【技术实现步骤摘要】
料盒适配器
[0001]本技术是关于一种光学检验机,特别是关于料盒适配器
。
技术介绍
[0002]光学检测机是利用机器视觉替代人体肉眼对产品进行质量检测的设备,其主要包含五大组件:工业镜头
、
工业相机
、
照明系统
、
图像采集卡和软件处理系统
。
[0003]晶圆在生产时,为了查看其表面是否有异物,制作是否合格等,需要利用光学检测机对其进行质量检测
。
即先将晶圆放置到料盒内,再将料盒放置在光学检测机的载台上,待光学检测机识别出晶圆产品类型及尺寸后,从料盒中取出晶圆产品传送至光学检测机内部进行扫描工作
。
然而,由于目前市面上晶圆种类繁多,尺寸上主要有4寸,6寸,8寸,
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寸等,类型上有裸片和带铁环晶圆等
。
面对不同类型,不同尺寸的晶圆,需要使用不同的料盒,但由于光学检测机载台为机器固定配置,对于不同的料盒,需要更换不同的载台,更换载台会耗费大量的时间,进而容易降低晶圆的检测效率 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
料盒适配器,其特征在于,包括:承载台,所述承载台上设有感应板,所述感应板上设有若干定位杆;适配器机构,放置于所述感应板上,所述适配器机构包括接触板,所述接触板卡合设于所述定位杆上,所述接触板上固定连接有支板,所述支板上铰链连接有适配器门,所述适配器门与接触板相卡合,所述支板与适配器门上均连接有一对固定杆,相邻一对所述固定杆之间连接有伸缩杆;若干对挡块,安装于所述接触板上
。2.
如权利要求1所述的料盒适配器,其特征在于,所述接触板上设有若干定位孔,所述定位孔与所述定位杆相对应,所述定位杆插设于定位孔内
。3.
如权利要求1所述的料盒适配器,其特征在于,所述接触板和所述适配器门上均连接有把手
。4.
如权利要求1所述的料盒适配器,其特征在于,所述挡块包括挡块主体,所述挡块主体上连接有立板
技术研发人员:顾振鹏,凌栋,茅志敏,
申请(专利权)人:苏州康钛检测科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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