一种金刚线多线切割机及其切割装置、以及硅锭切片生产线制造方法及图纸

技术编号:39424889 阅读:8 留言:0更新日期:2023-11-19 16:12
本发明专利技术公开的切割装置包括切割头和主轴系统、至少四个偏心轴套,切割头具有框架主体和至少四个轴孔,主轴系统包括一组罗拉和一组轴承箱组件、锁紧螺杆组件,偏心轴套可轴向滑动的安装在轴孔中,偏心轴套内设置轴承箱;偏心轴套上设置有一个支撑臂,框架主体上设有限位机构,限位机构与轴孔进行组合,限位机构包括至少二个限位卡座和紧固件,在偏心轴套被插入到对应的轴孔后支撑臂与限位卡座能形成限位配合,将偏心轴套沿轴向抽出后转动一个角度再插入,支撑臂与另一个限位卡座配合,就对罗拉转动中心位置完成一次调整,也即调整了线网的宽度。该调整方法简便。此外,本发明专利技术还提供了包括该切割机构的金刚线多线切割机、以及硅锭切片生产线。切片生产线。切片生产线。

【技术实现步骤摘要】
一种金刚线多线切割机及其切割装置、以及硅锭切片生产线


[0001]本专利技术大致涉及用于从硅锭形成薄基板的设备,尤其是一种用于对硅锭进行切片的生产线。本专利技术也涉及了一种切割装置和包括该切割装置的金刚线多线切割机,用于半导体、太阳能电池或发光二极管的铸锭材料进行切割以获得材料薄片。

技术介绍

[0002]EP 2826582 A1公开了一种丝锯装置,该丝锯装置包括切割头、至少四个轴承箱套筒和温度控制防护罩布置,所述切割头具有框架主体和至少四个开口,所述至少四个开口经配置用于接收一组丝线导向器圆筒,所述温度控制防护罩布置具有一个或多个温度控制防护罩,其中框架主体由矿物铸件制造且与所述至少四个轴承箱套筒和所述一个或多个温度控制防护罩组合,所述至少四个轴承箱套筒可在至少四个开口中的各自一个中粘合和/或压合。轴承箱套筒具有环状形式且可被提供用于轴承箱的高精确度安装,与矿物铸造框架主体一起,以使丝线导向器圆筒的同心度、平行度和/或垂直度获得高精确度。
[0003]其二个丝线导向器圆筒的中心距是固定的,待切割工件的尺寸也需在一定范围内。若带切割工件过小,则使得丝线不接触待切割工件部分的长度会变长,造成张力下降和/或振动变大,有损切割质量;而若是待切割工件过大,又受限于二个丝线导向器圆筒的中心距而无法加工,则需要配置更大中心距的丝锯装置,所需投入就需成倍增加。而随着市场对铸锭材料的多样化需求增强,此类情况越来越多。其中,所述待切割工件一般是指铸锭材料,所述铸锭材料包括诸如砷化镓、锗、多晶硅或单晶硅、磷化铟、石英、蓝宝石或者其他陶瓷材料。
[0004]CN 112719444 A公开了一种多线切割机,该多线切割机的切割装置包括框架主体、一组主轴系统,框架主体上具有四个轴承座孔,所述四个轴承座孔用于安装一组主轴系统,所述主轴系统包括主轴电机、电机安装座、主动轴组件、从动轴组件、锁紧螺杆、轴辊,所述主轴系统的轴辊(或称罗拉)与前述的丝线导向器圆筒的功能相似或者相同。随着市场对铸锭材料的多样化需求增强,该多线切割机面临了与EP 2826582 A1公开的丝锯装置相同的技术问题,对于不同尺寸规格的待切割工件的适应性不佳。因此,本领域需要有能够适应多种不同尺寸规格待切割工件的多线切割机。

