一种制造技术

本实用新型专利技术公开了一种

【技术实现步骤摘要】
一种GaN基晶圆切割装置


[0001]本技术属于
GaN
基晶圆切割设备
，尤其涉及一种
GaN
基晶圆切割装置
。

技术介绍

[0002]晶圆切割机是一种自动化精密切割设备，其外部设有紧急开关，为了防止误触碰，其外部通常设置有护栏，紧急关停时，瞄准护栏内的紧急开关拍打即可
。
[0003]由于常规的晶圆切割机的紧急开关需要避开护栏才能紧急关停，而紧急状态下，使用者在紧张情绪中，手的精准度比较低，从而造成常规的晶圆切割机的紧急开关按压失误
。
[0004]为此，我们提出来一种
GaN
基晶圆切割装置解决上述问题
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决常规的晶圆切割机的紧急开关按压失误，而提出的一种
GaN
基晶圆切割装置
。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种
GaN
基晶圆切割装置，包括晶圆切割机，所述晶圆切割机的紧急开关本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
GaN
基晶圆切割装置，其特征在于，包括晶圆切割机
(1)
，所述晶圆切割机
(1)
上设置有紧急开关，所述紧急开关的外部套有壳架
(2)
，所述壳架
(2)
的前部滑动安装有按压板
(4)
，所述按压板
(4)
与所述紧急开关接触，所述按压板
(4)
与所述壳架
(2)
之间设有塑料薄片
(5)
，所述塑料薄片
(5)
穿插在壳架
(2)
内，所述壳架
(2)
的侧部转动连接有挡栓
(3)。2.
根据权利要求1所述的一种
GaN
基晶圆切割装置，其特征在于，所述壳架
(2)
包括架体
(22)、
导套
(24)
和固定轴
(25)
，所述架体
(22)
的侧部镂空开设有插槽
(23)
，所述固定轴
(25)
设有两个并分别设置在所述架体
(22)
的相对的两侧壁上，进而使两个所述固定轴
(25)
呈对称分布，所述导套
(24)
固定连接在所述架体
(22)
的内部
。3.
根据权利要求2所述的一种
GaN
基晶圆切割装置，其特征在于，所述壳架
(2)
还包括存放槽
(21)
，所述存放槽
(21)
固定连接在所述架体
(22)...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡晓海，
申请(专利权)人：苏州中科重仪半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：