一种光强滤镜调节器制造技术

本发明专利技术公开了一种光强滤镜调节器，包括光源模块，还包括模块底壳以及光强滤镜调节机构，所述光强滤镜调节机构安装在模块底壳上；其中，所述光强滤镜调节机构包括第一支架

【技术实现步骤摘要】
一种光强滤镜调节器


[0001]本专利技术是关于晶圆检测
，特别是关于一种光强滤镜调节器
。

技术介绍

[0002]晶圆是常用的半导体材料，由于电子产品自身的精密性要求，需要对生产完成的晶圆进行检测，保证晶圆产品的质量
。
由于其尺寸的微小程度，人眼在检测中几乎无法发挥作用
。
机器视觉检测让晶圆的质量控制和生产效率得到有效提升
。
机器视觉极致放大，能够对单个晶圆的产品外观进行详尽地成像，清晰地检测产品制作过程中出现的问题缺陷，如氧化，刮伤缺陷，线形缺陷等
。
[0003]在机器视觉检测晶圆过程中需要扫描晶圆，扫描前需要对光线进行调整，以便操作员能够更好的在显微镜下分辨出所需要的缺陷图像，缺陷的种类有很多，对光线的要求也不一样，需要操作员根据现场情况进行设置
。
[0004]现有技术中，通常在每个光源前端装一个滤镜片调整光线，而每次调整光线都需更换滤镜片，由于滤镜片在机台内部，需要卸下相关部件才能更换，操作较为繁琐，导致光线调整费时费力，影响晶圆检测效率
。
[0005]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种光强滤镜调节器
。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种光强滤镜调节器，其能够解决调整光线需要更换滤镜片，费时费力的问题
。
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供了一种光强滤镜调节器，包括光源模块，还包括模块底壳以及光强滤镜调节机构，所述光强滤镜调节机构安装在模块底壳上
。
其中，所述光强滤镜调节机构包括第一支架
、
第二支架和滤镜盘，所述第一支架和第二支架均固定安装在模块底壳上，所述滤镜盘转动连接在第一支架与第二支架之间，所述滤镜盘上固定有多组滤镜，所述滤镜盘位于光源模块的前端，且滤镜盘上的多组滤镜有一组与光源模块重合，所述滤镜盘能够转动调整切换与光源模块重合的滤镜
。
[0008]在一个或多个实施方式中，所述滤镜盘包括彩色滤光片转盘和透光片转盘，所述彩色滤光片转盘转动连接在第一支架上，所述第一支架上固定安装有用于驱动彩色滤光片转盘转动的第一电机，所述透光片转盘转动连接在第二支架上，所述第二支架上固定安装有用于驱动透光片转盘转动的第二电机
。
[0009]在一个或多个实施方式中，所述彩色滤光片转盘上开设有多组彩色滤光片安装口，多组所述彩色滤光片安装口内部分别固定连接有不同的彩色滤光片，所述透光片转盘上开设有多组透光片安装口，多组所述透光片安装口内部分别固定连接有具有不同透光率的透光片，所述彩色滤光片安装口与透光片安装口之间相匹配
。
[0010]在一个或多个实施方式中，所述模块底壳的内部固定安装有电源，所述模块底壳上固定安装有控制板
。
[0011]在一个或多个实施方式中，所述电源上安装有电源控制插头
。
[0012]在一个或多个实施方式中，所述模块底壳上还分别固定连接有电源后盖板和模块前盖板
。
[0013]在一个或多个实施方式中，所述光源模块的一端固定安装有光纤固定器
。
[0014]在一个或多个实施方式中，所述第一支架上固定安装有第二复位传感器，所述第二支架上固定安装有第一复位传感器
。
[0015]与现有技术相比，根据本专利技术的有益效果为：
[0016]本专利技术能够根据需求灵活自动切换滤镜，给光线调整带来了极大的便利，使得光线调整省时省力，另外，很好的避免了更换滤镜片需要拆卸相关部件情况，不会影响相关部件的使用
。
附图说明
[0017]图1是根据本专利技术一实施方式的一种光强滤镜调节器爆炸图
