一种晶圆翻转结构制造技术

本实用新型专利技术提出一种晶圆翻转结构，涉及晶圆清洗技术领域，包括径向连杆，径向连杆的端部固定有安装盒，安装盒通过连接件滑移连接有两个相对设置的控制盒，各个控制盒上均转动连接有对晶圆起到夹持作用的卡夹，两个卡夹相对设置，安装盒上设有驱动两个卡夹转动以带动晶圆翻转的控制件，该晶圆翻转结构，通过连接件的作用控制两个控制盒在水平方向上移动，进而控制两个卡夹固定夹持晶圆或松开晶圆，通过控制件的作用带动两个卡夹转动，两个卡夹的转动会带动被两个卡夹夹持固定的晶圆翻转，提高了晶圆的清洗效率，且不需要机械手臂对晶圆进行翻转，快捷方便的同时降低成本，空间占比小并且保养维护方便。且保养维护方便。且保养维护方便。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆翻转结构


[0001]本技术涉及晶圆清洗
，具体涉及一种晶圆翻转结构。

技术介绍

[0002]在某些集成电路的制造过程中，化学机械研磨和蚀刻均是半导体制造过程中的重要工艺步骤。
[0003]在化学机械研磨工序或者蚀刻工序结束之后，通常需要对研磨后和蚀刻后的晶圆进行清洗，以除去晶圆表面的残留物。
[0004]清洗晶圆时通过喷嘴将清洗药液朝向晶圆表面喷淋，对晶圆的一侧进行清洗，再通过机械手臂翻转晶圆，使得晶圆翻转360度，以便于通过喷嘴将清洗液朝向晶圆的另一侧进行喷淋，对晶圆的另一侧进行清洗。
[0005]然而现有的晶圆清洗设备存在晶圆翻转采用的机械手臂增加了晶圆清洗的成本，且机械手臂的设置会增大晶圆清洗需要的空间的问题。

