一种半导体引线框架退火系统技术方案

本发明专利技术公开了一种半导体引线框架退火系统，涉及半导体技术领域，包括底板，所述底板的顶部固定连接有底座，所述底板的顶部且位于底座的一侧固定连接有退火炉，所述退火炉内部开设有退火腔，所述退火腔内腔的顶部固定连接有辐热组件，所述底座的顶部固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端固定连接有转动轴，该半导体引线框架退火系统，通过设置有转动杆、安装座与安装盘，在加工后，可以将位于加工工位的安装盘转动至上下料工位，上下料工位的安装盘转动至加工工位，按照上述步骤驱动上料工位的安装盘移动至退火腔内部进行加工，在进行加工时，对位于上下料工作的安装座进行上下料，能够提高对引线框架进行退火的效率。能够提高对引线框架进行退火的效率。能够提高对引线框架进行退火的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体引线框架退火系统


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体为一种半导体引线框架退火系统。

技术介绍

[0002]随着电子工业的发展，对于铜合金材料的要求也越来越高，因而引线框架铜合金材料在其加工过程中常常会用到一种退火炉，退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电效率高。根据申请号为CN210314387U的一种节能型引线框架铜合金材料加工用退火炉，其具有通过安装有电动伸缩杆、加热槽、载物台、传送带、红外线发射器、风机、红外线接收器、驱动电机、加热腔和加热丝，使得装置一方面通过加热槽和载物台构成的密封空间，减小了加热空间，从而提高了加热效率，另一方面当待加工件在加热槽内部完成加热保温这一步骤后，通过启动电动伸缩杆和驱动电机，带动加热槽上升脱离载物台，且利用传送带带动载物台向前移动，根据使用者对于不同冷却效果的需求，可以选择性地开启风机加速降温，从而增强了装置的功能性，同时下一个加工件会安置在另外的载物台上，在传送带上运送到相应的位置后，会降下加热槽，对其进行加热，充分利用了加热槽内部的余热，从而减少了热量损耗，实现了节能的优点，有利于该装置的长期推广。然而其装置只能对单个半导体引线框架进行退火，单次加工容量小，对于半导体引线框架进行退火效率不高，该装置只有一个载物台，在进行上下料时，无法进行退火工作，上下料需要时间较长，从而影响半导体引线框架的退火效率。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种半导体引线框架退火系统，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种半导体引线框架退火系统，包括底板，所述底板的顶部固定连接有底座，所述底板的顶部且位于底座的一侧固定连接有退火炉，所述退火炉内部开设有退火腔，所述退火腔内腔的顶部固定连接有辐热组件，所述底座的顶部固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端固定连接有转动轴，所述转动轴的顶部固定连接有固定盘，所述固定盘的底部开设有若干个移动槽，所述移动槽内腔的一侧均固定连接有第二伺服电机，所述移动槽内腔的另一侧均转动连接有螺纹杆，所述第二伺服电机的输出端均与螺纹杆的一端相连接，所述螺纹杆的外侧均螺纹连接有移动块，所述移动块的底端均延伸至固定盘的下方并固定连接有推柱，所述推柱的一侧均固定连接有密封板，所述退火炉的一侧开设有侧槽，所述密封板的一侧均固定连接有固定板，所述固定板的顶部转动连接有联接轴，所述联接轴的顶部固定连接有安装盘。
[0005]可选的，所述安装盘的顶部转动连接有若干根转动杆，所述转动杆的顶部均固定连接有安装座，所述固定板的内部且位于转动杆的下方均开设有连接槽，所述连接槽内腔固定连接有齿圈，所述转动杆的底部均延伸至连接槽内部并套设有与齿圈相配合的第一传
动齿轮。
[0006]可选的，所述固定板内部开设有驱动槽，所述联接轴的底端延伸至驱动槽内部并与驱动槽内腔的底部转动连接，所述驱动槽内腔的顶部转动连接有转动柱，所述转动柱与联接轴的外侧均套设有相啮合的第二传动齿轮，所述转动柱的底端均延伸至固定板的下方并固定连接有方形块，通过方形块与第一方形槽，能够使得驱动柱驱动安装盘转动。
[0007]可选的，所述转动柱的一侧均安装有感应片，所述驱动槽内腔的一侧均固定连接有感应开关，以便对转动柱的位置进行控制，以便对方形块与第一方形槽的位置相匹配。
[0008]可选的，所述退火炉内部开设有驱动腔，所述底板内部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有联接杆，所述联接杆的顶部延伸至驱动腔内部，所述底板的顶部安装有两根第一电动伸缩杆，两根所述第一电动伸缩杆的伸缩端延伸至第一伺服电机底板内部并与推板的底部相连接，所述推板的顶部转动连接有驱动柱，所述驱动柱的顶部开设有第一方形槽，所述驱动柱的底端延伸至驱动腔内部，所述驱动腔内部开设有联接槽，所述联接杆的顶端延伸至联接槽内部，所述驱动柱的内部且位于联接槽的两侧均开设有花键槽，所述联接杆的外侧且位于花键槽内部均安装有花键件。
