一种半导体引线框架退火系统技术方案

本发明专利技术公开了一种半导体引线框架退火系统，涉及半导体技术领域，包括底板，所述底板的顶部固定连接有底座，所述底板的顶部且位于底座的一侧固定连接有退火炉，所述退火炉内部开设有退火腔，所述退火腔内腔的顶部固定连接有辐热组件，所述底座的顶部固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端固定连接有转动轴，该半导体引线框架退火系统，通过设置有转动杆、安装座与安装盘，在加工后，可以将位于加工工位的安装盘转动至上下料工位，上下料工位的安装盘转动至加工工位，按照上述步骤驱动上料工位的安装盘移动至退火腔内部进行加工，在进行加工时，对位于上下料工作的安装座进行上下料，能够提高对引线框架进行退火的效率。能够提高对引线框架进行退火的效率。能够提高对引线框架进行退火的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体引线框架退火系统


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体为一种半导体引线框架退火系统。

技术介绍

[0002]随着电子工业的发展，对于铜合金材料的要求也越来越高，因而引线框架铜合金材料在其加工过程中常常会用到一种退火炉，退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电效率高。根据申请号为CN210314387U的一种节能型引线框架铜合金材料加工用退火炉，其具有通过安装有电动伸缩杆、加热槽、载物台、传送带、红外线发射器、风机、红外线接收器、驱动电机、加热腔和加热丝，使得装置一方面通过加热槽和载物台构成的密封空间，减小了加热空间，从而提高了加热效率，另一方面当待加工件在加热槽内部完成加热保温这一步骤后，通过启动电动伸缩杆和驱动电机，带动加热槽上升脱离载物台，且利用传送带带动载物台向前移动，根据使用者对于不同冷却效果的需求，可以选择性地开启风机加速降温，从而增强了装置的功能性，同时下一个加工件会安置在另外的载物台上，在传送带上运送到相应的位置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体引线框架退火系统，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定连接有底座(51)，所述底板(1)的顶部且位于底座(51)的一侧固定连接有退火炉(12)，所述退火炉(12)内部开设有退火腔(13)，所述退火腔(13)内腔的顶部固定连接有辐热组件(50)，所述底座(51)的顶部固定连接有第一伺服电机(2)，所述第一伺服电机(2)的输出端固定连接有转动轴(3)，所述转动轴(3)的顶部固定连接有固定盘(4)，所述固定盘(4)的底部开设有若干个移动槽(5)，所述移动槽(5)内腔的一侧均固定连接有第二伺服电机(7)，所述移动槽(5)内腔的另一侧均转动连接有螺纹杆(6)，所述第二伺服电机(7)的输出端均与螺纹杆(6)的一端相连接，所述螺纹杆(6)的外侧均螺纹连接有移动块(8)，所述移动块(8)的底端均延伸至固定盘(4)的下方并固定连接有推柱(9)，所述推柱(9)的一侧均固定连接有密封板(10)，所述退火炉(12)的一侧开设有侧槽(11)，所述密封板(10)的一侧均固定连接有固定板(14)，所述固定板(14)的顶部转动连接有联接轴(32)，所述联接轴(32)的顶部固定连接有安装盘(17)。2.根据权利要求1所述的一种半导体引线框架退火系统，其特征在于：所述安装盘(17)的顶部转动连接有若干根转动杆(16)，所述转动杆(16)的顶部均固定连接有安装座(18)，所述固定板(14)的内部且位于转动杆(16)的下方均开设有连接槽(15)，所述连接槽(15)内腔固定连接有齿圈(26)，所述转动杆(16)的底部均延伸至连接槽(15)内部并套设有与齿圈(26)相配合的第一传动齿轮(25)。3.根据权利要求1所述的一种半导体引线框架退火系统，其特征在于：所述固定板(14)内部开设有驱动槽(31)，所述联接轴(32)的底端延伸至驱动槽(31)内部并与驱动槽(31)内腔的底部转动连接，所述驱动槽(31)内腔的顶部转动连接有转动柱(33)，所述转动柱(33)与联接轴(32)的外侧均套设有相啮合的第二传动齿轮(34)，所述转动柱(33)的底端均延伸至固定板(14)的下方并固定连接有方形块(35)，通过方形块(35)与第一方形槽(43)，能够使...

【专利技术属性】
技术研发人员：张碧玉，於鑫涛，谭双绘，刘天赐，
申请(专利权)人：江苏鸿泰工业炉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：