技术实现思路

[0006]为克服现有技术的不足，本技术提出一种晶圆翻转结构，包括径向连杆，所述径向连杆的端部固定有安装盒，所述安装盒通过连接件滑移连接有两个相对设置的控制盒，各个所述控制盒上均转动连接有对晶圆起到夹持作用的卡夹，两个所述卡夹相对设置，所述安装盒上设有驱动两个卡夹转动以带动晶圆翻转的控制件。
[0007]为实现上述目的，通过连接件的作用控制两个控制盒在水平方向上移动，进而控制两个卡夹固定夹持晶圆或松开晶圆，通过控制件的作用带动两个卡夹转动，两个卡夹的转动会带动被两个卡夹夹持固定的晶圆翻转，提高了晶圆的清洗效率，且不需要机械手臂对晶圆进行翻转，快捷方便的同时降低成本，空间占比小并且保养维护方便。
[0008]进一步地，所述安装盒内腔中空，顶部开口，所述控制件包括固定在安装盒内腔槽底的A电机，所述A电机的输出轴上固定有与A电机输出轴同轴的第一A同步轮，所述安装盒内腔槽壁上水平设置在安装盒内腔槽壁上的第一传动轴，所述第一传动轴与安装盒内腔槽壁转动连接，所述第一传动轴的一端固定有位于第一A同步轮上方的第二A同步轮，所述第一A同步轮和第二A同步轮上套设有与第一A同步轮和第二A同步轮配合的A同步带，所述第一传动轴上固定有两个相对设置的第一B同步轮，两个所述第一B同步轮的中心线与第一传动轴的中心线同轴，所述安装盒和径向连杆之间间隙处设置有两个相对设置的固定盒，所述固定盒内腔中空，各个所述固定盒内均转动连接有水平设置的第二传动轴，两个所述第二传动轴相对设置且分别位于相邻的第一B同步轮的正上方，各个所述第二传动轴上均固定有位于相邻的第一同步轮正上方的第二B同步轮，各个所述第一B同步轮与相邻的第二B同步轮上均套设有B同步带，所述固定盒上开设有供B同步带穿出固定盒的方形孔，两个所述控制盒分别位于固定盒的两侧且与固定盒固定，所述控制盒以及固定盒上均开设有供控制盒内腔与固定盒内腔连通的方形槽，所述第二传动轴的一端通过方形槽穿设至控制盒内
腔，所述第二传动轴穿设至控制盒内腔的部分固定有第一C同步轮，所述第一C同步轮的中心线与第二传动轴的中心线重合，所述控制盒内腔下侧边转动连接有水平设置的短轴，所述短轴上同轴固定有第二C同步轮，所述第一C同步轮和第二C同步轮上套设有与第一C同步轮盒第二C同步轮配合的C同步带，所述短轴的一端穿设出控制盒，所述短轴穿设出控制盒的部分与卡夹的中心位置固定。
[0009]通过上述技术方案，通过A电机的作用对卡夹的转动提供动力，通过第一传动轴、第一A皮带轮、第二A皮带轮、A同步带、第一B同步轮、第二B同步轮、B同步带、第二传动轴、第一C同步带、第二C同步带、C同步带的配合带动短轴转动，短轴的转动会带动卡夹的转动，以便于控制卡夹转动而带动晶圆翻转，减少成本的同时不影响晶圆的清洗效率。
[0010]进一步地，各个所述方形孔上均转动连接有两个相对设置的第一涨紧轮，两个相邻的所述第一涨紧轮均位于相邻的B同步带内，各个所述控制盒内腔槽壁上均转动连接有两个条形杆，各个所述条形杆的两端均转动连接有第二涨紧轮，两个相邻的第二涨紧轮均位于相邻的C同步带内，所述条形杆上开设有两个相对设置的腰型孔，所述控制盒槽壁上开设有与腰型孔配合的螺孔，所述条形杆与控制盒通过螺钉固定。
[0011]通过上述技术方案，通过第一涨紧轮的作用对B同步带起到涨紧作用，减少B同步带松动摇摆的可能性，提高了装置的使用年限，通过第二涨紧轮的作用调整C同步带的松紧度，通过条形杆、腰型孔、螺孔和螺钉的配合，适时调整C同步带的松紧度。
[0012]进一步地，所述连接件包括转动连接在安装盒内腔槽壁上且位于第一传动轴下方的螺杆，所述螺杆上的螺槽以螺杆的中点为中线对称设置，所述安装盒槽壁上设有驱动螺杆转动的B电机，所述螺杆上通过螺纹套设有两个移动块，两个所述移动块分别位于螺杆的中点两侧，各个所述移动块均与竖直方向上相邻的固定盒通过连板固定，所述安装盒上设有对移动块的移动起到导向作用的导向件。
[0013]通过上述技术方案，通过B电机的作用对螺杆的转动提供动力，通过螺杆的转动控制两个和移动块在水平方向上相向移动，通过导向件的作用对移动块的移动起到导向作用，移动块的移动会带动固定盒以及控制盒在水平方向上相向移动，进而对晶圆起到夹紧以及松开的动作，便于装置对晶圆的取用。
[0014]进一步地，所述导向件包括固定在安装盒内腔槽底的两个滑轨，两个所述滑轨上滑移连接有两个相对设置的滑块，所述滑块背离滑轨的一侧与移动块固定，所述连板底端与滑块固定。
[0015]通过上述技术方案，通过滑轨的作用对滑块的移动起到导向作用，而滑块与移动块和连板固定，故滑轨也对移动块和连板的移动起到导向作用。
