过滤系统及包括其的薄膜沉积设备技术方案

本发明专利技术公开了一种过滤系统及包括其的薄膜沉积设备。根据本发明专利技术实施例的过滤系统包括进气口；进气腔，所述进气腔与所述进气口相连通；待过滤气体经由所述进气口进入所述进气腔；出气腔，所述出气腔设置在所述进气腔的一侧，所述出气腔用于容纳过滤后气体；滤芯，所述滤芯介于所述进气腔和所述出气腔之间，所述滤芯用于过滤所述待过滤气体以得到所述过滤后气体；以及振动器，所述振动器设置在所述出气腔中，所述振动器提供振动以清洁所述滤芯上的滤渣。根据本发明专利技术实施例的过滤系统及包括其的薄膜沉积设备，能够方便、高效、快捷地实现滤芯的清洁，延长过滤系统的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造，特别涉及一种过滤系统及包括其的薄膜沉积设备。

技术介绍

1、在半导体制程中，过滤是一项至关重要的工艺步骤。过滤能够去除杂质、颗粒和其他不良物质，以确保半导体器件的质量和可靠性，满足各项工艺要求。

2、以现有的mocvd(metal organic chemical vapor deposition，金属有机化学气相沉积)过滤器装置为例，其一般采用单筒滤芯或多筒滤芯，通过滤芯作用来达到过滤尾气中固体颗粒的效果，单筒多级过滤器主要是靠逐层分级的滤芯来过滤直径大小不一的固体颗粒，多筒滤芯则是靠增加尾气与滤芯的接触面积来实现过滤效果。现有的mocvd过滤器面临的主要挑战包括过滤效率的衰减、过滤器堵塞快速以及更换频率高等，以单筒滤芯过滤为例，由于容纳固体颗粒空间有限，经过80到120个标准led程序后就需要更换过滤器滤芯。上述问题的存在直接关联到生产成本和设备的连续运行能力。为了应对这些挑战，研究和开发集中在提高过滤器的耐久性、过滤效率以及设计更有效的清洁或预处理系统，以减少过滤器的维护需求和延长其使用寿命。例如，通过在过滤器前本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种过滤系统，包括：

2.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述进气口与反应腔相连通以接收所述待过滤气体。

3.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述过滤系统还包括：

4.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述过滤系统还包括外壳、顶盖和固定平台，

5.根据权利要求4所述的过滤系统，其中，所述过滤系统还包括橡胶密封垫和螺栓；

6.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述振动器包括气动振动器；

7.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述振动器包括气动振动器；所述气动振动器经由管道连接至气源；

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【技术特征摘要】

1.一种过滤系统，包括：

2.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述进气口与反应腔相连通以接收所述待过滤气体。

3.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述过滤系统还包括：

4.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述过滤系统还包括外壳、顶盖和固定平台，

5.根据权利要求4所述的过滤系统，其中，所述过滤系统还包括橡胶密封垫和螺栓；<...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈浩，
申请(专利权)人：苏州中科重仪半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：