【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜，具体为一种真空镀膜装置。
技术介绍
1、真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
2、现有专利（cn216614834u）公开了一种真空镀膜腔室及真空镀膜设备，该装置在使用过程中，能够使得柱杆通过料架带动工件进行旋转镀膜加工，极大的提升了工件镀膜的均匀性和加工效率，提升柱杆插接固定后的稳定性，而承接盘通过弹簧对柱杆进行顶持，进而方便柱杆进行拆卸安装。在上述现有技术中，该装置在镀膜时，其仅能够带动工件在水平方向转动，而难以增加工件的水平表面与真空离子的接触概率，导致镀膜均匀性和效率均相对较差。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供真空镀膜装置，以解决上述
技术介绍
中提出的而难以增加工件的水平表面与真空离子的接触概率，导致镀膜均匀性和效率均相对较差的问题。
2、为实现上述技术目的，本技术采用如下技术方案：
3、本技术提供的一种真空镀膜装置，包括镀膜装置本体，所述镀膜装置本体内壁的底部沿其周向的等距装配有支撑丝杆，所述镀膜装置本体的内部沿其周向等距装配有升降部件，所述升降部件的边缘处卡接有置物架。
4、所述升降部件包括套装在支撑丝杆外壁顶端的螺母座，所述螺母座的两侧均对称铰接有两个连接臂，所述连接臂的底端铰接有剪式伸缩架，所述支撑丝杆的外壁沿其高度方向等距套装有支撑座，所述支撑座的一侧壁
5、进一步地，所述支撑座顶部的两端均沿其宽度方向开设有限位槽，所述限位槽的内部形状和大小与置物架外壁两侧的形状和大小相配合。
6、进一步地，所述剪式伸缩架处于条形槽的正上方，且每两个剪式伸缩架与四个条形槽为一组。
7、进一步地，所述拉簧的两端分别与导向槽内壁的一侧和连接杆外壁的中间处固定连接，且拉簧的轴线与连接杆的轴线垂直。
8、进一步地，所述支撑丝杆的底端贯穿镀膜装置本体内壁的底部并延伸至其内部，且支撑丝杆的顶端与镀膜装置本体内壁的顶部转动连接。
9、进一步地，所述镀膜装置本体的底部通过紧固螺栓安装有传动部件，且镀膜装置本体的一侧沿其周向装配有密封滑门。
10、进一步地，所述传动部件包括通过紧固螺栓固定安装在镀膜装置本体底部的封底盖，所述镀膜装置本体的底部开设有传动腔，所述传动腔内壁顶部的中间处镶嵌有伺服电机，所述伺服电机的输出端套装有主动轮，所述支撑丝杆的底端由上向下贯穿传动腔内壁的顶部并延伸至其内部，且支撑丝杆外壁的底端套装有从动轮，所述主动轮外壁的齿面与从动轮外壁的齿面相啮合。
11、与现有技术相比，以上一个或多个技术方案存在以下有益效果：
12、本技术能够通过传动部件和升降部件的配合使用，在工件镀膜过程中，传动部件能够带动升降部件进行往复升降运动，增加工件的水平表面与正空离子的接触概率，达到提高工件的整体镀膜均匀性，在镀膜操作完成后，使用者能够通过升降部件灵活的调节置物架的高度，便于使用者放取工件，避免使用者在工件的放取过程中频繁的弯腰踮脚，提高使用者的工作舒适性。
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1.一种真空镀膜装置，包括镀膜装置本体（1），所述镀膜装置本体（1）内壁的底部沿其周向的等距装配有支撑丝杆（4），其特征在于，所述镀膜装置本体（1）的内部沿其周向等距装配有升降部件（5），所述升降部件（5）的边缘处卡接有置物架（6）；
2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述支撑座（504）顶部的两端均沿其宽度方向开设有限位槽（508），所述限位槽（508）的内部形状和大小与置物架（6）外壁两侧的形状和大小相配合。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述剪式伸缩架（503）处于条形槽（509）的正上方，且每两个剪式伸缩架（503）与四个条形槽（509）为一组。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述拉簧（506）的两端分别与导向槽（505）内壁的一侧和连接杆（507）外壁的中间处固定连接，且拉簧（506）的轴线与连接杆（507）的轴线垂直。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述支撑丝杆（4）的底端贯穿镀膜装置本体（1）内壁的底部并延伸至其内部，且支撑丝杆（4）的顶端与镀
6.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述镀膜装置本体（1）的底部通过紧固螺栓安装有传动部件（2），且镀膜装置本体（1）的一侧沿其周向装配有密封滑门（3）。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述传动部件（2）包括通过紧固螺栓固定安装在镀膜装置本体（1）底部的封底盖（21），所述镀膜装置本体（1）的底部开设有传动腔（22），所述传动腔（22）内壁顶部的中间处镶嵌有伺服电机（23），所述伺服电机（23）的输出端套装有主动轮（24），所述支撑丝杆（4）的底端由上向下贯穿传动腔（22）内壁的顶部并延伸至其内部，且支撑丝杆（4）外壁的底端套装有从动轮（25），所述主动轮（24）外壁的齿面与从动轮（25）外壁的齿面相啮合。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜装置，包括镀膜装置本体（1），所述镀膜装置本体（1）内壁的底部沿其周向的等距装配有支撑丝杆（4），其特征在于，所述镀膜装置本体（1）的内部沿其周向等距装配有升降部件（5），所述升降部件（5）的边缘处卡接有置物架（6）；
2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述支撑座（504）顶部的两端均沿其宽度方向开设有限位槽（508），所述限位槽（508）的内部形状和大小与置物架（6）外壁两侧的形状和大小相配合。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述剪式伸缩架（503）处于条形槽（509）的正上方，且每两个剪式伸缩架（503）与四个条形槽（509）为一组。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述拉簧（506）的两端分别与导向槽（505）内壁的一侧和连接杆（507）外壁的中间处固定连接，且拉簧（506）的轴线与连接杆（507）的轴线垂直。
5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁梦希，
申请(专利权)人：东莞市德隆保纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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