探针测试装置制造方法及图纸

本申请公开了一种探针测试装置，包括：针卡、调节机构和驱动机构，针卡上排布有多个探针；调节机构包括有连接板、第一调节组件和第二调节组件，第一调节组件包括有第一转接板和第一调节件，第一调节件连接第一转接板和连接板，并用于调节第一转接板和连接板在第一方向上的相对距离，第二调节组件包括有第二调节件，第二调节件连接针卡和第一转接板，并用于调节针卡和第一转接板在第二方向上的相对距离，第一方向和第二方向均沿水平方向且相互垂直，针卡滑动连接于第一转接板，第一转接板滑动连接于连接板；驱动机构的输出端连接连接板，并用于驱动连接板升降。本申请的探针测试装置能够调节针卡在水平方向上的坐标位置，节省调试时间。省调试时间。省调试时间。

【技术实现步骤摘要】
探针测试装置


[0001]本申请涉及探针检测领域，特别涉及一种探针测试装置。

技术介绍

[0002]相关技术中，通过连接有测试装置的探针对准产品的引脚或者PAD(压焊点)以进行加电测试。当产品上的待测点较多的情况下，会选用带探针的针卡的形式。探针在针卡上的排布方式与产品中测试单元上的待测点的排布方式相同。在探针下方设置有用于承载待测产品的承载台，承载台能够按照设定好的程序改变产品在水平方向上的坐标，从而方便探针依次对产品上的多个测试单元进行整排、整列的测试。承载台上产品的测试起始位置与针卡在高度方向上基本对应，但是在测试前还需要对承载台的程序数据进行进一步的调试，以使得测试单元的待测点与多个探针能够达到精准对准，但因此会使得调试过程较为繁琐。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种探针测试装置，能够调节针卡在水平方向上的坐标位置，节省调试时间。
[0004]根据本技术实施例的探针测试装置，包括：针卡、调节机构和驱动机构，所述针卡上排布有多个探针；调节机构包括有连接板、第一调节组件和第二调节组件，所述第一调节组件包括有第一转接板和第一调节件，所述第一转接板沿第一方向滑动连接于所述连接板，所述针卡沿所述第二方向滑动连接于所述第一转接板，所述第一调节件连接所述第一转接板和所述连接板，并用于调节所述第一转接板和所述连接板在第一方向上的相对位置，所述第二调节组件包括有第二调节件，所述第二调节件连接所述针卡和所述第一转接板，并用于调节所述针卡和所述第一转接板在所述第二方向上的相对位置，所述第一方向和所述第二方向均沿水平方向且相互垂直；所述驱动机构的输出端连接所述连接板，并用于驱动所述连接板升降，以使所述探针接触或远离待测点。
[0005]根据本技术实施例的探针测试装置，至少具有如下有益效果：这种探针测试装置包括有针卡、调节机构和驱动机构，当需要调节针卡在水平方向上的坐标时，可以通过调节第一调节件，从而调节第一转接板和连接板在第一方向上的相对距离，由于针卡连接第一转接板，因此也就调节了针卡和连接板在第一方向上的距离，再通过调节第二调节件，从而调节针卡和第一转接板在第二方向上的距离，由于第一转接板连接连接板，因此也就调节了针卡和连接板在第二方向上的距离，又因为第一方向和第二方向水平且相互垂直，因此相当于调节了针卡在水平方向上的坐标，也就能够将针卡上的探针一一对准产品测试单元上的待测点；另外，连接板连接在驱动机构的输出端，因此连接板能够在驱动机构的驱动下升降，从而也能够带动针卡进行升降，以便对测试单元一一进行测试；因此，本申请的探针测试装置能够避免对承载台的程序数据进行调试，通过调节针卡在水平方向上的坐标，即可实现探针与待测点的对准，节省了测试前的调试时间，从而提高了测试效率。
[0006]根据本技术的一些实施例，所述针卡的中部开设有通孔，所述探针倾斜设置且所述探针的测试端位于所述通孔下方。
[0007]根据本技术的一些实施例，所述第一调节组件还包括有第一弹性件，所述第一弹性件连接所述第一转接板和所述连接板，所述第一弹性件用于提供所述第一转接板相对所述连接板在所述第一方向上移动的第一弹性力，且所述第一调节件所提供的限制所述第一转接板相对所述连接板移动的阻力方向与所述第一弹性力相反，所述第二调节组件还包括有第二弹性件，所述第二弹性件连接所述第一转接板和所述针卡，所述第二弹性件用于提供所述针卡相对所述第一转接板在所述第二方向上移动的第二弹性力，且所述第二调节件所提供的限制所述针卡相对所述第一转接板移动的阻力方向与所述第二弹性力相反。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述第二调节组件还包括有第二转接板，所述针卡通过所述第二转接板滑动连接于所述第一转接板，所述第一调节件沿所述第一方向螺纹连接于所述第一转接板，且所述第一调节件的一端抵接于所述连接板，所述第二调节件沿所述第二方向螺纹连接于所述第一转接板，且所述第二调节件的一端抵接于所述第二转接板。
[0009]根据本技术的一些实施例，还包括有第一锁紧件和第二锁紧件，所述第一锁紧件连接所述第一转接板和所述连接板，并用于锁紧所述第一转接板和所述连接板，所述第二锁紧件连接所述第一转接板和所述第二转接板，并用于锁紧所述第一转接板和所述第二转接板。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述探针测试装置还包括有夹持组件，所述针卡通过所述夹持组件设于所述第二转接板，所述夹持组件包括有针盘和第三锁紧件，所述第三锁紧件用于将所述针卡锁紧于所述针盘。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述驱动机构包括分别设于所述连接板两侧的第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件和第二驱动组件中至少有一个设有驱动件，所述驱动件用于驱动所述连接板升降，所述第一驱动组件包括有第三导向结构，所述第二驱动组件包括有第四导向结构，所述第三导向结构和所述第四导向结构分别连接所述连接板的两侧，以使所述连接板的两侧均能够沿竖直方向升降。