【技术实现步骤摘要】
本技术涉及玻璃检测，具体涉及一种玻璃边缘检查装置。
技术介绍
1、在半导体行业中，玻璃具有重要的作用，如用于载体基板，晶圆封装等，诸如此类的用途愈发广泛。由于生产、技术及工艺方面的原因，在玻璃生产的过程中，不仅会出现气泡、划痕等各种各样的缺陷，也会出现亮边、焦边、爆边、崩边等边角缺陷，这些缺陷的存在会影响玻璃的质量，故玻璃边缘缺陷检测是玻璃质量检测中重要的一环。
2、由于玻璃基板本身的板型以及设备传送精度问题，会导致检测到的玻璃边缘图像不清晰或无法拍摄到玻璃基板边缘图像，存在缺陷漏检风险，影响产品品质。
技术实现思路
1、为克服现有技术的不足，本技术提出一种玻璃边缘检查装置，结合多种传输方式，以高集成度的方式实现了一站式玻璃边缘检测。
2、为实现上述目的，本技术的玻璃边缘检查装置，包括机架，机架外部设有用于将玻璃抓取至机架的机械手臂，机架上沿玻璃进料方向依次设有用于校准玻璃进料位置的第一校位机构、用于对玻璃边缘进行检测的检测机构和用于将玻璃运输出机架的运输机构，第一校位机构、检测机构和运输机构之间还设有用于抓取玻璃并将玻璃在三者间依次传输的传送抓取机构。
3、进一步地，第一校位机构包括设置在机台进料一端顶部的4条校准支架，4条校准支架围成一矩形，2条校准支架平行于进料方向，2条校准支架垂直于进料方向，校准支架的中部分别设有校准气缸，校准气缸的活塞杆均朝向校准支架所围成矩形的中央，校准气缸的活塞杆分别垂直于其所在校准支架，校准气缸活塞杆的端部连接有
4、进一步地，校准支架中部还设有支撑支架，支撑支架上设有用于支撑玻璃的支撑柱。
5、进一步地，检测机构包括设置在机台中间顶部的玻璃转盘，玻璃转盘的转盘体顶部设有玻璃吸附孔位，玻璃转盘的底部设有用于驱动转盘体转动的旋转电机。
6、进一步地，检测机构还包括纵向检测支架，纵向检测支架垂直于进料方向设置，纵向检测支架上设有横向检测支架，横向检测支架垂直于纵向检测支架设置，横向检测支架上设有检测器，纵向检测支架和横向检测支架上分别设有直线滑动模组，检测器能够沿横向检测支架移动，横向检测支架能够沿纵向检测支架移动，纵向检测支架的两端分别设有感应器。
7、进一步地，运输机构包括设置在机台出料一端顶部的传输轨道，传输轨道上设有若干平行的传输滚轮组，传输轨道的侧面设有传输轴，机台上设有驱动传输轴转动的传输电机，传输轴上设有若干磁力驱动轮，传输滚轮组的端部设有于磁力驱动轮配合的磁力从动轮。
8、进一步地，传输导轨接近进料方向的一端设有第二校位机构，第二校位机构包括一对平行于进料方向的调整支架，调整支架上分别设有调整气缸，调整气缸的活塞杆垂直于调整支架，调整气缸的活塞杆设置在调整支架内侧，调整气缸活塞杆的端部连接调整板，调整板的顶部设有调整柱，传输导轨远离机台出料的一端设有若干阻挡柱。
9、进一步地，传送抓取机构包括设置在机台侧面的传动框架，传动框架沿机台的进料方向设置，传动框架上设有水平传动模组，水平传输模组上滑移连接有平移板，平移板上设有抓取组件，平移板上设有水平移动电机。
10、进一步地，平移板上设有上下滑轨，上下滑轨上滑移连接有安装板，安装板上设有上下移动电机，抓取组件包括设置在安装板上的抓取支架，抓取支架的底部连接有抓取支板，抓取支板平行于机台顶面设置，抓取支板的四边分别设有抓取气缸，抓取气缸的活塞杆向外设置，抓取气缸活塞杆的顶部连接有抓取板，抓起板远离抓取气缸的一侧设有玻璃卡爪。
11、进一步地，抓取支板的底部设有若干吸盘。
