一种晶圆贴膜固定台制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆贴膜固定台，涉及晶圆加工技术领域，包括固定台，固定台包括固定盘和安装在固定盘内上下滑动的真空吸附盘，固定盘的下方设有底盘，真空吸附盘的底部与底盘连接，固定盘与底盘之间留有一定的间隙，底盘的下方设有气缸，固定台上设有两组关于固定台中心线对称的循环送料机构，循环送料机构包括呈竖直状态设置的正向螺纹柱和反向螺纹柱，正向螺纹柱和反向螺纹柱的底部均穿过固定台和底盘并延伸至底盘的下方，底盘下方设有驱动单元，本发明专利技术能够避免摩擦损伤的同时提高晶圆放置的效率

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆贴膜固定台


[0001]本专利技术涉及晶圆加工
，具体是涉及一种晶圆贴膜固定台
。

技术介绍

[0002]晶圆贴膜固定台是用于在半导体制造过程中固定晶圆的设备，晶圆加工固定台通常是一个平坦的工作平台，上面用于放置晶圆，然而在放置晶圆过程中，为了提高传送效率，通常采用传送带方式将晶圆传送至指定位置，然后按照惯性滑落至固定台上，但这类方式都容易出现对中性偏差较大以及可能会对晶圆造成一定的摩擦损伤
。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种晶圆贴膜固定台，能够避免摩擦损伤的同时提高晶圆放置的效率
。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆贴膜固定台，包括固定盘和安装在固定盘内上下滑动的真空吸附盘，所述真空吸附盘上开设有多个吸附孔，真空吸附盘采用安装在其内部的吸气机工作，使得真空吸附盘的上表面产生一定的吸力，相较于采用传动的夹具进行固定，能够避免固定工作时夹具对晶圆产生损伤，所述固定盘的下方设有底盘，所述真空吸附盘的底部与底盘连接；
[0005]所述固定盘与底盘之间留有一定的间隙，所述底盘的下方设有气缸，当气缸工作时，能够对底盘施加向固定盘移动的力，因此实现真空吸附盘在固定盘内的位置上下微调的效果；
[0006]所述固定盘上设有两组关于固定盘中心线对称的循环送料机构，所述循环送料机构包括呈竖直状态设置的正向螺纹柱和反向螺纹柱，所述正向螺纹柱和反向螺纹柱的底部均穿过固定盘和底盘并延伸至底盘的下方，所述正向螺纹柱和反向螺纹柱上均设有对应的螺纹套和安装于螺纹套上可转动的电动转轮，所述电动转轮上安装有电动伸缩杆以及与电动伸缩杆输出端连接的弧形硅胶板；
[0007]所述底盘下方设有驱动单元
。
[0008]优选的，所述驱动单元包括安装在气缸底部的主动齿轮以及与主动齿轮连接并用于驱动主动齿轮转动的伺服电机，所述正向螺纹柱底部设有与主动齿轮相啮合的第一传动齿轮，位于所述第一传动齿轮的上方设有套设在正向螺纹柱上的第二传动齿轮，所述反向螺纹柱上对应位置处套设有与第二传动齿轮啮合的第三传动齿轮，主动齿轮转动时，能够带动第一传动齿轮转动，由于正向螺纹柱与第一传动齿轮连接，因此第一传动齿轮转动时能够带动正向螺纹柱旋转，从而通过第二传动齿轮带动第三传动齿轮转动，实现正向螺纹柱和反向螺纹柱的同步转动
。
[0009]优选的，位于固定盘中心线处设有双层输送装置，所述双层输送装置包括上下两个电动滑轨，每个电动滑轨内均安装有用于传输晶圆用的传送带，传动带可带动晶圆在传送带传送方向上进行位置，电动滑轨可带动传送带伸入至两组循环送料机构之间或远离循
环送料机构
。
[0010]优选的，所述固定盘上安装有电机驱动的可转动的贴膜盖，在贴膜盖下翻至固定盘上时即可开始贴膜工作，上翻时即可进行晶圆的放置工作，保证晶圆贴膜工作的连贯性，从而提高贴膜效率
。
[0011]优选的，所述固定盘和底盘之间圆周阵列安装多个压缩弹簧，当气缸向上顶升的过程中，压缩弹簧起到过渡缓冲的作用，放慢顶升速度，从而实现真空吸附盘的上下位置微调效果
。
[0012]优选的，所述正向螺纹柱和反向螺纹柱的顶部可安装有限位块，用于对螺纹套进行限位
。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0014]1、