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述驱动机构还包括有第一丝杠组件，所述第一丝杠组件所设数量与所述驱动件一致，且包括有第一丝杠和螺纹连接于所述第一丝杠的第一螺母，所述第一螺母与所述连接板固定，所述第一丝杠连接所述驱动件的输出端，并能够在所述驱动件的驱动下带动所述第一螺母升降。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述驱动机构还包括有第一同步带组件，所述第一同步带组件所设数量与所述驱动件一致，所述第一同步带组件连接所述驱动件的输出端和所述第一丝杠。
[0014]根据本技术的一些实施例，还包括有第二同步带组件，所述第一驱动组件包括有第二丝杠组件，所述第二驱动组件包括有第三丝杠组件，所述第一驱动组件和第二驱动组件中的其中一个设置驱动件，所述第二丝杠组件包括有第二丝杠和螺纹连接于所述第二丝杠的第二螺母，所述第三丝杠组件包括有第三丝杠和螺纹连接于所述第三丝杠的第三螺母，所述第二丝杠和所述第三丝杠通过所述第二同步带组件传动连接，所述第二螺母和所述第三螺母分别与所述连接板的两侧固接，所述驱动件的输出端连接所述第二丝杠或第
三丝杠，并能够在所述驱动件的驱动下带动所述第二螺母和所述第三螺母升降。
[0015]本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0016]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0017]图1为本技术其中一实施例的探针测试装置的整体结构示意图；
[0018]图2为图1中所示的探针测试装置去除工作台和驱动机构后的结构示意图；
[0019]图3为图1中所示的探针测试装置去除工作台、驱动机构和连接板后的结构示意图；
[0020]图4为图1中所示的探针测试装置的侧视图；
[0021]图5为图4中所示的探针测试装置的剖视图A
‑
A；
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.探针测试装置，其特征在于，包括：针卡(100)，所述针卡(100)上排布有多个探针(110)；调节机构(200)，包括有连接板(400)、第一调节组件和第二调节组件，所述第一调节组件包括有第一转接板和第一调节件(510)，所述第一转接板(520)沿第一方向滑动连接于所述连接板(400)，所述针卡(100)沿第二方向滑动连接于所述第一转接板(520)，所述第一调节件(510)连接所述第一转接板(520)和所述连接板(400)，并用于调节所述第一转接板(520)和所述连接板(400)在第一方向上的相对位置，所述第二调节组件包括有第二调节件(610)，所述第二调节件(610)连接所述针卡(100)和所述第一转接板(520)，并用于调节所述针卡(100)和所述第一转接板(520)在所述第二方向上的相对位置，所述第一方向和所述第二方向均沿水平方向且相互垂直；驱动机构(300)，所述驱动机构(300)的输出端连接所述连接板(400)，并用于驱动所述连接板(400)升降，以使所述探针(110)接触或远离待测点。2.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述针卡(100)的中部开设有通孔(120)，所述探针(110)倾斜设置且所述探针(110)的测试端位于所述通孔(120)下方。3.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述第一调节组件还包括有第一弹性件(530)，所述第一弹性件(530)连接所述第一转接板(520)和所述连接板(400)，所述第一弹性件(530)用于提供所述第一转接板(520)相对所述连接板(400)在所述第一方向上移动的第一弹性力，且所述第一调节件(510)所提供的限制所述第一转接板(520)相对所述连接板(400)移动的阻力方向与所述第一弹性力相反，所述第二调节组件还包括有第二弹性件(630)，所述第二弹性件(630)连接所述第一转接板(520)和所述针卡(100)，所述第二弹性件(630)用于提供所述针卡(100)相对所述第一转接板(520)在所述第二方向上移动的第二弹性力，且所述第二调节件(610)所提供的限制所述针卡(100)相对所述第一转接板(520)移动的阻力方向与所述第二弹性力相反。4.根据权利要求3所述的探针测试装置，其特征在于，所述第二调节组件还包括有第二转接板(620)，所述针卡(100)通过所述第二转接板(620)滑动连接于所述第一转接板(520)，所述第一调节件(510)沿所述第一方向螺纹连接于所述第一转接板(520)，且所述第一调节件(510)的一端抵接于所述连接板(400)，所述第二调节件(610)沿所述第二方向螺纹连接于所述第一转接板(520)，且所述第二调节件(610)的一端抵接于所述第二转接板(620)。5.根据权利要求4所述的探针测试装置，其特征在于，还包括有第一锁紧件(550)和第二锁紧件(650)，所述第一锁紧件(550)连接所述第一转接板(520)和所述连接板(400)，并用于锁紧所述第一转接板(520)和所述连接板(400)，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨应俊，王伟谦，李景均，吴贵阳，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：新型
国别省市：