12、本技术的玻璃边缘检查装置，结合多种传输方式，以高集成度的方式实现了一站式玻璃边缘检测。
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1.一种玻璃边缘检查装置，其特征在于，包括机架(1)，机架(1)外部设有用于将玻璃抓取至机架(1)的机械手臂(2)，所述机架(1)上沿玻璃进料方向依次设有用于校准玻璃进料位置的第一校位机构(3)、用于对玻璃边缘进行检测的检测机构(4)和用于将玻璃运输出机架(1)的运输机构(5)，所述第一校位机构(3)、检测机构(4)和运输机构(5)之间还设有用于抓取玻璃并将玻璃在三者间依次传输的传送抓取机构(7)。
2.根据权利要求1所述的玻璃边缘检查装置，其特征在于，所述第一校位机构(3)包括设置在机台进料一端顶部的4条校准支架(31)，4条所述校准支架(31)围成一矩形，2条所述校准支架(31)平行于进料方向，2条所述校准支架(31)垂直于进料方向，所述校准支架(31)的中部分别设有校准气缸(32)，所述校准气缸(32)的活塞杆均朝向校准支架(31)所围成矩形的中央，所述校准气缸(32)的活塞杆分别垂直于其所在校准支架(31)，所述校准气缸(32)活塞杆的端部连接有校准板(33)，所述校准板(33)的上表面设有若干沿竖直方向向上延伸的校准柱(34)。
3.根据权利要求
4.根据权利要求1所述的玻璃边缘检查装置，其特征在于，所述检测机构(4)包括设置在机台中间顶部的玻璃转盘(41)，所述玻璃转盘(41)的转盘体顶部设有玻璃吸附孔位(42)，所述玻璃转盘(41)的底部设有用于驱动转盘体转动的旋转电机(43)。
5.根据权利要求4所述的玻璃边缘检查装置，其特征在于，所述检测机构(4)还包括纵向检测支架(44)，所述纵向检测支架(44)垂直于进料方向设置，所述纵向检测支架(44)上设有横向检测支架(45)，所述横向检测支架(45)垂直于纵向检测支架(44)设置，所述横向检测支架(45)上设有检测器(46)，所述纵向检测支架(44)和横向检测支架(45)上分别设有直线滑动模组，所述检测器(46)能够沿横向检测支架(45)移动，所述横向检测支架(45)能够沿纵向检测支架(44)移动，所述纵向检测支架(44)的两端分别设有感应器。
6.根据权利要求1所述的玻璃边缘检查装置，其特征在于，所述运输机构(5)包括设置在机台出料一端顶部的传输轨道(51)，所述传输轨道(51)上设有若干平行的传输滚轮组(52)，所述传输轨道(51)的侧面设有传输轴(53)，所述机台上设有驱动传输轴(53)转动的传输电机(54)，所述传输轴(53)上设有若干磁力驱动轮，所述传输滚轮组(52)的端部设有于磁力驱动轮配合的磁力从动轮。
7.根据权利要求6所述的玻璃边缘检查装置，其特征在于，所述传输轨道(51)接近进料方向的一端设有第二校位机构(6)，所述第二校位机构(6)包括一对平行于进料方向的调整支架(61)，所述调整支架(61)上分别设有调整气缸(62)，所述调整气缸(62)的活塞杆垂直于调整支架(61)，所述调整气缸(62)的活塞杆设置在调整支架(61)内侧，所述调整气缸(62)活塞杆的端部连接调整板(63)，所述调整板(63)的顶部设有调整柱(64)，所述传输轨道(51)远离机台出料的一端设有若干阻挡柱(65)。
8.根据权利要求1所述的玻璃边缘检查装置，其特征在于，所述传送抓取机构(7)包括设置在机台侧面的传动框架(71)，所述传动框架(71)沿机台的进料方向设置，所述传动框架(71)上设有水平传动模组(72)，所述水平传动模组(72)上滑移连接有平移板(73)，所述平移板(73)上设有抓取组件，所述平移板(73)上设有水平移动电机(74)。
