基材蒸镀单元制造技术

本实用新型专利技术公开一种基材蒸镀单元，包括：内部存储有蒸镀物质的本体，在本体的顶部设置有一出气管，在本体的内部转动安装有一转杆，在转杆的外壁上且沿其长度方向设置有若干个波浪形结构的搅拌杆，若干个搅拌杆相互交错分布，且搅拌杆的端部设置有一具有搅拌针、搅拌柱的连接杆，搅拌柱设置在连接杆端部的中央位置，搅拌针以搅拌柱为圆心呈环形等距间隔分布，在本体的内部且位于转杆的上方弹性连接有一具有若干个过滤孔的过滤板。本实用新型专利技术基材蒸镀单元既有利于蒸镀物质混合均匀，又可以对混合的蒸镀物质进行过滤，将大分子团蒸镀物质拦截继续加热分解，从而提高了蒸镀物质附着的均匀性。均匀性。均匀性。

【技术实现步骤摘要】
基材蒸镀单元


[0001]本技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种基材蒸镀单元。

技术介绍

[0002]蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子，该气态粒子快速从蒸发源向基材表面输送，且气态粒子附着在基材表面形核、长大成固体薄膜，接着薄膜原子重构或产生化学键合，从而实现成膜。
[0003]经检索，中国专利CN112368413B公开了“一种真空蒸镀装置”，其在对辊筒上卷绕的片状的基材的部分进行蒸镀时，可确保设置有蒸镀单元的蒸镀室和与其相邻的主腔室内的相邻室气氛分离。其具有：主腔室(1)，其具有基材行进装置和辊筒(2)；以及蒸镀单元(Vu)，其对卷绕在辊筒上的片状的基材(Sw)的部分进行蒸镀。主腔室内还具有第一隔壁(75)和第二隔壁(7a、7b)，所述第一隔壁(75)划分容纳有蒸镀单元的蒸镀室，所述第二隔壁(7a、7b)与第一隔壁相连设置并间隔以上述曲率弯曲的第一间隙(Gp1)覆盖位于蒸镀单元的周向两侧的辊筒的外筒部分，蒸镀室(Vs)和与该蒸镀室相邻的主腔室内的相邻室(As)以第一间隙为边界彼此连通，以第二隔壁确定蒸镀室和相邻室之间的电导。
[0004]但是，上述蒸镀单元在使用时，升华或气化了的蒸镀物质没有被均匀混合就被输出，导致基材上蒸镀物质的附着均匀性较差。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种基材蒸镀单元，该基材蒸镀单元既有利于蒸镀物质混合均匀，又可以对混合的蒸镀物质进行过滤，将大分子团蒸镀物质拦截并继续加热分解，从而提高了蒸镀物质附着的均匀性。
[0006]为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种基材蒸镀单元，包括：内部存储有蒸镀物质的本体，在所述本体的顶部设置有一出气管；
[0007]在所述本体的内部转动安装有一转杆，在所述转杆的外壁上且沿其长度方向设置有若干个波浪形结构的搅拌杆，若干个所述搅拌杆相互交错分布，且所述搅拌杆的端部设置有一具有搅拌针、搅拌柱的连接杆，所述搅拌柱设置在所述连接杆端部的中央位置，所述搅拌针以搅拌柱为圆心呈环形等距间隔分布，在所述本体的内部且位于所述转杆的上方弹性连接有一具有若干个过滤孔的过滤板。
[0008]上述技术方案中进一步改进的方案如下：
[0009]1. 上述方案中，所述本体的外壁设置有一减震壳。
[0010]2. 上述方案中，所述本体的一侧外壁设置有一固定连接有电机的电机架，所述电机的输出端通过联轴器与所述转杆连接。
[0011]3. 上述方案中，所述过滤板为波浪形结构。
[0012]4. 上述方案中，所述过滤板的四个拐角与所述本体的内壁之间均设置一弹簧。
[0013]5. 上述方案中，所述过滤孔的孔径小于0.2纳米。
[0014]由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：
[0015]本技术基材蒸镀单元，其位于本体内部的转杆具有若干个波浪形结构的搅拌杆，若干个搅拌杆相互交错分布，且搅拌杆的端部设置有一具有搅拌针、搅拌柱的连接杆，搅拌柱设置在连接杆端部的中央位置，搅拌针以搅拌柱为圆心等距间隔分布，在本体的内部且位于转杆的上方弹性连接有一具有若干个过滤孔的过滤板，通过搅拌杆进行转动时产生较大的旋涡，有利于蒸镀物质混合均匀，且过滤板可以对聚团的蒸镀物质进行过滤，将大分子团蒸镀物质拦截继续加热分解，改善了蒸镀颗粒的一致性，同时，过滤板与本体内壁之间弹性连接，通过旋涡带动过滤板弹性震动，也大大减少了过滤板堵塞的情况，保证了蒸镀物质的连续输出，从而提高了蒸镀物质附着的均匀性。
