温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种过滤系统及包括其的薄膜沉积设备。根据本发明实施例的过滤系统包括进气口；进气腔，所述进气腔与所述进气口相连通；待过滤气体经由所述进气口进入所述进气腔；出气腔，所述出气腔设置在所述进气腔的一侧，所述出气腔用于容纳过滤后气体；滤芯...
该专利属于苏州中科重仪半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州中科重仪半导体材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。