技术实现思路

[0005]鉴于以上内容,本专利技术的一个目的在于提供一种切割装置和包括该切割装置的金刚线多线切割机,其能够适应多种不同尺寸规格的待切割工件。
[0006]在一个实施例中,切割装置包括切割头和主轴系统、至少四个偏心轴套,切割头具有框架主体和至少四个轴孔,主轴系统包括一组罗拉和用于支撑该一组罗拉的一组轴承箱组件、用于锁定罗拉轴向位置的锁紧螺杆组件,至少四个偏心轴套中的每一个都可轴向滑动的安装在至少四个轴孔中的各自一个中,至少四个偏心轴套内分别设置一组轴承箱组件中的一个轴承箱;至少四个偏心轴套的每一个上都设置有一个支撑臂,框架主体上设有至
少四组限位机构,每组限位机构都与至少四个轴孔中的一个进行组合,每组限位机构包括至少二个限位卡座和紧固件,在偏心轴套被插入到对应的轴孔后支撑臂与限位卡座能形成限位配合,紧固件用于将支撑臂紧固于限位卡座上,支撑臂与至少二个限位卡座中的不同限位卡座配合使得偏心轴套能被限制于不同角度。
[0007]优选地,每组限位机构还包括至少一个导向杆,支撑臂上具有与导向杆配合的导向孔,导向杆与轴孔的中心线平行或者大致平行,使得与该支撑臂为一体的偏心轴套在轴向移动时不会发生转动。
[0008]优选地,至少二个限位卡座上的每一个上都具有用于安装导向杆的导向安装孔,导向杆可从至少二个限位卡座中的一个限位卡座上拆卸后安装于另一个限位卡座上。此外,导向安装孔也可以直接设置在框架主体上。
[0009]优选地,每组限位机构包括至少三个限位卡座和紧固件,至少三个限位卡座位于同一个平面上。
[0010]优选地,至少三个限位卡座中的每一个到对应轴孔中心线的距离相等,且该至少三个限位卡座中的任意两个相邻的限位卡座之间的距离与另外两个相邻的限位卡座之间的距离相同。
[0011]优选地,支撑臂是通过紧固连接或者焊接、固接的方式设置在偏心轴套上。
[0012]优选地,切割装置包括六个偏心轴套,切割头具有六个轴孔,主轴系统包括三个罗拉和用于支撑该三个罗拉的三个轴承箱组件、用于锁定罗拉轴向位置的三个锁紧螺杆组件;框架主体上设有六组限位机构。
[0013]优选地,至少四个轴孔中的每一个中都设有至少二个滑槽,至少四个偏心轴套的每一个上都紧固或者固定连接有一个滑键,该滑键与至少二个滑槽中的每一个都能形成配合。滑键与至少二个滑槽中的每一个滑槽分别进行组合时,使得偏心轴套的径向角度被限制在不同位置,并且该偏心轴套在轴向移动时不会发生转动。
[0014]优选地,至少四个轴孔中的每一个中都设有至少二个滑槽,至少四个偏心轴套的每一个上具有与其一体成型的一个滑齿,该滑齿与至少二个滑槽中的每一个都能形成配合。滑齿与至少二个滑槽中的每一个滑槽分别进行组合时,使得偏心轴套的径向角度被限制在不同位置,并且该偏心轴套在轴向移动时不会发生转动。
[0015]在又一个实施例中,金刚线多线切割机包括机架和设于机架上的切割装置、进给系统、导线系统、张力系统、排线系统、收放线系统、以及位于机架下方的砂浆桶。切割装置安装于机架的前端,进给系统安装在切割装置上方,收放线系统由二个对称布置于切割装置左右二侧下方的收放线部件组成、导线系统由二个对称布置于切割装置左右二侧下方的导线部件组成、张力系统由二个对称布置于切割装置左右二侧下方的张力部件组成、排线系统由二个对称布置于切割装置左右二侧下方的排线部件组成。
[0016]本专利技术的又一个目的在于提供一种用于对硅锭进行切片的硅锭切片生产线,硅锭切片生产线包括:轨道,呈直线布置,其两侧各布置有一排金刚线多线切割机,每一排包括至少三台;滚筒运输机,布置在轨道的一侧,用于传送具有粘板的工件;上料机,与滚筒运输机配合,用于对滚筒运输机传送达的具有粘板的工件进行翻
