料盒适配器制造技术

本实用新型专利技术公开了料盒适配器，包括承载台

【技术实现步骤摘要】
料盒适配器


[0001]本技术是关于一种光学检验机，特别是关于料盒适配器
。

技术介绍

[0002]光学检测机是利用机器视觉替代人体肉眼对产品进行质量检测的设备，其主要包含五大组件：工业镜头
、
工业相机
、
照明系统
、
图像采集卡和软件处理系统
。
[0003]晶圆在生产时，为了查看其表面是否有异物，制作是否合格等，需要利用光学检测机对其进行质量检测
。
即先将晶圆放置到料盒内，再将料盒放置在光学检测机的载台上，待光学检测机识别出晶圆产品类型及尺寸后，从料盒中取出晶圆产品传送至光学检测机内部进行扫描工作
。
然而，由于目前市面上晶圆种类繁多，尺寸上主要有4寸，6寸，8寸，
12
寸等，类型上有裸片和带铁环晶圆等
。
面对不同类型，不同尺寸的晶圆，需要使用不同的料盒，但由于光学检测机载台为机器固定配置，对于不同的料盒，需要更换不同的载台，更换载台会耗费大量的时间，进而容易降低晶圆的检测效率，增加晶圆的生产周期，同时也会增加设备的购买成本投入
。
[0004]因此，针对上述技术问题，有必要提供料盒适配器
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供料盒适配器，其能够解决光学检测机不适用于不同料盒的问题
。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了料盒适配器，包括：承载台
、
适配器机构
、
若干对挡块；
[0007]所述承载台上设有感应板，所述感应板上设有若干定位杆；
[0008]所述适配器机构放置于所述感应板上，所述适配器机构包括接触板，所述接触板卡合设于所述定位杆上，所述接触板上固定连接有支板，所述支板上铰链连接有适配器门，所述适配器门与接触板相卡合，所述支板与适配器门上均连接有一对固定杆，相邻一对所述固定杆之间连接有伸缩杆；
[0009]所述挡块安装于所述接触板上
。
[0010]在一个或多个实施方式中，所述接触板上设有若干定位孔，所述定位孔与所述定位杆相对应，所述定位杆插设于定位孔内，通过定位杆插入到定位孔内，用于定位适配器机构，使得适配器机构能够稳定的放置在感应板上，以便对适配器机构内的晶圆进行质量检测
。
[0011]在一个或多个实施方式中，所述接触板和所述适配器门上均连接有把手，不仅方便工作人员打开适配器门，拿取接触板上的晶圆，同时也方便工作人员移动适配器机构整体
。
[0012]在一个或多个实施方式中，所述挡块包括挡块主体，所述挡块主体上连接有立板，利用一对立板可以将晶圆料盒进行卡合固定，以便对晶圆进行质量检测
。
[0013]在一个或多个实施方式中，所述挡块主体下底部螺纹连接有连接杆，所述连接杆上连接有吸盘，通过螺纹连接的方式，方便工作人员更换吸盘；
[0014]通过吸盘吸附接触板即可实现挡块的固定，进而方便工作人员移动挡块，以便对不同类型，不同尺寸的晶圆料盒进行固定，方便对不同的晶圆进行质量检测；
[0015]所述连接杆内设有喇叭腔，所述吸盘上贯通设有通孔，所述喇叭腔通过通孔与外界相连通，便于吸盘内侧的气体排出，使得吸盘能够更好的吸附在接触板上，保证挡块的实验牢固性，以便利用一对挡块来固定晶圆，对晶圆进行质量检测；
[0016]所述挡块主体上设有通气孔，所述通气孔与喇叭腔相连通，用于实现喇叭腔内气体与外界气体的流动
。
[0017]在一个或多个实施方式中，所述喇叭腔内设有封堵球，所述封堵球的直径大于所述通孔的直径，当吸盘吸附在接触板上时，利用封堵球来封堵喇叭腔最小直径处，使得外界气体不易通过喇叭腔
、
通孔进入到吸盘内侧，进而可以保证吸盘与接触板的吸附牢固性，方便固定晶圆；
[0018]所述封堵球为橡胶材质，可以提高封堵球对喇叭腔最小直径处的封堵效果
。
[0019]在一个或多个实施方式中，所述封堵球上连接有拉绳，所述拉绳的一端贯通所述挡块主体，所述拉绳位于挡块主体外的一端连接有拉块，当需要取下挡块或移动挡块时，只需拉拽拉块，拉块通过拉绳拉拽封堵球，使得封堵球脱离对喇叭腔最小直径处的封堵，外界的气体可以通过喇叭腔和通孔进入到吸盘内侧，降低吸盘与接触板之间的吸附力，从而方便移动挡块
。
[0020]在一个或多个实施方式中，所述喇叭腔最大直径处设有网架，用于阻挡封堵球，使得封堵球不易脱离喇叭腔；
[0021]所述喇叭腔内设有弹簧，所述弹簧设于所述拉绳外侧，且设于封堵球与网架之间，弹簧用于对封堵球施加作用力，使得封堵球在自然状态下封堵喇叭腔最小直径处，保证吸盘对接触板的吸附力
。
[0022]与现有技术相比，如本技术的料盒适配器，可以与光学检测机进行配合使用，进而可以使得光学检测机能够适用于不同类型，不同尺寸的晶圆料盒，工作人员无需更换不同的载台，不仅可以提高晶圆的检测效率，缩短晶圆的生产周期，同时也可以减少购买设备的成本投入
。
附图说明
[0023]图1是如本技术一实施方式的料盒适配器的打开状态立体图
。
[0024]图2是如本技术一实施方式的料盒适配器的打开状态正视部分剖面图
。
[0025]图3是图2中
A
处结构示意图
。
[0026]图4是如本技术一实施方式的光学检测机部分结构示意图
。
[0027]图5是如本技术一实施方式的料盒适配器的安装状态立体图
。
[0028]主要附图标记说明：
[0029]1‑
承载台，
101
‑
感应板，
102
‑
定位杆，2‑
适配器机构，
201
‑
接触板，
202
‑
定位孔，
203
‑
支板，
204
‑
适配器门，
205
‑
伸缩杆，
206
‑
把手，3‑
挡块，
301
‑
挡块主体，
302
‑
立板，
303
‑
连接杆，
304
‑
吸盘，
305
‑
喇叭腔，
306
‑
通孔，
307
‑
封堵球，
308
‑
拉绳，
309
‑
拉块，
310
‑
网架
。
具体实施方式
[0030]下面结合附图，对本技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本技术的保护范围并不受具体实施方式的限制...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
料盒适配器，其特征在于，包括：承载台，所述承载台上设有感应板，所述感应板上设有若干定位杆；适配器机构，放置于所述感应板上，所述适配器机构包括接触板，所述接触板卡合设于所述定位杆上，所述接触板上固定连接有支板，所述支板上铰链连接有适配器门，所述适配器门与接触板相卡合，所述支板与适配器门上均连接有一对固定杆，相邻一对所述固定杆之间连接有伸缩杆；若干对挡块，安装于所述接触板上
。2.
如权利要求1所述的料盒适配器，其特征在于，所述接触板上设有若干定位孔，所述定位孔与所述定位杆相对应，所述定位杆插设于定位孔内
。3.
如权利要求1所述的料盒适配器，其特征在于，所述接触板和所述适配器门上均连接有把手
。4.
如权利要求1所述的料盒适配器，其特征在于，所述挡块包括挡块主体，所述挡块主体上连接有立板

【专利技术属性】
技术研发人员：顾振鹏，凌栋，茅志敏，
申请(专利权)人：苏州康钛检测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：