电弧离子镀膜设备的转动连接组件制造技术

本实用新型专利技术公开了电弧离子镀膜设备的转动连接组件，固定件包括第一盘体，第一盘体的中心设有转轴通孔，转动件包括第二盘体和第二盘体中间的转轴，转轴穿过转轴通孔并与旋转驱动机构连接，所述旋转驱动机构驱动转轴以使所述转动件相对固定件转动；第一盘体和第二盘体之间设有相对的环形滚珠槽，形成滚珠槽，滚珠槽内布设滚珠组，滚珠槽内具有位于钢珠表面的润滑物；第一盘体和第二盘体之间设有多组相对的环形凸起和环形凹槽，以对转动件的旋转起支撑导向作用并对滚珠槽起密封作用，避免润滑物的损失，有利于转动结构的长期顺畅运行；转动件连接于旋转驱动机构上，对于钢珠的负荷较小，有利于转动的顺畅性和结构的寿命。有利于转动的顺畅性和结构的寿命。有利于转动的顺畅性和结构的寿命。

【技术实现步骤摘要】
电弧离子镀膜设备的转动连接组件


[0001]本技术涉及一种电弧离子镀膜设备的
，尤其是涉及真空离子镀膜设备的转动连接组件，该转动连接组件用于与驱动装置连接并带动放置待电弧离子镀工艺处理的模具的转盘旋转。

技术介绍

[0002]电弧离子镀是一种物理气相沉积技术，在电弧离子镀工艺中，工件被放置在旋转架上，通过电弧放电，将不同位置上的靶材蒸发产生等离子体，等离子体镀于工件表面成膜。但是，弧源位置的设置是固定的，尽管可以通过分布，做到尽量均匀，但在镀膜过程中，仍然会因为等离子体的不均匀性。为了使工件镀膜均匀化，目前普遍采用的转架都是公转加自转的方式，即，转架整体在真空腔室内围绕中心公转，同时转架上的各夹持工件的转轴分别自转。这种方式，有效地改善了每个转轴上工件水平方向上接收等离子体的均匀性问题。
[0003]授权公告号为CN202643830U的技术专利文件公开了一种用于真空离子镀膜机的星形拨动齿轮托架，包括零件支架、星形拨动齿轮架、压盘、定位托盘和紧固件，紧固件内设有定位托盘，定位托盘的上方设有压盘，星形拨动齿轮架设于定位托盘内，零件支架设于星形拨动齿轮架的顶部。
[0004]在这种设备中因存在多层次的转动，需要用到转动组件进行结构连接。上述专利中利用星形拨动齿轮架实现自转，但是由于零件支架上有一定承重，而星形拨动齿轮架缺少有效支撑导致结构寿命短，容易出现卡顿等问题，导致电弧离子镀均匀性受到影响。
[0005]授权公告号为CN216922845U和CN211289520U的技术专利文件均公开了一种用于真空离子镀膜设备的自润滑转动装置，其包括底座和端盖，端盖和底座上分别设有端盖滚珠轨道以及底座滚珠轨道，钢珠与石墨珠交替放置在端盖滚珠轨道和底座滚珠轨道之间，钢珠主要起承重作用，石墨珠主要起润滑作用，在转动过程中石墨珠与钢珠之间发生摩擦使钢珠的表面裹上一层石墨粉，从而起到润滑的作用。
[0006]这两个专利从自润滑的角度出发，提高了转动的稳定性和顺畅性。但是底座和端盖的旋转支撑完全依靠钢珠，导致钢珠的负荷较大，也容易影响转动装置的使用寿命。