转,以使具有粘板的工件的粘板朝上;缓存台,布置在轨道的一侧且与上料机相对,用于物料的暂存;上下料机器人,可移动的设置于轨道上,用于将具有粘板的工件搬运至缓存台、将缓存台上的具有粘板的工件搬运至金刚线多线切割机、将被加工后的工件从金刚线多线切割机上取出并移至轨道的出料端;下料机,布置在轨道出料的一端,接收已加工工件并执行下料操作。
[0017]优选地,上料机和缓存台位于轨道中部的两侧,滚筒运输机和上料机、缓存台、下料机、以及轨道均安装于地面上。滚筒运输机位于轨道和一排金刚线多线切割机之间。
[0018]相对于上述
技术介绍
,本专利技术的有益效果大致如下。提供一种切割装置和包括该切割装置的金刚线多线切割机,通过调整偏心轴套的锁紧位置即能调整各罗拉之间的间距,使其能够适应多种不同尺寸规格的待切割工件。并且,通过松开锁紧螺杆组件的螺母和解除限位机构对支撑臂的限制即可轻易调整偏心轴套的位置,而后重新将锁紧螺杆组件的螺母锁本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切割装置,其特征在于,包括:主轴系统,包括一组罗拉和用于支撑该一组罗拉的一组轴承箱组件、用于锁定罗拉轴向位置的一组锁紧螺杆组件;切割头,具有框架主体和设置在该框架主体上的至少四个轴孔;至少四个偏心轴套,所述至少四个偏心轴套中的每一个都可轴向滑动的安装在所述至少四个轴孔中的各自一个中,所述至少四个偏心轴套内分别设置所述一组轴承箱组件中的各自一个轴承箱;其中,所述至少四个偏心轴套的每一个上都设置有一个支撑臂,所述框架主体上设有至少四组限位机构,每组限位机构都与所述至少四个轴孔中的一个进行组合,每组限位机构包括至少二个限位卡座和紧固件,在所述偏心轴套被插入到对应的轴孔后所述支撑臂与所述限位卡座能形成限位配合,所述紧固件用于将所述支撑臂紧固于所述限位卡座上,所述支撑臂与所述至少二个限位卡座中的不同限位卡座配合使得所述偏心轴套能被限制于不同角度。2.根据权利要求1所述的切割装置,其特征在于,所述每组限位机构还包括至少一个导向杆,所述支撑臂上具有与所述导向杆配合的导向孔,所述导向杆与所述轴孔的中心线平行或者大致平行,使得与该支撑臂为一体的偏心轴套在轴向移动时不会发生转动。3.根据权利要求2所述的切割装置,其特征在于,所述至少二个限位卡座上的每一个上都具有用于安装所述导向杆的导向安装孔,所述导向杆可从所述至少二个限位卡座中的一个限位卡座上拆卸后安装于另一个限位卡座上;或者所述导向安装孔直接设置在所述框架主体上。4.根据权利要求1所述的切割装置,其特征在于,所述每组限位机构包括至少三个限位卡座和紧固件,所述至少三个限位卡座位于同一个平面上;所述至少三个限位卡座中的每一个到对应轴孔中心线的距离相等,且该至少三个限位卡座中的任意两个相邻的限位卡座之间的距离与另外两个相邻的限位卡座之间的距离相同。5.根据权利要求1所述的切割装置,其特征在于,所述支撑臂是通过紧固连接或者焊接、固接的方式设置在所述偏心轴套上。6.根据权利要求1所述的切割装置,其特征在于,所述切割装置包括六个偏心轴套,所述切割头具有六个轴孔,所述主轴系统包括三个罗拉和用于支撑该三个罗拉的三个轴承箱组件、用于锁定所述罗拉轴向位置的三个锁紧螺杆组件;所述框架主体上设有六...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨佳葳龚涛彭红郝伟杰陈珊贺靖
申请(专利权)人:湖南益缘新材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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