本实用新型专利技术提供一种蚀刻件清洗药水回收装置，涉及清洗药水回收装置技术领域，包括：清洗腔体，通过旋转电机作用下，便于在转动轴和轴承座配合作用下，使得旋转盘和抵接盘进行转动，之后通过注液端注入相对应化学液体，对转动中的蚀刻件进行清洗作业，之后可以在内置电源的作用下，使得闸门端抬升，之后使得高阻加热丝组进行电性加热反应，之后使得风机件对加热产生的热量通过风流，在清洗腔体内部进行四散，便于对清洗后的蚀刻件表面所残存的液体进行均匀烘干作业，有效降低在蚀刻件清洗或者蚀刻过程中，需要用到各种各样的化学药水，对于有色药水而言，不可避免的会附着在设备上，影响后续使用的问题。响后续使用的问题。响后续使用的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻件清洗药水回收装置
[0001]本技术涉及清洗药水回收装置
，尤其涉及一种蚀刻件清洗药水回收装置。
技术介绍
[0002]半导体制程中，蚀刻和清洗是必需的制程步骤。湿法蚀刻是用化学溶液与器件接触，溶解不需要的金属，留下所需的图形的工艺。清洗是使用清洗液将器件上的残留物质去除的工艺，蚀刻和清洗通常在腔体内进行，现有的蚀刻工艺通常采用将器件浸泡在化学溶液中，清洗则是将器件浸泡在清洗液中。
[0003]现有技术中，蚀刻件清洗或者蚀刻，需要用到各种各样的化学药水，对于有色药水而言，不可避免的会附着在设备上，影响后续的使用，因此，需要提出一种新型的蚀刻件清洗药水回收装置。
技术实现思路
[0004]本技术主要提供一种方便降低影响、防止出现附着的蚀刻件清洗药水回收装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种蚀刻件清洗药水回收装置，包括：清洗腔体，所述清洗腔体的顶部架设安装有旋转电机，所述旋转电机的内部输出端贯贯穿所述清洗腔体轴动连接有转动轴，所述转动轴的底部轴动连接有轴承座，所述转动轴的外壁周侧表面上下等分均匀安装设置有三组旋转盘，三组所述旋转盘的底部均相对应安装设置有抵接盘，三组所述旋转盘的表面等分环绕贯穿开设有四组放置槽，四组所述放置槽和所述抵接盘的顶部表面相对应开设但不贯穿，所述清洗腔体的顶部左右侧端均安装设置有闸门端，所述清洗腔体的顶部表面设置有注液端，所述清洗腔体的左右两端内壁均开设有孔端，所述清洗腔体的左右两端内部均安装设置有高阻加热丝组，所述清洗腔体的左右两端均设置安装有风机件，所述清洗腔体的外壁一侧通过旋转件铰接安装有透明玻璃柜门。
[0006]优选的，所述清洗腔体的底端侧边表面贯穿开设有排槽，所述排槽的底侧端连通有过滤腔体，通过排槽作用下，便于使得在清洗腔体内部已进行清洗后的化学药液排放置过滤腔体中，进行过滤吸附作业，同时排槽通过电动阀门相启闭控制。
[0007]优选的，所述过滤腔体的底端通过连接杆紧固安装连接有排液室，所述过滤腔体和所述排液室的外壁一侧均开设有滑槽端，所述滑槽端的内部滑动连接设置有过滤网件，通过滑槽端的作用下，便于使得过滤网件在过滤腔体内部进行更换清理。
[0008]优选的，所述过滤腔体的侧边连通有管路，所述管路的侧端贴合过滤网件上方平面设置有斜槽吸口，所述管路的另一端通过真空泵连通有排料管路，通过真空泵的作用下，使得管路和斜槽吸口对过滤网件上方平面筛分出的一些蚀刻件金属颗粒进行吸附，之后通过排料管路进行输送后，便于进行资源回收利用。
[0009]优选的，所述排液室的底部连通设置有排液管，所述排液室的外壁一侧表面设置有刻度标量件，通过排液管的作用下，便于使得将过滤的化学液体进行排出，同时在刻度标量件的作用下，便于使得工作人员对排液室内部的容积量进行观察，便于通过排液管进行排出。
[0010]优选的，所述排液室的底侧表面四端均安装设置有支撑杆，所述支撑杆的底部均相对应安装紧固有万向轮，通过支撑杆和万向轮的配合作用下，便于使得整体装置能够在工作人员的控制推动下，进行位置更换，便于进行相关作业。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
[0012]1、本技术中，通过旋转电机作用下，使得旋转电机通过转动轴和轴承座配合作用下，使得旋转盘和抵接盘进行转动，之后通过注液端注入相对应化学液体，对转动中的蚀刻件进行清洗作业，之后可以在内置电源的作用下，使得闸门端抬升，之后使得高阻加热丝组进行电性加热反应，之后使得风机件对加热产生的热量通过风流，在清洗腔体内部进行四散，便于对清洗后的蚀刻件表面所残存的液体进行均匀烘干作业，有效降低在蚀刻件清洗或者蚀刻过程中，需要用到各种各样的化学药水，对于有色药水而言，不可避免的会附着在设备上，影响后续使用的问题。
