本实用新型专利技术提供一种掩膜版盒子侦测装置，包括承载台，承载台上与多个支撑弹簧的一端固定连接，支撑弹簧的另一端与压片固定连接，压片的厚度大于等于设置值，压片与承载台之间设置有至少一个压力传感器。本实用新型专利技术可以有效地减少压片的变形几率，杜绝误侦测压力传感器的发生，提高机台使用率。提高机台使用率。提高机台使用率。
【技术实现步骤摘要】
掩膜版盒子侦测装置
[0001]本技术涉及半导体
，特别是涉及一种掩膜版盒子侦测装置。
技术介绍
[0002]请参阅图1，在现有技术的掩膜板盒子载物台上，提供了一种掩膜版盒子侦测装置，包括：
[0003]承载台201，承载台201上与多个金属块202的一端固定连接，金属块202的另一端与压片204固定连接，压片204与承载台201之间设置有三个压力传感器203。
[0004]当将掩膜版盒子放到侦测装置后，通过自身重量压在装置上覆盖着的一块厚度约1mm的铝合金压片204上，同时压片204触发3个三个压力传感器203来达到侦测是否放置成功的目的，但是压片204厚度太薄且经过长时间使用后容易变形，导致不能同时触发3个压力传感器203，导致机台故障率增加。
[0005]为解决上述问题，需要提出一种新型的掩膜版盒子侦测装置。
技术实现思路
[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种掩膜版盒子侦测装置，用于解决现有技术中压片厚度太薄且经过长时间使用后容易变形，导致不能同时触发所有的压力传感器，导致机台故障率增加的问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种掩膜版盒子侦测装置，包括：
[0008]承载台，所述承载台上与多个支撑弹簧的一端固定连接，所述支撑弹簧的另一端与压片固定连接，所述压片的厚度大于等于设置值，所述压片与所述承载台之间设置有至少一个压力传感器。
[0009]优选地，所述支撑弹簧为阵列式分布。
[0010]优选地，述压片的形状与掩膜板盒子相适配。
[0011]优选地，所述压片为口形的薄片。
[0012]优选地，所述支撑弹簧的数量为四个，其分别设置于所述压片的四角处。
[0013]优选地，所述压片的厚度为1.5mm至2.5mm。
[0014]优选地，所述压片的厚度为2mm。
[0015]优选地，所述压力传感器的数量为3个。
[0016]优选地，所述压片的材料为铝合金。
[0017]优选地，所述支撑弹簧在所述压片的重力下发生形变后，所述压片的底端与所述压力传感器开始接触。
[0018]优选地，所述支撑弹簧在所述压片的重力下发生形变后，所述压力传感器的输出阈值大于所述压片对所述传感器的压力。
[0019]如上所述，本技术的掩膜版盒子侦测装置，具有以下有益效果：
[0020]本技术可以有效地减少压片的变形几率，杜绝误侦测压力传感器的发生，提高机台使用率。
附图说明
[0021]图1显示为现有技术的掩膜版盒子侦测装置结构示意图；
[0022]图2显示为本技术的掩膜版盒子侦测装置结构示意图。
具体实施方式
[0023]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。
[0024]请参阅图2,本技术提供一种掩膜版盒子侦测装置，包括：
[0025]承载台101，承载台101上与多个支撑弹簧102的一端固定连接(例如焊接等方式)，支撑弹簧102的另一端与压片104固定连接，压片104的厚度大于等于设置值，设置值通常需大于现有技术的1mm，以此来避免压片104在长期使用后变形，压片104与承载台101之间设置有至少一个压力传感器103；当掩膜版盒子放置在压片104上时，压片104会在重力的作用下移动同时触发所有的传感器，支撑弹簧102对于压片104能够起到缓冲作用，避免长时间使用导致压片104变形。
[0026]具体地，支撑弹簧102的两端可分别焊接在承载台101与压片104上，也可以采用其他类型的固定连接方式，此处不作具体限定。
[0027]在一种可选的实施方式中，支撑弹簧102为阵列式分布，可根据压片104的形状呈环状的阵列分布或矩阵式的阵列分布，其间距可为等间距，也可以是非等间距。
[0028]在一种可选的实施方式中，压片104的形状与掩膜板盒子相适配。
[0029]在一种可选的实施方式中，压片104为口形的薄片。
[0030]在一种可选的实施方式中，支撑弹簧102的数量为四个，其分别设置于压片104的四角处。
[0031]在一种可选的实施方式中，压片104的厚度为1.5mm至2.5mm。
[0032]在一种可选的实施方式中，压片104的厚度为2mm。
[0033]在一种可选的实施方式中，压力传感器103的数量为3个，需要说明的是，压力传感器103的数量也可以是更少或更多个。
[0034]在一种可选的实施方式中，压片104的材料为铝合金，需要说明的是，压片104的材料也可以替换为本领域技术人员熟知的材料。
[0035]在一种可选的实施方式中，支撑弹簧102在压片104的重力下发生形变后，压片104的底端与压力传感器103开始接触。
[0036]在一种可选的实施方式中，支撑弹簧102在压片104的重力下发生形变后，压力传感器103的输出阈值大于压片104对传感器的压力。
[0037]需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及
尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0038]综上所述，本技术可以有效地减少压片的变形几率，杜绝误侦测压力传感器的发生，提高机台使用率。所以，本技术有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0039]上述实施例仅例示性说明本技术的原理及其功效，而非用于限制本技术。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本技术的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属
中具有通常知识者在未脱离本技术所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本技术的权利要求所涵盖。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种掩膜版盒子侦测装置，其特征在于，包括：承载台，所述承载台上与多个支撑弹簧的一端固定连接，所述支撑弹簧的另一端与压片固定连接，所述压片的厚度大于等于设置值，所述压片与所述承载台之间设置有至少一个压力传感器。2.根据权利要求1所述的掩膜版盒子侦测装置，其特征在于：所述支撑弹簧为阵列式分布。3.根据权利要求2所述的掩膜版盒子侦测装置，其特征在于：所述压片的形状与掩膜板盒子相适配。4.根据权利要求3所述的掩膜版盒子侦测装置，其特征在于：所述压片为口形的薄片。5.根据权利要求4所述的掩膜版盒子侦测装置，其特征在于：所述支撑弹簧的数量为四个，其分别设置于所述压片的四角处。6.根据权利要求1所述的掩膜版盒子侦测...
【专利技术属性】
技术研发人员：范敏军，张叶，崔毅峰，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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