。
[0018]图2是根据本专利技术一实施方式的一种光强滤镜调节器结构示意图一
。
[0019]图3是根据本专利技术一实施方式的一种光强滤镜调节器结构示意图二
。
[0020]图4是根据本专利技术一实施方式的一种光强滤镜调节器的彩色滤光片转盘和透光片转盘结构示意图
。
[0021]主要附图标记说明：
[0022]1、
电源后盖板；
2、
光源模块；
3、
第一电机；
4、
第一支架；
5、
彩色滤光片转盘；
501、
彩色滤光片安装口；
6、
透光片转盘；
601、
透光片安装口；
7、
模组上端盖；
8、
第二支架；
9、
光纤固定器；
10、
第二电机；
11、
电源控制插头；
12、
第一复位传感器；
13、
电源；
14、
控制板；
15、
模块底壳；
16、
模块前盖板；
17、
第二复位传感器
。
具体实施方式
[0023]下面结合附图，对本专利技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本专利技术的保护范围并不受具体实施方式的限制
。
[0024]除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分
。
[0025]如图1至图4所示，根据本专利技术一实施方式的一种光强滤镜调节器，包括光源模块
2、
模块底壳
15
以及光强滤镜调节机构，光强滤镜调节机构安装在模块底壳
15
上
。
其中，光源模块2还包括灯泡模块和灯泡触发器
。
[0026]参图1和图2所示，光强滤镜调节机构包括第一支架
4、
第二支架8和滤镜盘，第一支架4和第二支架8均通过螺栓固定在模块底壳
15
上
。
第一支架4和第二支架8的顶端固定有模组上端盖7，模组上端盖7用于对第一支架4和第二支架8的顶端进行保护
。
[0027]参图1和图4所示，滤镜盘转动连接在第一支架4与第二支架8之间，滤镜盘上固定有多组滤镜
。
滤镜盘位于光源模块2的前端，且滤镜盘上的多组滤镜有一组与光源模块2重合，滤镜盘能够转动调整切换与光源模块2重合的滤镜
。
其中，滤镜盘包括彩色滤光片转盘5和透光片转盘6，彩色滤光片转盘5转动连接在第一支架4上，第一支架4上固定安装有用于
驱动彩色滤光片转盘5转动的第一电机
3。
透光片转盘6转动连接在第二支架8上，第二支架8上固定安装有用于驱动透光片转盘6转动的第二电机
10。
[0028]参图4所示，彩色滤光片转盘5上开设有多组彩色滤光片安装口
501
，多组彩色滤光片安装口...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种光强滤镜调节器，包括光源模块，其特征在于，还包括模块底壳以及光强滤镜调节机构，所述光强滤镜调节机构安装在模块底壳上；其中，所述光强滤镜调节机构包括第一支架
、
第二支架和滤镜盘，所述第一支架和第二支架均固定安装在模块底壳上，所述滤镜盘转动连接在第一支架与第二支架之间，所述滤镜盘上固定有多组滤镜，所述滤镜盘位于光源模块的前端，且滤镜盘上的多组滤镜有一组与光源模块重合，所述滤镜盘能够转动调整切换与光源模块重合的滤镜
。2.
如权利要求1所述的一种光强滤镜调节器，其特征在于，所述滤镜盘包括彩色滤光片转盘和透光片转盘，所述彩色滤光片转盘转动连接在第一支架上，所述第一支架上固定安装有用于驱动彩色滤光片转盘转动的第一电机，所述透光片转盘转动连接在第二支架上，所述第二支架上固定安装有用于驱动透光片转盘转动的第二电机
。3.
如权利要求2所述的一种光强滤镜调节器，其特征在于，所述彩色滤光片转盘上开设有多组彩色滤光片安装口，多...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾振鹏，凌栋，茅志敏，
申请(专利权)人：苏州康钛检测科技有限公司，
类型：发明
国别省市：