[0013]2、本技术中，通过真空泵的作用下，使得管路和斜槽吸口对过滤网件上方平面筛分出的一些蚀刻件金属颗粒进行吸附，之后通过排料管路进行输送后，便于进行资源回收利用。
附图说明
[0014]图1为本技术提出一种蚀刻件清洗药水回收装置的立体图；
[0015]图2为本技术提出一种蚀刻件清洗药水回收装置的另一角度立体图；
[0016]图3为本技术提出一种蚀刻件清洗药水回收装置的部分结构示意图；
[0017]图4为本技术提出一种蚀刻件清洗药水回收装置的部分结构示意图。
[0018]图例说明：1、清洗腔体；2、闸门端；3、旋转电机；4、转动轴；5、旋转盘；6、放置槽；7、抵接盘；8、轴承座；9、透明玻璃柜门；10、排槽；11、孔端；13、高阻加热丝组；14、风机件；15、过滤腔体；16、管路；17、斜槽吸口；18、排液室；19、滑槽端；20、过滤网件；21、注液端；22、排液管；23、刻度标量件；24、万向轮。
具体实施方式
[0019]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0020]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0021]请参阅图1
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图4，本技术提供一种技术方案：一种蚀刻件清洗药水回收装置，包括：清洗腔体1，清洗腔体1的顶部架设安装有旋转电机3，旋转电机3的内部输出端贯贯穿清洗腔体1轴动连接有转动轴4，转动轴4的底部轴动连接有轴承座8，转动轴4的外壁周侧表
面上下等分均匀安装设置有三组旋转盘5，三组旋转盘5的底部均相对应安装设置有抵接盘7，三组旋转盘5的表面等分环绕贯穿开设有四组放置槽6，四组放置槽6和抵接盘7的顶部表面相对应开设但不贯穿，清洗腔体1的顶部左右侧端均安装设置有闸门端2，清洗腔体1的顶部表面设置有注液端21，清洗腔体1的左右两端内壁均开设有孔端11，清洗腔体1的左右两端内部均安装设置有高阻加热丝组13，清洗腔体1的左右两端均设置安装有风机件14，清洗腔体1的外壁一侧通过旋转件铰接安装有透明玻璃柜门9。
[0022]如图2所示，清洗腔体1的底端侧边表面贯穿开设有排槽10，排槽10的底侧端连通有过滤腔体15，通过排槽10作用下，便于使得在清洗腔体1内部已进行清洗后的化学药液排放置过滤腔体15中，进行过滤吸附作业，同时排槽10通过电动阀门相启闭控制。
[0023]如图2和图3和图4所示，过滤腔体15的底端通过连接杆紧固安装连接有排液室18，过滤腔体15和排液室18的外壁一侧均开设有滑槽端19，滑槽端19的内部滑动连接设置有过滤网件20，通过滑槽端19的作用下，便于使得过滤网件20在过滤腔体15内部进行更换清理。
[0024]如图1和图2和图4所示，过滤腔体15的侧边连通有管路16，管路1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蚀刻件清洗药水回收装置，其特征在于，包括：清洗腔体(1)，所述清洗腔体(1)的顶部架设安装有旋转电机(3)，所述旋转电机(3)的内部输出端贯贯穿所述清洗腔体(1)轴动连接有转动轴(4)，所述转动轴(4)的底部轴动连接有轴承座(8)，所述转动轴(4)的外壁周侧表面上下等分均匀安装设置有三组旋转盘(5)，三组所述旋转盘(5)的底部均相对应安装设置有抵接盘(7)，三组所述旋转盘(5)的表面等分环绕贯穿开设有四组放置槽(6)，四组所述放置槽(6)和所述抵接盘(7)的顶部表面相对应开设但不贯穿，所述清洗腔体(1)的顶部左右侧端均安装设置有闸门端(2)，所述清洗腔体(1)的顶部表面设置有注液端(21)，所述清洗腔体(1)的左右两端内壁均开设有孔端(11)，所述清洗腔体(1)的左右两端内部均安装设置有高阻加热丝组(13)，所述清洗腔体(1)的左右两端均设置安装有风机件(14)，所述清洗腔体(1)的外壁一侧通过旋转件铰接安装有透明玻璃柜门(9)。2.根据权利要求1所述的蚀刻件清洗药水回收装置，其特征在于：所述清洗腔体...
【专利技术属性】
技术研发人员：马文勇，胡良辉，郑东成，王庆环，
申请(专利权)人：苏州运宏电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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