技术实现思路

[0007]鉴于现有技术中平面转动连接组件存在的问题，本技术提供了一种转动更加平稳、使用寿命更长的电弧离子镀膜设备的转动连接组件。
[0008]本技术的解决上述技术问题的技术方案为：电弧离子镀膜设备的转动连接组件，包括可相对旋转的固定件、转动件和连接件，所述连接件设于所述转动件上，并随转动件相对固定件转动；
[0009]所述固定件包括第一盘体，所述第一盘体的中心设有转轴通孔；
[0010]所述第一盘体的上表面从内到外依次包括与转轴通孔同心的第一环形滚珠槽和
第一环形凸起；
[0011]所述转动件包括第二盘体和第二盘体中间的转轴，所述转轴的外径与所述转轴通孔匹配；
[0012]所述第二盘体的下表面从内到外依次包括与转轴同心的第二环形滚珠槽和第二环形凹槽；
[0013]所述转轴穿过转轴通孔并与旋转驱动机构连接，所述旋转驱动机构驱动转轴以使所述转动件相对固定件转动；
[0014]所述第二盘体位于第一盘体的上方，所述第二环形滚珠槽与第一环形滚珠槽对接形成滚珠槽，所述滚珠槽内布设滚珠组；
[0015]所述第一环形凸起与所述第二环形凹槽适配，并嵌入到第二环形凹槽内旋转，所述第二环形凹槽和第一环形凸起对转动件的旋转起导向作用。
[0016]本技术的解决上述技术问题的优选的技术方案为：所述第一盘体还包括位于第一环形凸起外的第一环形凹槽，所述第二盘体还包括第二环形凹槽外的第二环形凸起，
[0017]所述第二环形凸起与所述第一环形凹槽适配，并嵌入到第一环形凹槽内旋转，所述第一环形凹槽和第二环形凸起对转动件的旋转起导向作用。
[0018]本技术的解决上述技术问题的优选的技术方案为：所述滚珠组包括钢珠与石墨珠。
[0019]本技术的解决上述技术问题的优选的技术方案为：所述滚珠组包括钢珠，所述滚珠槽内还设有裹覆钢珠表面的润滑油脂。
[0020]本技术的解决上述技术问题的优选的技术方案为：所述第二盘体的上表面设有凸起的与转轴同轴的连接柱；
[0021]所述连接柱设有上侧开口的限位槽，所述限位槽延伸至所述连接柱的两侧面；
[0022]所述连接件包括与连接柱匹配的套接孔，且套接孔内设有跨接于套接孔孔壁两侧的限位筋；
[0023]所述连接件套接在连接柱上，且限位筋卡入所述限位槽以使所述连接件与转动件的周向旋转受限制。
[0024]本技术的解决上述技术问题的优选的技术方案为：所述旋转驱动机构包括齿轮，所述齿轮中心设有齿轮连接孔，所述齿轮连接孔的截面非圆形；
[0025]所述转轴下端设有外凸的与齿轮连接孔的内轮廓匹配的齿轮连接部，所述齿轮连接部插入所述齿轮连接孔，以使转动件随旋转驱动机构转动。
[0026]本技术的解决上述技术问题的技术方案为：电弧离子镀膜设备的转动连接组件，包括可相对旋转的固定件、转动件和连接件，所述连接件设于所述转动件上，并随转动件相对固定件转动；
[0027]所述固定件包括第一盘体，所述第一盘体的中心设有转轴通孔；
[0028]所述第一盘体的上表面包括与转轴通孔同心的第一环形滚珠槽、第一环形凸起和第一环形凹槽；
[0029]所述第一环形凸起和第一环形凹槽位于所述第一环形滚珠槽外围；
[0030]所述转动件包括第二盘体和第二盘体中间的转轴，所述转轴的外径与所述转轴通孔匹配；
[0031]所述第二盘体的下表面包括与转轴同心的第二环形滚珠槽、第二环形凸起和第二环形凹槽；
[0032]所述第二环形凸起和第二环形凹槽位于所述第二环形滚珠槽外围；
[0033]所述转轴穿过转轴通孔并与旋转驱动机构连接，所述旋转驱动机构驱动转轴以使所述转动件相对固定件转动；
[0034]所述第二盘体位于第一盘体的上方，所述第二环形滚珠槽与第一环形滚珠槽对接形成滚珠槽，所述滚珠槽内布设滚珠组；
