气流传感器（2）还包括：第一隔挡结构（710），所述第一隔挡结构（710）包括第一主体（711）以及一体连接于所述第一主体（711）边侧的第一环形挡片（712），所述第一主体（711）嵌设于所述泄气孔（51）中，所述第一环形挡片（712）环绕所述第一主体（711）设置；第二隔挡结构（720），所述第二隔挡结构（720）包括第二主体（721）以及一体连接于所述第二主体（721）边侧的第二环形挡片（722），所述第二主体（721）嵌设于所述均压孔（31）中，所述第二环形挡片（722）环绕所述第二主体（721）设置；其中，所述第一环形挡片（712）和所述第二环形挡片（722）均位于所述固定电极（50）和所述振动电极（30）之间的间隙内。5.如权利要求4所述的气流传感器，其特征在于，所述第一环形挡片（712）和所述第二环形挡片（722）均朝向所述固定电极（50）延伸。6.如权利要求5所述的气流传感器，其特征在于，沿垂直于所述基底（10）所在的平面，所述第一环形挡片（712）的截面和第一方向呈锐角夹角，所述第二环形挡片（722）的截面和第一方向呈锐角夹角；其中，所述第一方向为所述均压孔（31）指向所述泄气孔（51）的方向。...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟燕子，康森先，
申请(专利权)人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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