附图说明
[0016]附图1为本技术基材蒸镀单元的结构示意图；
[0017]附图2为本技术基材蒸镀单元的内部结构示意图；
[0018]附图3为本技术基材蒸镀单元的局部结构示意图一；
[0019]附图4为本技术基材蒸镀单元的局部结构示意图二。
[0020]以上附图中：1、本体；2、出气管；3、转杆；4、搅拌杆；5、搅拌针；6、搅拌柱；7、连接杆；8、过滤孔；9、过滤板；10、减震壳；11、电机；12、电机架；13、弹簧；14、搅拌槽；15、底座。
实施方式
[0021]通过下面给出的具体实施例可以进一步清楚地了解本专利，但它们不是对本专利的限定。
[0022]实施例1：一种本体，包括：内部存储有蒸镀物质的本体1，在所述本体1的顶部设置有一出气管2；
[0023]在所述本体1的内部转动安装有一转杆3，在所述转杆3的外壁上且沿其长度方向设置有若干个波浪形结构的搅拌杆4，若干个所述搅拌杆4相互交错分布；
[0024]所述搅拌杆4的端部设置有一具有搅拌针5、搅拌柱6的连接杆7，所述搅拌柱6设置在所述连接杆7端部的中央位置，所述搅拌针5以搅拌柱6为圆心呈环形等距间隔分布，在所述本体1的内部且位于所述转杆3的上方弹性连接有一具有若干个过滤孔8的过滤板9；
[0025]将蒸镀材料放入本体中，将蒸镀材料进行加热，蒸镀材料受热后升华或气化变成蒸镀粒子，启动电机，电机旋转带动转杆旋转，转杆旋转带动搅拌杆旋转，从而使得搅拌柱、搅拌针旋转，搅拌柱、搅拌针旋转能够将升华或气化的蒸镀粒子均匀混合；
[0026]在蒸镀物质的升华过程中，以及搅动混合过程中，部分蒸镀物质形成大分子团，通过在搅拌杆上方设置有过滤板，过滤板能够对混合后的蒸镀物质进行过滤，将大分子团蒸镀物质拦截继续加热分解，改善了蒸镀物质输出的一致性。
[0027]上述本体1的外壁设置有一减震壳10。
[0028]上述本体1的一侧外壁设置有一内壁之间固定连接有电机11的电机架12，此电机架12与上述本体1外壁固定连接，上述电机11的输出端通过联轴器与上述转杆3连接。
[0029]上述过滤板9为波浪形结构。
[0030]上述过滤板9的四个拐角与上述本体1的内壁之间均设置一弹簧13；
[0031]在搅拌杆进行转动时会产生较大的旋涡气流，有利于蒸镀物质混合均匀的同时，气流导致过滤板的上、下压力变化，过滤板通过弹簧可以产生震动，既可以对蒸镀物质进行过滤，保证了蒸镀物质的连续输出，可有效避免过滤板堵塞。
[0032]上述搅拌杆4外壁开设有搅拌槽14。
[0033]实施例2：一种本体，包括：内部存储有蒸镀物质的本体1，在所述本体1的顶部设置有一出气管2；
[0034]通过搅拌杆进行转动时产生较大的旋涡，有利于蒸镀物质混合均匀，且过滤板可以对聚团的蒸镀物质进行过滤，将大分子团蒸镀物质拦截继续加热分解，改善了蒸镀颗粒的一致性；
[0035]在所述本体1的内部转动安装有一转杆3，在所述转杆3的外壁上且沿其长度方向设置有若干个波浪形结构的搅拌杆4，若干个所述搅拌杆4相互交错分布，且所述搅拌杆4的端部设置有一具有搅拌针5、搅拌柱6的连接杆7，所述搅拌柱6设置在所述连接杆7端部的中央位置，所述搅拌针5以搅拌柱6为圆心呈环形等距间隔分布，在所述本体1的内部且位于所述转杆3的上方弹性连接有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基材蒸镀单元，包括：内部存储有蒸镀物质的本体（1），在所述本体（1）的顶部设置有一出气管（2）；其特征在于：在所述本体（1）的内部转动安装有一转杆（3），在所述转杆（3）的外壁上且沿其长度方向设置有若干个波浪形结构的搅拌杆（4），若干个所述搅拌杆（4）相互交错分布，且所述搅拌杆（4）的端部设置有一具有搅拌针（5）、搅拌柱（6）的连接杆（7），所述搅拌柱（6）设置在所述连接杆（7）端部的中央位置，所述搅拌针（5）以搅拌柱（6）为圆心呈环形等距间隔分布，在所述本体（1）的内部且位于所述转杆（3）的上方弹性连接有一具有若干个过滤孔（8）的过滤板（9）。2.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢洪涛，沈雅琴，
申请(专利权)人：苏州义铠轩电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：