本实用新型专利技术公开了一种高温可调的探针台检测装置，包括支撑底板,所述支撑底板顶端连接设置有四氟圆环外圈，所述四氟圆环外圈内壁一侧连接设置有四氟圆环内圈，所述四氟圆环内圈内侧连接设置有云母片，所述云母片顶端连接设置有加热板，所述加热板顶端连接设置有液冷盘，所述液冷盘顶端连接设置垫板，所述垫板顶端连接设置有帕尔贴，所述垫板上方设有陶瓷片，所述陶瓷片上方设置有多孔卡盘，所述支撑底板顶端连接设置有安装座，所述安装座一侧连接设置有导线。本实用新型专利技术可以有效的将温度提升，便于对物品不同温度条件下的状态，提升研究范围。究范围。究范围。
【技术实现步骤摘要】
一种高温可调的探针台检测装置
[0001]本技术涉及探针台
，具体为一种高温可调的探针台检测装置。
技术介绍
[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
[0003]目前的载物台在使用时无法对物品温度进行控制，从而无法了解物品在不同温度下的状态，降低了对待测物品的研究范围，为此提出一种高温可调的探针台检测装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种高温可调的探针台检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：包括支撑底板,所述支撑底板顶端连接设置有四氟圆环外圈，所述四氟圆环外圈内壁一侧连接设置有四氟圆环内圈，所述四氟圆环内圈内侧连接设置有云母片，所述云母片顶端连接设置有加热板，所述加热板顶端连接设置有液冷盘，所述液冷盘顶端连接设置有垫板，所述垫板顶端连接设置有帕尔贴，所述垫板上方设有陶瓷片，所述陶瓷片上方设置有多孔卡盘，所述支撑底板顶端连接设置有安装座，所述安装座一侧连接设置有导线。
[0006]优选的，所述帕尔贴有多组，所述垫板顶端对应所述帕尔贴连接设置有多个安装槽。
[0007]优选的，所述液冷盘一侧连接设置有进水端与出水端，且进水端与出水端均连接设置有导流管，所述导流管一端贯穿延伸至所述四氟圆环外圈外部。
[0008]优选的，所述支撑底板底端连接设置有旋转固定座。
[0009]优选的，所述多孔卡盘一侧连接设置有温度传感器。
[0010]优选的，所述导线与所述帕尔贴呈电性连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术通过导线向帕尔贴通电，帕尔贴通电后，根据帕尔贴效应，顶端散热开始产生热量，底面吸热开始吸收热量，同时加热板通电加热，通过液冷盘将热量传输至垫板,帕尔贴底面吸收大量的热量后将热能传递至顶面，使帕尔贴顶端的温度提升，使多孔卡盘加热，从而对待检测物加热，同时可以通过温度传感器对多孔卡盘的温度进行检测，可以有效的将温度提升，便于对物品不同温度条件下的状态，提升研究范围，其中四氟圆环外圈和四氟圆环内圈以及位于底部的云母片，有效的起到保护作用，避免意外烫伤；
[0013]2、本技术同时还通过需要降温时给加热板断电，同时通过两组导流管对液冷盘内的水进行循环，通过冷却液带动热量，减少帕尔贴底面能吸收的热能，从而降低帕尔贴定点的散热量，从而为多孔卡盘降温，有效的对温度进行控制，操作简单，使用方便。
附图说明
[0014]图1为本技术一种高温可调的探针台检测装置整体结构示意图；
[0015]图2为本技术一种高温可调的探针台检测装置爆炸结构示意图；
[0016]图3为本技术一种高温可调的探针台检测装置侧剖结构示意图。
[0017]图中：1、支撑底板；2、四氟圆环外圈；3、四氟圆环内圈；4、云母片；5、加热板；6、液冷盘；8、垫板；9、帕尔贴；10、陶瓷片；11、多孔卡盘；12、安装座；13、导线；14、导流管；15、旋转固定座；16、温度传感器。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：包括支撑底板1,支撑底板1顶端连接设置有四氟圆环外圈2，四氟圆环外圈2内壁一侧连接设置有四氟圆环内圈3，四氟圆环内圈3内侧连接设置有云母片4，云母片4顶端连接设置有加热板5，加热板5顶端连接设置有液冷盘6，液冷盘6顶端连接设置有垫板8，垫板8顶端连接设置有帕尔贴9，垫板8上方设有陶瓷片10，陶瓷片10上方设置有多孔卡盘11，支撑底板1顶端连接设置有安装座12，安装座12一侧连接设置有导线13。
[0020]帕尔贴9有多组，垫板8顶端对应帕尔贴9连接设置有多个安装槽，有效的增加温度提升效果，保证温度提升的稳定性；液冷盘6一侧连接设置有进水端与出水端，且进水端与出水端均连接设置有导流管14，导流管14一端贯穿延伸至四氟圆环外圈2外部，可以快速的对高温进行散热，保证使用效果，保证温控效果；支撑底板1底端连接设置有旋转固定座15；多孔卡盘11一侧连接设置有温度传感器16，便于对温度情况进行了解，方便了解记录不同温度下待检测物的状态；导线13与帕尔贴9呈电性连接，便于利用帕尔贴效应进行提升温度。
[0021]工作原理：该技术在使用时，加热板5通电加热，通过液冷盘6将热量传输至垫板8,然后热量通过10陶瓷片后将热能传递至顶面的多孔卡盘11，从而进行对温度提升，当上升至一定温度后，通过导线13向帕尔贴9通电，帕尔贴9通电后，根据帕尔贴效应，顶端散热开始产生热量，底面吸热开始吸收热量，帕尔贴9底面吸收加热板5散发的热量，使帕尔贴9顶面的温度提升，既可以保证加热板5产生的热量的传导效果，又对多孔卡盘11表面的温度进一步的精准提升，使多孔卡盘11进一步的加热，从而对待检测物加热，同时可以通过温度传感器16对多孔卡盘11的温度进行检测，可以有效的将温度提升，便于对物品不同温度条件下的状态，提升研究范围，需要降温时给加热板5断电，同时通过两组导流管14对液冷盘6内的水进行循环，通过冷却液带动热量，减少帕尔贴9底面能吸收的热能，从而降低帕尔贴9顶面的散热量，从而为多孔卡盘11降温，有效的对温度进行控制，减少能源损耗，操作简单，使用方便。
[0022]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存
在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0023]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高温可调的探针台检测装置，包括支撑底板(1),其特征在于：所述支撑底板(1)顶端连接设置有四氟圆环外圈(2)，所述四氟圆环外圈(2)内壁一侧连接设置有四氟圆环内圈(3)，所述四氟圆环内圈(3)内侧连接设置有云母片(4)，所述云母片(4)顶端连接设置有加热板(5)，所述加热板(5)顶端连接设置有液冷盘(6)，所述液冷盘(6)顶端连接设置有垫板(8)，所述垫板(8)顶端连接设置有帕尔贴(9)，所述垫板(8)上方设有陶瓷片(10)，所述陶瓷片(10)上方设置有多孔卡盘(11)，所述支撑底板(1)顶端连接设置有安装座(12)，所述安装座(12)一侧连接设置有导线(13)。2.根据权利要求1所述的一种高温可调的探针台检测装置，其特征在于：所述帕尔贴...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵连喜，韩浩，徐永念，
申请(专利权)人：上海矽弼半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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