[0016]进一步地，还包括支撑盒，所述支撑盒内腔中空，所述径向连杆远离安装盒的一端固定有轴向连杆，所述支撑盒上表面开设有与支撑盒内腔连通的滑移槽，所述轴向连杆远离径向连杆的一端通过滑移槽穿入支撑盒内腔，所述支撑盒内腔上设有控制轴向连杆在竖直方向上移动以带动卡夹在竖直方向上移动的驱动件。
[0017]通过上述技术方案，通过驱动件的作用带动轴向连杆在竖直方向上移动，以便于带动与轴向连杆固定的径向连杆装置竖直方向上移动，进而便于带动与径向连杆固定的安装盒在竖直方向上移动，从而便于带动控制盒上的卡夹在竖直方向上移动，带动安装盒至合适位置的同时也控制晶圆移动至合适位置进行清洗。
[0018]进一步地，所述驱动件包括转动连接在支撑盒内腔中间部分且轴向设置的螺纹杆，所述螺纹杆上通过螺纹套设有滑动块，所述滑动块与轴向连杆穿入支撑盒内腔的部分固定连接，所述支撑盒槽壁上固定有轴向的滑道，所述滑道上滑移连接有导向块，所述导向块与轴向连杆穿入支撑盒的部分固定，所述支撑盒上设有驱动螺纹杆转动的C电机。
[0019]通过上述技术方案，通过C电机的作用对螺纹杆的转动提供动力，通过螺纹杆的转动以带动滑动块和轴向连杆在竖直方向的移动，通过导向块和滑道的配合对轴向连杆的移动起到导向作用，提高了轴向连杆在竖直方向上移动的稳定性。
[0020]综上所述，该晶圆翻转结构具有以下有益效果：
[0021](1)该晶圆翻转结构，通过连接件的作用控制两个控制盒在水平方向上移动，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆翻转结构，其特征在于，包括径向连杆(1)，所述径向连杆(1)的端部固定有安装盒(2)，所述安装盒(2)通过连接件(3)滑移连接有两个相对设置的控制盒(4)，各个所述控制盒(4)上均转动连接有对晶圆起到夹持作用的卡夹(5)，两个所述卡夹(5)相对设置，所述安装盒(2)上设有驱动两个卡夹(5)转动以带动晶圆翻转的控制件(6)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆翻转结构，其特征在于，所述安装盒(2)内腔中空，顶部开口，所述控制件(6)包括固定在安装盒(2)内腔槽底的A电机(601)，所述A电机(601)的输出轴上固定有与A电机(601)输出轴同轴的第一A同步轮(602)，所述安装盒(2)内腔槽壁上水平设置在安装盒(2)内腔槽壁上的第一传动轴(603)，所述第一传动轴(603)与安装盒(2)内腔槽壁转动连接，所述第一传动轴(603)的一端固定有位于第一A同步轮(602)上方的第二A同步轮(604)，所述第一A同步轮(602)和第二A同步轮(604)上套设有与第一A同步轮(602)和第二A同步轮(604)配合的A同步带；所述第一传动轴(603)上固定有两个相对设置的第一B同步轮(605)，两个所述第一B同步轮(605)的中心线与第一传动轴(603)的中心线同轴，所述安装盒(2)和径向连杆(1)之间间隙处设置有两个相对设置的固定盒(606)，所述固定盒(606)内腔中空，各个所述固定盒(606)内均转动连接有水平设置的第二传动轴(607)，两个所述第二传动轴(607)相对设置且分别位于相邻的第一B同步轮(605)的正上方，各个所述第二传动轴(607)上均固定有位于相邻的第一同步轮正上方的第二B同步轮(608)，各个所述第一B同步轮(605)与相邻的第二B同步轮(608)上均套设有B同步带，所述固定盒(606)上开设有供B同步带穿出固定盒(606)的方形孔(609)；两个所述控制盒(4)分别位于固定盒(606)的两侧且与固定盒(606)固定，所述控制盒(4)以及固定盒(606)上均开设有供控制盒(4)内腔与固定盒(606)内腔连通的方形槽(610)，所述第二传动轴(607)的一端通过方形槽(610)穿设至控制盒(4)内腔，所述第二传动轴(607)穿设至控制盒(4)内腔的部分固定有第一C同步轮(611)，所述第一C同步轮(611)的中心线与第二传动轴(607)的中心线重合，所述控制盒(4)内腔下侧边转动连接有水平设置的短轴(612)，所述短轴(612)上同轴固定有第二C同步轮(613)，所述第一C同步轮(611)和第二C同步轮(613)上套设有与第一C同步轮(611)盒第二C同步轮(613)配合的C同步带，所述短轴(612)的一端穿设出控制盒(4)，所述短轴(612)穿设出控制盒(4)的部分与卡夹(5)的中...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴业禹，李帅，
申请(专利权)人：南京华易泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：