一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置制造方法及图纸

本申请涉及镀膜防护技术领域，具体而言，涉及一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置，包括基膜、沉积辊、蒸发狭缝、气帘以及低温冷阱，其中：基膜紧贴覆盖在沉积辊上；蒸发狭缝设置在沉积辊的外侧，与加热腔连通；有机物通过加热腔，以气态分子形式从蒸发狭缝中喷出，与沉积辊上的基膜接触；气帘设置在蒸发狭缝的两侧，一端与蒸发狭缝连接，另一端与基膜之间形成第一缝隙；低温冷阱设置在气帘的外侧，一端与气帘连接，另一端与基膜之间形成第二缝隙。本申请通过在沉积辊区域边缘设置气帘与低温冷阱，将高温蒸发的有机物限制在沉积区以内，减少了对真空腔室与沉积辊的污染，解决了有机物蒸发对腔室内污染的难题。室内污染的难题。室内污染的难题。

【技术实现步骤摘要】
一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置


[0001]本申请涉及镀膜防护
，具体而言，涉及一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置。

技术介绍

[0002]卷绕式真空镀膜技术以其低成本、高生产效率等特点在氧化物高阻隔膜产业化制备中得到了广泛的应用。
[0003]在镀膜过程中，有机物会在沉积辊表面沉积，为满足沉积辊面连续长距离沉积成膜的需求，防止有机物液体对腔室内造成污染，需要在幅宽方向加装防护装置。
[0004]在现有技术中，虽然公开了在卷绕式镀膜端头设置保护装置，但是一般是对粉末和膜料进行防护的，无法对有机物分子进行防护，比如专利公开号为CN 202322970U中，虽然公开了一种热喷涂用辊体轴头保护套，能够防止陶瓷粉附着在辊体轴头上，但是无法对气态有机物形成有效的防护，容易对腔室内部造成污染。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置，通过在沉积辊区域边缘设置气帘与低温冷阱，从而可以减少对真空腔室与沉积辊的污染。
[0006]为了实现上述目的，本申请提供了一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置，包括基膜、沉积辊、蒸发狭缝、气帘以及低温冷阱，其中：基膜紧贴覆盖在沉积辊上；蒸发狭缝设置在沉积辊的外侧，与加热腔连通；有机物通过加热腔，以气态分子形式从蒸发狭缝中喷出，与沉积辊上的基膜接触；气帘设置在蒸发狭缝的两侧，一端与蒸发狭缝连接，另一端与基膜之间形成第一缝隙；低温冷阱设置在气帘的外侧，一端与气帘连接，另一端与基膜之间形成第二缝隙。
[0007]进一步的，气帘由不与有机物发生反应的气体组成。
[0008]进一步的，低温冷阱与冷冻机连接，低温冷阱的下方设置有收集槽。
[0009]进一步的，低温冷阱的温度范围为
‑
30℃
‑
10℃。
[0010]进一步的，第一缝隙的宽度为1
‑
3mm。
[0011]进一步的，第二缝隙的宽度<1mm。
[0012]本专利技术提供的一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置，具有以下有益效果：
[0013]本申请通过在沉积辊区域边缘设置气帘与低温冷阱，将高温蒸发的有机物限制在沉积区以内，减少了对真空腔室与沉积辊的污染，解决了有机物蒸发对腔室内污染的难题，实现了有机物真空环境下的连续卷绕长距离沉积，提高了生产效率，具有较好的产业化前景。
附图说明
[0014]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它
特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0015]图1是根据本申请实施例提供的真空卷绕有机物蒸镀防护装置的主视图；
[0016]图2是根据本申请实施例提供的真空卷绕有机物蒸镀防护装置的侧视图；
[0017]图中：1
‑
沉积辊、2
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蒸发狭缝、3
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气帘、4
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低温冷阱、5
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有机物气体分子、6
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第一缝隙、7
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第二缝隙、8
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基膜。
具体实施方式
[0018]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0019]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0020]在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
[0021]并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。
[0022]另外，术语“多个”的含义应为两个以及两个以上。
[0023]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0024]如图1
‑
2所示，本申请提供了一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置，包括基膜8、沉积辊1、蒸发狭缝2、气帘3以及低温冷阱4，其中：基膜8紧贴覆盖在沉积辊1上；蒸发狭缝2设置在沉积辊1的外侧，与加热腔连通；有机物通过加热腔，以气态分子形式从蒸发狭缝2中喷出，与沉积辊1上的基膜8接触；气帘3设置在蒸发狭缝2的两侧，一端与蒸发狭缝2连接，另一端与基膜8之间形成第一缝隙6；低温冷阱4设置在气帘3的外侧，一端与气帘3连接，另一端与基膜8之间形成第二缝隙7。
[0025]具体的，在真空卷绕有机物蒸镀的过程中，有机物通过加热腔，以气态分子形式从蒸发狭缝2内喷出，遇到沉积辊1与基膜8后会凝结形成液膜，但是由于没有防护装置，有机物气体分子5可能会通过沉积辊1与蒸发狭缝2之间的间隙，逃逸到达沉积区以外，对其它区域造成污染，从而影响长距离卷绕镀膜的实施；而本申请实施例提供的真空卷绕有机物蒸
镀防护装置沿幅宽方向在蒸发狭缝2的外侧设置有两道防护装置，其中，第一道防护装置为气帘3，能够对有机物气体形成阻隔，抑制了有机物气体分子5的逃逸扩散，第二道防护装置为低温隔离装置，优选为低温冷阱4，通过调节低温冷阱4的温度，使有机物气体分子5凝结，从而能够有效防止有机物气体分子5的溢出，不会对其他区域造成污染。
[0026]进一步的，气帘3由不与有机物发生反应的气体组成。气帘3主要由不与有机物发生反应的气体组成，对有机物分子形成第一道防护，气帘3的宽度比蒸发狭缝2略大，范围优选在10
‑
80cm，有机物一般为丙烯酸酯类，而气帘的气体优选采用氮气、氩气等不影响有机气体蒸发聚合的气体，气体的体积流量一般在300
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1000sccm，气体喷射在蒸发狭缝2之外能够形成高气压，从而抑制有机物气体分子5的扩本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置，其特征在于，包括基膜、沉积辊、蒸发狭缝、气帘以及低温冷阱，其中：所述基膜紧贴覆盖在所述沉积辊上；所述蒸发狭缝设置在所述沉积辊的外侧，与加热腔连通；有机物通过加热腔，以气态分子形式从所述蒸发狭缝中喷出，与所述沉积辊上的基膜接触；所述气帘设置在所述蒸发狭缝的两侧，一端与所述蒸发狭缝连接，另一端与所述基膜之间形成第一缝隙；所述低温冷阱设置在所述气帘的外侧，一端与所述气帘连接，另一端与所述基膜之间形成第二缝隙。2.根据权利要求1所述的真空卷绕有机物蒸镀防护装置，其特征在于，所述气帘由不与有机物发生...

【专利技术属性】
技术研发人员：董茂进，冯煜东，王小军，秦丽丽，王冠，冯尔鹏，蔡宇宏，韩仙虎，王毅，马凤英，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：