【技术实现步骤摘要】
本技术是关于领域，特别是关于一种新型组合式接口面板。
技术介绍
1、半导体设备在使用时需要接入电源，网络以及多路真空和气压，来保证设备和工厂的实时通讯以及设备内部各个部件的运动和配合，但限于半导体工厂的特殊性质，气管和线路都是需要布线在设备放置的地板以下，所以与设备连接线路时需要对地板进行开孔且尺寸不宜过大，这就要求一台设备对应的地板开孔位置尽量唯一，在接线过程中耗费时间较长，并且不利于检修的准确性。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种新型组合式接口面板，其能够实现增加了接口的范围和数量，节省了测试人员不必要的接线时间，同时也增加了检修的稳定性和准确性，并且接口面板适配性和集成性更好。
2、为实现上述目的，本技术提供了一种新型组合式接口面板，包括第一接口面板组件、金属折弯面板和第二接口面板组件，所述第一接口面板组件包括接口面板，所述接口面板的一侧端面设置有多个真空接口和多个气路接口；所述金属折弯面板连接第一接口面板组件的一侧端面；所述第二接口面板组件包括多折型金属折弯面板，所述第二接口面板组件连接金属折弯面板的一侧端面，所述多折型金属折弯面板上设置有多个网络接口和usb接口，所述多折型金属折弯面板位于网络接口的一侧端面设置有主电源。
3、在一个或多个实施方式中，所述金属折弯面板和接口面板上均开设有多个第一螺纹孔，多个所述第一螺纹孔均螺纹连接有第三螺栓。
4、在一个或多个实施方式中，所述多折型金属折弯面板接触金属折弯面板的一侧端面开设有多个
5、在一个或多个实施方式中，所述多折型金属折弯面板位于网络接口上连接有连接板，所述连接板上开设有第四螺纹孔，所述多折型金属折弯面板上开设有与第四螺纹孔相匹配的第五螺纹孔，所述第四螺纹孔和第五螺纹孔螺纹连接有第一螺栓，所述连接板上开设有凹槽，所述网络接口贯穿连接板上的凹槽。
6、在一个或多个实施方式中，所述多折型金属折弯面板的一对相对端面分别固定连接有第一插槽板和第二插槽板，所述第一插槽板和第二插槽板上均开设有多个插槽。
7、在一个或多个实施方式中，所述接口面板的一对相对端面均开设有第一限位槽，所述金属折弯面板的一侧端面开设有与第一限位槽相匹配的第三限位槽，所述多折型金属折弯面板的一侧端面开设有与第三限位槽相匹配的第四限位槽，所述第二接口面板组件远离网络接口的一侧端面固定连接有固定板，所述固定板上开设有与第四限位槽相匹配的第五限位槽。
8、在一个或多个实施方式中，多个所述气路接口均接入有气管，多个所述真空接口均接入有外管，所述气路接口接入气管外径尺寸均为4mm。
9、在一个或多个实施方式中，多个所述真空接口数量为5个，其中所述3个真空接口接入外管外径尺寸为4mm，另外2个真空接口接入外管外径尺寸为6mm。
10、在一个或多个实施方式中，多个所述气管均插接有堵头。
11、在一个或多个实施方式中，所述金属折弯面板固定连接在接口面板的一侧端面。
12、与现有技术相比，根据本技术的一种新型组合式接口面板，实现增加了接口的范围和数量，节省了测试人员不必要的接线时间，同时也增加了检修的稳定性和准确性，并且接口面板适配性和集成性更好。
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1.一种新型组合式接口面板，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述金属折弯面板和接口面板上均开设有多个第一螺纹孔，多个所述第一螺纹孔均螺纹连接有第三螺栓。
3.如权利要求1所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述多折型金属折弯面板接触金属折弯面板的一侧端面开设有多个第二螺纹孔，所述金属折弯面板上开设有与多个第二螺纹孔相匹配的第三螺纹孔，所述第二螺纹孔和第三螺纹孔均螺纹连接有第二螺栓。
4.如权利要求3所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述多折型金属折弯面板位于网络接口上连接有连接板，所述连接板上开设有第四螺纹孔，所述多折型金属折弯面板上开设有与第四螺纹孔相匹配的第五螺纹孔，所述第四螺纹孔和第五螺纹孔螺纹连接有第一螺栓，所述连接板上开设有凹槽，所述网络接口贯穿连接板上的凹槽。
5.如权利要求1或4所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述多折型金属折弯面板的一对相对端面分别固定连接有第一插槽板和第二插槽板，所述第一插槽板和第二插槽板上均开设有多个插槽。
6.如权
7.如权利要求1所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，多个所述气路接口均接入有气管，多个所述真空接口均接入有外管，所述气路接口接入气管外径尺寸均为4mm。
8.如权利要求7所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，多个所述真空接口数量为5个，其中所述3个真空接口接入外管外径尺寸为4mm，另外2个真空接口接入外管外径尺寸为6mm。
9.如权利要求7所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，多个所述气管均插接有堵头。
10.如权利要求1所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述金属折弯面板固定连接在接口面板的一侧端面。
...【技术特征摘要】
1.一种新型组合式接口面板，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述金属折弯面板和接口面板上均开设有多个第一螺纹孔，多个所述第一螺纹孔均螺纹连接有第三螺栓。
3.如权利要求1所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述多折型金属折弯面板接触金属折弯面板的一侧端面开设有多个第二螺纹孔，所述金属折弯面板上开设有与多个第二螺纹孔相匹配的第三螺纹孔，所述第二螺纹孔和第三螺纹孔均螺纹连接有第二螺栓。
4.如权利要求3所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述多折型金属折弯面板位于网络接口上连接有连接板，所述连接板上开设有第四螺纹孔，所述多折型金属折弯面板上开设有与第四螺纹孔相匹配的第五螺纹孔，所述第四螺纹孔和第五螺纹孔螺纹连接有第一螺栓，所述连接板上开设有凹槽，所述网络接口贯穿连接板上的凹槽。
5.如权利要求1或4所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述多折型金属折弯面板的一对相对端面分别固定连接有第一插槽板和第二插槽板，所述第一插槽板和第二插槽板上均...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾振鹏，凌栋，茅志敏，
申请(专利权)人：苏州康钛检测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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