9.根据权利要求8所述的玻璃边缘检查装置，其特征在于，所述平移板(73)上设有上下滑轨(75)，所述上下滑轨(75)上滑移连接有安装板(76)，所述安装板(76)上设有上下移动电机(77)，所述抓取组件包括设置在安装板(76)上的抓取支架(81)，所述抓取支架(81)的底部连接有抓取支板(82)，所述抓取支板(82)平行于机台顶面设置，所述抓取支板(82)的四边分别设有抓取气缸(83)，所述抓取气缸(83)的活塞杆向外设置，所述抓取气缸(83)活塞杆的顶部连接有抓取板(84)，所述抓取支板(82)远离抓取气缸(83)的一侧设有玻璃卡爪(85)。
10.根据权利要求9所述的玻璃边缘检查装置，其特征在于，所述抓取支板(82)的底部设有若干吸盘(86)。
...【技术特征摘要】
1.一种玻璃边缘检查装置，其特征在于，包括机架(1)，机架(1)外部设有用于将玻璃抓取至机架(1)的机械手臂(2)，所述机架(1)上沿玻璃进料方向依次设有用于校准玻璃进料位置的第一校位机构(3)、用于对玻璃边缘进行检测的检测机构(4)和用于将玻璃运输出机架(1)的运输机构(5)，所述第一校位机构(3)、检测机构(4)和运输机构(5)之间还设有用于抓取玻璃并将玻璃在三者间依次传输的传送抓取机构(7)。
2.根据权利要求1所述的玻璃边缘检查装置，其特征在于，所述第一校位机构(3)包括设置在机台进料一端顶部的4条校准支架(31)，4条所述校准支架(31)围成一矩形，2条所述校准支架(31)平行于进料方向，2条所述校准支架(31)垂直于进料方向，所述校准支架(31)的中部分别设有校准气缸(32)，所述校准气缸(32)的活塞杆均朝向校准支架(31)所围成矩形的中央，所述校准气缸(32)的活塞杆分别垂直于其所在校准支架(31)，所述校准气缸(32)活塞杆的端部连接有校准板(33)，所述校准板(33)的上表面设有若干沿竖直方向向上延伸的校准柱(34)。
3.根据权利要求2所述的玻璃边缘检查装置，其特征在于，所述校准支架(31)中部还设有支撑支架(35)，所述支撑支架(35)上设有用于支撑玻璃的支撑柱(36)。
4.根据权利要求1所述的玻璃边缘检查装置，其特征在于，所述检测机构(4)包括设置在机台中间顶部的玻璃转盘(41)，所述玻璃转盘(41)的转盘体顶部设有玻璃吸附孔位(42)，所述玻璃转盘(41)的底部设有用于驱动转盘体转动的旋转电机(43)。
5.根据权利要求4所述的玻璃边缘检查装置，其特征在于，所述检测机构(4)还包括纵向检测支架(44)，所述纵向检测支架(44)垂直于进料方向设置，所述纵向检测支架(44)上设有横向检测支架(45)，所述横向检测支架(45)垂直于纵向检测支架(44)设置，所述横向检测支架(45)上设有检测器(46)，所述纵向检测支架(44)和横向检测支架(45)上分别设有直线滑动模组，所述检测器(46)能够沿横向检测支架(45)移动，所述横向检测支架(45)能够沿纵向检测支架(44)移动，所述纵向检测支架(44)的两端分别设有感应器。
【专利技术属性】
技术研发人员：吴业禹，王喜聪，
申请(专利权)人：南京华易泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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