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本实用新型提供一种MEMS装置，其包括：第一空腔，其被配置的用于第一功能；第二空腔，其被配置的用于第二功能；加热器，其被设置于第二空腔的周边。通过所述加热器的加热使得所述加热器的周边材料释放出气体，被释放处的气体进入第二空腔，从而改变第二空...
该专利属于美新半导体（天津）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美新半导体（天津）有限公司授权不得商用。

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