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上海矽弼半导体科技有限公司专利技术
上海矽弼半导体科技有限公司共有7项专利
一种探针台用快速冷却装置制造方法及图纸
本技术涉及探针台技术领域,尤其涉及一种探针台用快速冷却装置。其技术方案包括:铝外筒,所述铝外筒的内部安装有四氟内套,所述四氟内套内设置有气冷盘和气孔板,所述气孔板上开设有多组气孔,所述气孔板上方设置有吸附盘,所述吸附盘上方设置有陶瓷隔板...
一种斜孔探针夹具装置制造方法及图纸
本技术涉及斜孔探针夹具技术领域,尤其涉及一种斜孔探针夹具装置。其技术方案包括:夹具主体,所述夹具主体下方设置有夹具底板,所述夹具底板上方位于夹具主体内安装有探针顶块,所述夹具主体和探针顶块上均开设有安装斜孔,所述安装斜孔内安装有探针夹套...
一种用于探针台检测的防干扰装置制造方法及图纸
本技术公开了一种用于探针台检测的防干扰装置,包括支撑架,所述支撑架顶端连接设置有屏蔽箱体,所述屏蔽箱体两侧设有第一线孔和第二线孔,所述屏蔽箱体一侧连接设置有密封盖板,所述屏蔽箱体正面一侧铰接设置有门板,所述支撑架顶端贯穿延伸至屏蔽箱体内...
一种载物台三档气浮控制快速移动装置制造方法及图纸
本技术涉及气浮移动技术领域,尤其涉及一种载物台三档气浮控制快速移动装置。其技术方案包括:包括轨道底板、滑动板、承载板和三档控制器,滑动板滑动连接在轨道底板上端,承载板滑动连接在滑动板上端,滑动板与承载板的滑动方向垂直,滑动板承载板内中心...
一种用于探针台耐高压低漏电的载物台制造技术
本技术公开了一种用于探针台耐高压低漏电的载物台,包括旋转台,所述旋转台顶端连接设置有支撑底座,所述支撑底座顶端连接设置有四氟套,所述四氟套顶端连接设置有云母,所述云母顶端连接设置有加热盘,所述加热盘顶端连接设置有陶瓷片一,所述陶瓷片一顶...
一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台制造技术
本实用新型公开了一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台,包括旋转限位连接座
一种高温可调的探针台检测装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种高温可调的探针台检测装置,包括支撑底板,所述支撑底板顶端连接设置有四氟圆环外圈,所述四氟圆环外圈内壁一侧连接设置有四氟圆环内圈,所述四氟圆环内圈内侧连接设置有云母片,所述云母片顶端连接设置有加热板,所述加热板顶端连接...
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