一种MEMS装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种MEMS装置，其包括：第一空腔，其被配置的用于第一功能；第二空腔，其被配置的用于第二功能；加热器，其被设置于第二空腔的周边。通过所述加热器的加热使得所述加热器的周边材料释放出气体，被释放处的气体进入第二空腔，从而改变第二空腔的压力。这样，可以更为方便的在同一颗芯片上形成压力不同的两个空腔。的两个空腔。的两个空腔。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS装置


[0001]本技术涉及MEMS(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，微机电系统)器件领域，尤其涉及一种局部释放气体的MEMS装置。

技术介绍

[0002]MEMS电容式加速度计以其尺寸小，低成本，性能优良，广泛应用于消费电子，物联网，以及工业测量领域。消费电子竞争愈演愈烈，对成本、集成度提出了新的要求。为了达到这一目的，目前的6轴产品(3轴加速度+3轴陀螺仪)由原来加速度计，陀螺仪分别位于两颗独立的芯片上向在同一颗芯片上加工出陀螺仪和加速度计的方式转变，在这个过程中会遇到气压问题，即加速度计的空腔和陀螺仪的空腔需要的气压不同。加速度计需要其空腔具有较高的气压来增加空气阻尼，通常400mBar左右，提高器件在冲击环境中的可靠性。而陀螺仪则需要其空腔具有较低的气压，通常＜5mBar，越小越好，最好是真空环境。在将加速度计和陀螺仪集成于同一颗芯片上时，由于加速度计的空腔和陀螺仪的空腔同时加工成型，内部压力同增同减，如何控制两个空腔的压力为现在工艺中遇到的问题本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS装置，其特征在于，其包括：第一空腔，其被配置的用于第一功能；第二空腔，其被配置的用于第二功能；加热器，其被设置于第二空腔的周边，通过所述加热器的加热使得所述加热器的周边材料释放出气体，被释放处的气体进入第二空腔，从而改变第二空腔的压力，所述加热器包括金属线和与所述金属线连接的垫片，通过向所述金属线提供电流实现加热。2.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，第一功能为MEMS陀螺仪，第二功能为MEMS加速度计。3.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述加热器加热周边的氧化硅释放出气体，从所述氧化硅中被释放出的气体进入第二空腔。4.根据权利要求3所述的MEMS装置，其特征在于，所述氧化硅是由等离子体增强化学气相沉积工艺制成，所述氧化硅中含有气体，所述金属线...

【专利技术属性】
技术研发人员：威廉姆斯，
申请(专利权)人：美新半导体天津有限公司，
类型：新型
国别省市：