[0009]可选的，所述底板的顶部且位于两个固定板的下方均开设有放置槽，所述放置槽内腔的底部固定连接有两根第二电动伸缩杆，所述放置槽内部均放置有连接板，所述第二电动伸缩杆的伸缩端均与连接板的底部相连接，所述连接板的顶部固定连接有第三伺服电机，所述第三伺服电机的输出端固定连接有连接轴，所述连接轴的顶部开设有第二方形槽。
[0010]可选的，所述退火腔内腔的顶部安装有辐热组件。
[0011]可选的，所述第一方形槽和第二方形槽均与方形块相配合。
[0012]本专利技术提供了一种半导体引线框架退火系统，具备以下有益效果：
[0013]1、该半导体引线框架退火系统，通过设置有转动杆、安装座与安装盘，在加工后，可以将位于加工工位的安装盘转动至上下料工位，上下料工位的安装盘转动至加工工位，按照上述步骤驱动上料工位的安装盘移动至退火腔内部进行加工，在进行加工时，对位于上下料工作的安装座进行上下料，能够提高对引线框架进行退火的效率。
[0014]2、该半导体引线框架退火系统，通过设置有驱动电机、花键槽与方形块，在加工时，驱动电机的输出端带动联接杆转动，使得联接杆通过花键件与花键槽带动驱动柱转动，使得驱动柱通过第一方形槽与方形块带动转动柱转动，使得第二传动齿轮带动联接轴转动，使得联接轴带动安装盘转动，使得安装盘带动转动杆与第一传动齿轮沿着齿圈内侧进行圆周移动，此时齿圈驱动第一传动齿轮转动，使得第一传动齿轮通过转动杆带动安装座转动，进而驱动安装座进行自转，在取料时，第三伺服电机的输出端带动连接轴转动，使得连接轴通过第二方形槽驱动方形块转动，使得方形块带动转动柱转动，使得转动柱通过第二传动齿轮带动联接轴转动，使得安装盘转动，如此方便将安装盘上的引线框架取下。
附图说明
[0015]图1为本专利技术内部结构示意图；
[0016]图2为本专利技术图1的A处放大图；
[0017]图3为本专利技术图1的B处放大图；
[0018]图4为本专利技术图1的C处放大图；
[0019]图5为本专利技术图1的D处放大图；
[0020]图6为本专利技术图1的E处放大图。
[0021]图中：1、底板；2、第一伺服电机；3、转动轴；4、固定盘；5、移动槽；6、螺纹杆；7、第二伺服电机；8、移动块；9、推柱；10、密封板；11、侧槽；12、退火炉；13、退火腔；14、固定板；15、连接槽；16、转动杆；17、安装盘；18、安装座；22、第一电动伸缩杆；23、推板；25、第一传动齿轮；26、齿圈；27、感应开关；28、感应片；31、驱动槽；32、联接轴；33、转动柱；34、第二传动齿轮；35、方形块；36、驱动电机；37、驱动腔；38、驱动柱；39、联接槽；40、花键槽；41、花键件；42、联接杆；43、第一方形槽；44、放置槽；45、第二电动伸缩杆；46、连接板；47、第三伺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体引线框架退火系统，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定连接有底座(51)，所述底板(1)的顶部且位于底座(51)的一侧固定连接有退火炉(12)，所述退火炉(12)内部开设有退火腔(13)，所述退火腔(13)内腔的顶部固定连接有辐热组件(50)，所述底座(51)的顶部固定连接有第一伺服电机(2)，所述第一伺服电机(2)的输出端固定连接有转动轴(3)，所述转动轴(3)的顶部固定连接有固定盘(4)，所述固定盘(4)的底部开设有若干个移动槽(5)，所述移动槽(5)内腔的一侧均固定连接有第二伺服电机(7)，所述移动槽(5)内腔的另一侧均转动连接有螺纹杆(6)，所述第二伺服电机(7)的输出端均与螺纹杆(6)的一端相连接，所述螺纹杆(6)的外侧均螺纹连接有移动块(8)，所述移动块(8)的底端均延伸至固定盘(4)的下方并固定连接有推柱(9)，所述推柱(9)的一侧均固定连接有密封板(10)，所述退火炉(12)的一侧开设有侧槽(11)，所述密封板(10)的一侧均固定连接有固定板(14)，所述固定板(14)的顶部转动连接有联接轴(32)，所述联接轴(32)的顶部固定连接有安装盘(17)。2.根据权利要求1所述的一种半导体引线框架退火系统，其特征在于：所述安装盘(17)的顶部转动连接有若干根转动杆(16)，所述转动杆(16)的顶部均固定连接有安装座(18)，所述固定板(14)的内部且位于转动杆(16)的下方均开设有连接槽(15)，所述连接槽(15)内腔固定连接有齿圈(26)，所述转动杆(16)的底部均延伸至连接槽(15)内部并套设有与齿圈(26)相配合的第一传动齿轮(25)。3.根据权利要求1所述的一种半导体引线框架退火系统，其特征在于：所述固定板(14)内部开设有驱动槽(31)，所述联接轴(32)的底端延伸至驱动槽(31)内部并与驱动槽(31)内腔的底部转动连接，所述驱动槽(31)内腔的顶部转动连接有转动柱(33)，所述转动柱(33)与联接轴(32)的外侧均套设有相啮合的第二传动齿轮(34)，所述转动柱(33)的底端均延伸至固定板(14)的下方并固定连接有方形块(35)，通过方形块(35)与第一方形槽(43)，能够使...

【专利技术属性】
技术研发人员：张碧玉，於鑫涛，谭双绘，刘天赐，
申请(专利权)人：江苏鸿泰工业炉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：