基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法技术

本发明专利技术涉及基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法，包括：1、将金属箔弯折形成波浪板，并将波浪板与金属箔裁切成等尺寸的长条矩形；2、将步骤1裁切成型的金属箔片与金属波浪板进行表面清洗；3、将清洗后的金属箔片与金属波浪板置于低压化学气相沉积系统的反应区域，在金属箔片与金属波浪板的表面进行石墨烯的可控镀膜；4、将镀膜的金属箔片与金属波浪板取出并进行测量表征；5、使用氧气等离子体对石墨烯镀膜表面进行处理；6、将金属箔片与金属波浪板上下依次堆叠，并插入到一个筒状外壳的方孔中，内部形成发射微孔结构，完成原子束流发射结构的制备。本发明专利技术降低了石墨烯在微孔中的镀膜难度，提升了镀膜的均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于原子物理领域，具体涉及一种基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法。

技术介绍

1、原子束流在原子物理、化学物理以及表面物理均具有广阔的应用前景，使用原子炉通过一个微管阵列组成的发射结构产生高原子通量、高准直度的高品质原子束流的技术，已经应用于原子钟以及原子束流陀螺的等精密传感器件上，作为制约传感器测量精度的主要因素之一，随着传感器精度要求的提高，人们对束流品质的要求也越来越高，大通量的原子束流受到发射结构内壁的不均匀散射以及活泼原子与发射结构内壁的反应，不仅会造成原子束流准直度的下降，而且严重时会造成发射结构的堵塞，影响发射结构的使用寿命。因此，实验上亟需设计一种发射结构的制备方法，解决上述问题，实现高品质原子束流的制备。

技术实现思路

1、本专利技术针对现有技术的不足，提出一种基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法。

2、本专利技术的上述目的通过以下技术方案来实现：

3、一种基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法，通过分步组装制作发射结构，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法，其特征在于：通过分步组装制作发射结构，实现石墨烯的均匀镀膜，所述制备方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法，其特征在于：步骤1中，金属箔弯折形成波浪板通过相对旋转的一组锯齿滚轴压制成型。

3.根据权利要求1所述的基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法，其特征在于：步骤2中，依次用丙酮、异丙醇、去离子水进行清洗，每种介质均清洗15分钟。

4.根据权利要求1所述的基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法，其特征在于，步骤3具体包...

【技术特征摘要】

1.一种基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法，其特征在于：通过分步组装制作发射结构，实现石墨烯的均匀镀膜，所述制备方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法，其特征在于：步骤1中，金属箔弯折形成波浪板通过相对旋转的一组锯齿滚轴压制成型。

3.根据权利要求1所述的基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法，其特征在于：步骤2中，依次用丙酮、异丙醇、去离子水进行清洗，每种介质均清洗1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张戈辉，路想想，赵倩云，刘简，王杰英，
申请(专利权)人：中国船舶集团有限公司第七〇七研究所，
类型：发明
国别省市：