一种玻璃晶圆适配器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种玻璃晶圆适配器，包括适配器主体和定位架，所述定位架固定安装在适配器主体的一侧，所述适配器主体的底端面与定位架的底端面在同一水平面上，所述适配器主体内部的底端固定连接有镜片，所述适配器主体的边缘位置处开设有吸附槽口，所述定位架上开设有多组通孔，所述通孔内部插接有定位插销，所述通孔与定位插销之间过盈配合

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃晶圆适配器


[0001]本技术是关于晶圆检测
，特别是关于一种玻璃晶圆适配器
。

技术介绍

[0002]由于晶圆新材料的不断升级迭代，出现了玻璃晶圆能提供更好的性能和成本效益
。
玻璃晶圆加工工艺过程复杂，为保证质量，几乎每一步加工工序都需要进行质量检测
。
若缺陷产品流入下一道工序，不仅对产品的整体质量有很大影响，而且会造成生产成本的巨大浪费
。
[0003]现有技术中，只能将晶圆放置在真空吸附工作台上进行扫描，由于材料特性，每个晶圆被切割后切割道位置变得很薄很脆，极易碎裂，需要精确控制真空吸附力，并不停调准焦距
。
由于晶圆是透明材料，自动聚焦时设备易将晶圆底层载台位置焦距作为检测时的焦距，调准焦距耗时较长
、
成本较大；并且对真空要求高，过高会使产品碎裂，过低会使产品在设备运行时掉落，一旦出现问题产品就容易损毁；
[0004]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种玻璃晶圆适配器
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种玻璃晶圆适配器，其能够解决调准焦距耗时较长
、
成本较大
、
对真空要求高的问题
。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种玻璃晶圆适配器，包括适配器主体和定位架，所述定位架固定安装在适配器主体的一侧，所述适配器主体的底端面与定位架的底端面在同一水平面上，所述适配器主体内部的底端固定连接有镜片，所述适配器主体的边缘位置处开设有吸附槽口
。
[0007]在一个或多个实施方式中，所述定位架上开设有多组通孔，所述通孔内部插接有定位插销
。
[0008]在一个或多个实施方式中，所述通孔与定位插销之间过盈配合
。
[0009]在一个或多个实施方式中，所述镜片采用单面镜
。
[0010]在一个或多个实施方式中，所述吸附槽口的顶端设置有凸台
。
[0011]在一个或多个实施方式中，所述凸台的厚度小于适配器主体边缘的厚度
。
[0012]在一个或多个实施方式中，所述适配器主体的边缘位置处开设有凹口
。
[0013]在一个或多个实施方式中，所述适配器主体的外表面涂布有防静电涂层
。
[0014]与现有技术相比，根据本技术的有益效果为：
[0015]本技术通过设置单独的适配器，能够只吸附玻璃晶圆边缘使其固定，不会损坏内部产品，通过底部的镜片可保证设备自动运行检测时不会找错焦距，节省调焦时间和成本，适配器主体上涂布防静电涂层，隔绝静电，保护玻璃晶圆产品
。
附图说明
[0016]图1是根据本技术一实施方式的一种玻璃晶圆适配器结构示意图一
。
[0017]图2是根据本技术一实施方式的一种玻璃晶圆适配器结构示意图二
。
[0018]图3是根据本技术一实施方式的一种玻璃晶圆适配器爆炸图
。
[0019]图4是根据本技术一实施方式的一种玻璃晶圆适配器玻璃晶圆本体放置在适配器主体上的状态图
。
[0020]图5是根据本技术一实施方式的一种玻璃晶圆适配器图1中
A
处放大图
。
[0021]主要附图标记说明：
[0022]1、
适配器主体；
2、
定位架；
3、
通孔；
4、
定位插销；
5、
镜片；
6、
凹口；
7、
吸附槽口；
8、
凸台；
9、
玻璃晶圆本体
。
具体实施方式
[0023]下面结合附图，对本技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本技术的保护范围并不受具体实施方式的限制
。
[0024]除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分
。
[0025]如图1至图5所示，根据本技术一实施方式的一种玻璃晶圆适配器，包括适配器主体1和定位架2，定位架2固定安装在适配器主体1的一侧，适配器主体1和定位架2共同构成玻璃晶圆检测工作台上单独的适配器
。
适配器主体1的底端面与定位架2的底端面在同一水平面上，使得适配器能够水平放置在检测工作台上
。
[0026]参图1～3所示，定位架2上开设有多组通孔3，通孔3内部插接有定位插销4，通孔3与定位插销4之间过盈配合
。
定位插销4插接在通孔3内部之后能够通过过盈配合进行锁紧
。
[0027]具体的，参图1～3所示，定位插销4设置有两个，预先插接在指定的两个通孔3内部并保证锁紧
。
在将适配器放置在工作台上时，两个定位插销4需要插入到工作台对应孔位，使得机器识别出此适配器
。
定位插销4的位置可根据系统设置进行更换
。
[0028]参图1和图3所示，适配器主体1内部的底端固定连接有镜片5，镜片5采用不干胶粘结的方式进行固定，使用不当出现破裂后能够更换
。
镜片5采用单面镜
。
通过底部安装镜面，防止聚焦时透过晶圆聚焦到晶圆下面，保证设备自动运行检测时不会找错焦距
。
[0029]参图1～3所示，适配器主体1的边缘位置处开设有吸附槽口
7。
适配器在真空吸附的工作台上，通过边缘开设的吸附槽口7能够只对玻璃晶圆的边缘进行真空吸附，从而对玻璃晶圆固定
。
这样既能避免真空吸附力度过大造成玻璃晶圆产品损坏，又能防止玻璃晶圆产品在设备自动运行检测时意外掉落造成损坏
。
[0030]参图
1、
图3和图5所示，优选的，吸附槽口7的顶端设置有凸台8，凸台8的厚度小于适配器主体1边缘的厚度
。
[0031]具体的，参图1和图4所示，玻璃晶圆放置在适配器上时，凸台8对其进行支撑，能够有效减小玻璃晶圆与适配器主体1的接触面积，减小玻璃晶圆受到污染的可能，便于进行安全检测
。
[0032]参图1和图3所示，适配器主体1的边缘位置处开设有凹口6，凹口6位于靠近定位架
2
的一侧
。
通过凹口6方便拿取适配器上的玻璃晶圆，操作使用起来更为便利
。
[0033]适配器主体1的外表面涂布有防静电涂层，图中未示出
。
防静电涂层为本领域技术人员公知的常识性技术，在此不做过多赘述
。
防静电涂层能够隔绝静电，防止适配器自身静电对玻璃晶圆造成伤害，保障玻璃晶圆的生产质量
。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种玻璃晶圆适配器，其特征在于，包括适配器主体和定位架，所述定位架固定安装在适配器主体的一侧，所述适配器主体的底端面与定位架的底端面在同一水平面上，所述适配器主体内部的底端固定连接有镜片，所述适配器主体的边缘位置处开设有吸附槽口
。2.
如权利要求1所述的一种玻璃晶圆适配器，其特征在于，所述定位架上开设有多组通孔，所述通孔内部插接有定位插销
。3.
如权利要求2所述的一种玻璃晶圆适配器，其特征在于，所述通孔与定位插销之间过盈配合
。4.
如权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾振鹏，凌栋，茅志敏，
申请(专利权)人：苏州康钛检测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：