薄膜蒸镀装置制造方法及图纸

技术编号：40376905 阅读：36 留言：0更新日期：2024-02-20 22:16

本技术公开一种薄膜蒸镀装置，其气化罐与蒸镀箱之间设置有一净化箱、导气泵，净化箱与气化罐之间通过一第一导管连通连接，净化箱与导气泵的进气端之间通过一第二导管连通连接，导气泵的出气端与蒸镀箱之间通过一第三导管连通连接，在净化箱的内部间隔设置有一下部开设有第一通风槽的隔板、上部开设有第二通风槽的弧形板，位于隔板与弧形板之间设置有活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网，且活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网自上而下依次分布，位于活性炭吸附层的上方设置有一通风框，此通风框的内部填充有若干个火山石。本技术薄膜蒸镀装置提高了过滤效果，大大降低了蒸镀物质中的杂质含量，提升了蒸镀物质的质量。

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【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空蒸镀，尤其涉及一种薄膜蒸镀装置。

技术介绍

1、目前，蒸镀工艺被广泛地应用于镀膜生产过程中，其原理是将待成膜的沉积材料放置于真空环境中，通过电阻加热或电子束加热使沉积材料加热到一定温度发生蒸发或升华，气化后的沉积材料凝结沉积在待成膜的基材表面而完成镀膜，为薄膜片材的原料薄膜上形成金属等的真空蒸镀层，以便赋予原料薄膜气体隔离性能和湿气隔离性能。

2、经检索，中国技术专利cn202222195632.0公开了“一种蒸镀机穿膜辊结构”，其包括真空蒸镀室，在真空蒸镀室上方设置有放卷辊、收卷辊，在真空蒸镀室下方设置冷辊，靠近冷辊设置有铝槽和锌炉，薄膜从放卷辊至冷辊分别顺序卷绕在第一、二导辊、第一展平辊、第三、四导辊、第二展平辊、第五导辊上，放卷辊正转或反转使薄膜的处理面朝向第一导辊表面，第三导辊是碳纤维辊，薄膜从冷辊至收卷辊卷绕在第一电阻辊、第六导辊、张力辊、第二电阻辊、第七导辊、第三展平辊、第八导辊、第九导辊上。本技术通过将部分导辊由金属辊改为碳纤维辊，使重量得到较大减轻，同时减轻了对辊轴承的压力，故障率下降，平均无故

【技术保护点】

1.一种薄膜蒸镀装置，包括：底板（1），其特征在于：在所述底板（1）的上方设置有一蒸镀箱（2），此蒸镀箱（2）的顶部固定安装有一内部具有蒸镀物质的气化罐（11），所述气化罐（11）与蒸镀箱（2）之间设置有一净化箱（14）、导气泵（10），所述净化箱（14）与气化罐（11）之间通过一第一导管（13）连通连接，所述净化箱（14）与导气泵（10）的进气端之间通过一第二导管（15）连通连接，所述导气泵（10）的出气端与所述蒸镀箱（2）之间通过一第三导管（16）连通连接；

2.根据权利要求1所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于：所述火山石（25）具有多孔结构。