本专利技术中真空吸附盘上开设有多个吸附孔，真空吸附盘采用安装在其内部的吸气机工作，使得真空吸附盘的上表面产生一定的吸力，相较于采用传动的夹具进行固定，能够避免固定工作时夹具对晶圆产生损伤
。
[0015]2、
本专利技术中固定盘与底盘之间留有一定的间隙，底盘的下方设有气缸，当气缸工作时，能够对底盘施加向固定盘移动的力，因此实现真空吸附盘在固定盘内的位置上下微调的效果
。
[0016]3、
本专利技术中固定盘上设有两组关于固定盘中心线对称的循环送料机构，能够配合双层输送装置实现连续化的贴膜工序，从而提高整体的晶圆贴膜效率
。
附图说明
[0017]为了使本专利技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本专利技术作进一步详细的说明
。
[0018]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0019]图2为本专利技术中真空吸附盘的结构安装示意图；
[0020]图3为本专利技术的仰视图；
[0021]图4为本专利技术中循环送料机构的结构示意图；
[0022]图5为本专利技术中固定盘
、
底盘
、
气缸和主动齿轮的结构安装示意图
。
[0023]图中：
1、
固定盘；
2、
真空吸附盘；
21、
吸附孔；
3、
底盘；
4、
气缸；
5、
循环送料机构；
51、
正向螺纹柱；
52、
反向螺纹柱；
53、
螺纹套；
54、
电动转轮；
55、
电动伸缩杆；
56、
弧形硅胶板；
6、
驱动单元；
61、
主动齿轮；
62、
伺服电机；
63、
第一传动齿轮；
64、
第二传动齿轮；
65、
第三传动齿轮；
7、
双层输送装置；
8、
电动滑轨；
9、
传送带；
10、
贴膜盖；
11、
压缩弹簧
。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围
。
[0025]请参阅图1‑5，本专利技术的一种晶圆贴膜固定台，包括固定盘1和安装在固定盘1内上下滑动的真空吸附盘2，真空吸附盘2上开设有多个吸附孔
21
，真空吸附盘2采用安装在其内
部的吸气机工作，使得真空吸附盘2的上表面产生一定的吸力，相较于采用传动的夹具进行固定，能够避免固定工作时夹具对晶圆产生损伤，固定盘1的下方设有底盘3，真空吸附盘2的底部与底盘3连接；
[0026]固定盘1与底盘3之间留有一定的间隙，底盘3的下方设有气缸4，当气缸4工作时，能够对底盘3施加向固定盘1移动的力，因此实现真空吸附盘2在固定盘1内的位置上下微调的效果；
[0027]固定盘1上设有两组关于固定盘1中心线对称的循环送料机构5，循环送料机构5包括呈竖直状态设置的正向螺纹柱
51
和反向螺纹柱...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆贴膜固定台，其特征在于，包括固定盘
(1)
和安装在固定盘
(1)
内上下滑动的真空吸附盘
(2)
，所述真空吸附盘
(2)
上开设有多个吸附孔
(21)
，所述固定盘
(1)
的下方设有底盘
(3)
，所述真空吸附盘
(2)
的底部与底盘
(3)
连接；所述固定盘
(1)
与底盘
(3)
之间留有一定的间隙，所述底盘
(3)
的下方设有气缸
(4)
；所述固定盘
(1)
上设有两组关于固定盘
(1)
中心线对称的循环送料机构
(5)
，所述循环送料机构
(5)
包括呈竖直状态设置的正向螺纹柱
(51)
和反向螺纹柱
(52)
，所述正向螺纹柱
(51)
和反向螺纹柱
(52)
的底部均穿过固定盘
(1)
和底盘
(3)
并延伸至底盘
(3)
的下方，所述正向螺纹柱
(51)
和反向螺纹柱
(52)
上均设有对应的螺纹套
(53)
和安装于螺纹套
(53)
上可转动的电动转轮
(54)
，所述电动转轮
(54)
上安装有电动伸缩杆
(55)
以及与电动伸缩杆
(55)
输出端连接的弧形硅胶板
(56)
；所述底盘
(3)
下方设有驱动单元
(6)。2.

【专利技术属性】
技术研发人员：史婷婷，张公磊，徐文琦，
申请(专利权)人：安徽积芯微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：