[0035]所述滚珠组包括钢珠，所述滚珠槽内具有位于钢珠表面的润滑物；
[0036]所述第一环形凸起嵌入到第二环形凹槽内旋转，所述第二环形凸起嵌入到第一环形凹槽内旋转，以在对转动件的旋转起双重支撑导向作用的同时对滚珠槽的外侧起双重密封作用。
[0037]本技术的解决上述技术问题的优选的技术方案为：所述第二盘体的上表面设有凸起的与转轴同轴的连接柱；
[0038]所述连接柱设有上侧开口的限位槽，所述限位槽延伸至所述连接柱的两侧面；
[0039]所述连接件包括与连接柱匹配的套接孔，且套接孔内设有跨接于套接孔孔壁两侧的限位筋；
[0040]所述连接件套接在连接柱上，且限位筋卡入所述限位槽以使所述连接件与转动件的周向旋转受限制。
[0041]本技术的解决上述技术问题的优选的技术方案为：所述转动件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.电弧离子镀膜设备的转动连接组件，其特征在于包括可相对旋转的固定件、转动件和连接件，所述连接件设于所述转动件上，并随转动件相对固定件转动；所述固定件包括第一盘体，所述第一盘体的中心设有转轴通孔；所述第一盘体的上表面从内到外依次包括与转轴通孔同心的第一环形滚珠槽和第一环形凸起；所述转动件包括第二盘体和第二盘体中间的转轴，所述转轴的外径与所述转轴通孔匹配；所述第二盘体的下表面从内到外依次包括与转轴同心的第二环形滚珠槽和第二环形凹槽；所述转轴穿过转轴通孔并与旋转驱动机构连接，所述旋转驱动机构驱动转轴以使所述转动件相对固定件转动；所述第二盘体位于第一盘体的上方，所述第二环形滚珠槽与第一环形滚珠槽对接形成滚珠槽，所述滚珠槽内布设滚珠组；所述第一环形凸起与所述第二环形凹槽适配，并嵌入到第二环形凹槽内旋转，所述第二环形凹槽和第一环形凸起对转动件的旋转起导向作用。2.根据权利要求1所述的电弧离子镀膜设备的转动连接组件，其特征在于所述第一盘体还包括位于第一环形凸起外的第一环形凹槽，所述第二盘体还包括第二环形凹槽外的第二环形凸起，所述第二环形凸起与所述第一环形凹槽适配，并嵌入到第一环形凹槽内旋转，所述第一环形凹槽和第二环形凸起对转动件的旋转起导向作用。3.根据权利要求1所述的电弧离子镀膜设备的转动连接组件，其特征在于所述滚珠组包括钢珠与石墨珠。4.根据权利要求1所述的电弧离子镀膜设备的转动连接组件，其特征在于所述滚珠组包括钢珠，所述滚珠槽内还设有裹覆钢珠表面的润滑油脂。5.根据权利要求1所述的电弧离子镀膜设备的转动连接组件，其特征在于所述第二盘体的上表面设有凸起的与转轴同轴的连接柱；所述连接柱设有上侧开口的限位槽，所述限位槽延伸至所述连接柱的两侧面；所述连接件包括与连接柱匹配的套接孔，且套接孔内设有跨接于套接孔孔壁两侧的限位筋；所述连接件套接在连接柱上，且限位筋卡入所述限位槽以使所述连接件与转动件的周向旋转受限制。6.根据权利要求1所述的电弧离子镀膜设备的转动连接组件，其特征在于所述旋转驱动机构包括齿轮，所述齿轮中心设有齿轮连接孔，所述齿轮连接孔的截面非圆形；所述转轴下端设有外凸的与齿轮连接孔的内轮廓匹配的齿轮连接部，所述齿轮连接部插入所述齿轮连接孔，以使转动件随旋转驱动机构转动。7.电弧离子镀膜设备的转动连接组件，其特征在于包括可相对旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱恩光，杨兵，蒋佳丽，朱杨俊，卢嘉日，潘崇恩，周林，
申请(专利权)人：宁波迈柯新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：