【技术实现步骤摘要】
本技术涉及载物台，具体为一种用于探针台耐高压低漏电的载物台。
技术介绍
1、探针台是一种用于测试和测量微电子器件的设备。它通常由一个固定的基座和一个可移动的载物台组成，载物台是探针台上的一个平台，用于支撑和固定待测试的硅片，硅片上通常有多个微电子器件，如晶体管、集成电路等，载物台提供了一个稳定的平面，使得探针可以准确地接触到硅片上的器件。
2、目前的载物台的电气接地和屏蔽功能智能运行较低电压的使用，在进行较高电压使用时，静电噪音严重，难以保证检测的稳定性，影响检测结果，给实验检测造成了一定的局限性。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于探针台耐高压低漏电的载物台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：包括旋转台,所述旋转台顶端连接设置有支撑底座，所述支撑底座顶端连接设置有四氟套，所述四氟套顶端连接设置有云母，所述云母顶端连接设置有加热盘，所述加热盘顶端连接设置有陶瓷片一，所述陶瓷片一顶端连接设置有陶瓷片二，所述陶瓷片二和陶瓷片一之间连接设置有铜箔，所述陶瓷片二顶端连接设置有吸盘，所述吸盘一侧连接设置有连接器，所述旋转台顶端一侧连接设置有线束夹具。
3、优选的，所述旋转台顶端连接设置有四氟环，所述四氟套、云母、加热盘、陶瓷片一、陶瓷片二、铜箔和吸盘均位于所述四氟环内。
4、优选的，所述四氟环一侧对应所述铜箔开设有缺口，所述铜箔和连接器一侧均连接设置有同样电位的有源驱动导体。
6、优选的，所述陶瓷片二底端连接设置有绝缘螺栓，且绝缘螺栓一端与所述铜箔连接设置。
7、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
8、1、本技术通过吸盘作为信号层真空吸附链接在陶瓷二上，陶瓷二下绝缘螺丝连接有铜箔，铜箔作为保护层，通过与信号线同样电位的有源驱动导体包围着信号线，从而消除泄漏电流，支撑底座作为屏蔽层用于防止静电噪声对测量的影响，从而形成三轴结构，达到高压低漏电的目的；
9、2、本技术同时还通过四氟环和四氟套形成一个绝缘的包裹层，有效的保证铜箔的使用效果，同时保证实验的安全效果，加热盘满足对实验的温度要求，进一步的满足适用效果。
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1.一种用于探针台耐高压低漏电的载物台，包括旋转台(1),其特征在于：所述旋转台(1)顶端连接设置有支撑底座(2)，所述支撑底座(2)顶端连接设置有四氟套(3)，所述四氟套(3)顶端连接设置有云母(4)，所述云母(4)顶端连接设置有加热盘(5)，所述加热盘(5)顶端连接设置有陶瓷片一(6)，所述陶瓷片一(6)顶端连接设置有陶瓷片二(7)，所述陶瓷片二(7)和陶瓷片一(6)之间连接设置有铜箔(8)，所述陶瓷片二(7)顶端连接设置有吸盘(9)，所述吸盘(9)一侧连接设置有连接器(10)，所述旋转台(1)顶端一侧连接设置有线束夹具(11)。
2.根据权利要求1所述的一种用于探针台耐高压低漏电的载物台，其特征在于：所述旋转台(1)顶端连接设置有四氟环(12)，所述四氟套(3)、云母(4)、加热盘(5)、陶瓷片一(6)、陶瓷片二(7)、铜箔(8)和吸盘(9)均位于所述四氟环(12)内。
3.根据权利要求2所述的一种用于探针台耐高压低漏电的载物台，其特征在于：所述四氟环(12)一侧对应所述铜箔(8)开设有缺口，所述铜箔(8)和连接器(10)一侧均连接设置有同样电位的有
4.根据权利要求1所述的一种用于探针台耐高压低漏电的载物台，其特征在于：所述线束夹具(11)一侧连接设置有外部电源线，且外部电源线一端与加热盘(5)呈电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于探针台耐高压低漏电的载物台，其特征在于：所述陶瓷片二(7)底端连接设置有绝缘螺栓，且绝缘螺栓一端与所述铜箔(8)连接设置。
...【技术特征摘要】
1.一种用于探针台耐高压低漏电的载物台，包括旋转台(1),其特征在于：所述旋转台(1)顶端连接设置有支撑底座(2)，所述支撑底座(2)顶端连接设置有四氟套(3)，所述四氟套(3)顶端连接设置有云母(4)，所述云母(4)顶端连接设置有加热盘(5)，所述加热盘(5)顶端连接设置有陶瓷片一(6)，所述陶瓷片一(6)顶端连接设置有陶瓷片二(7)，所述陶瓷片二(7)和陶瓷片一(6)之间连接设置有铜箔(8)，所述陶瓷片二(7)顶端连接设置有吸盘(9)，所述吸盘(9)一侧连接设置有连接器(10)，所述旋转台(1)顶端一侧连接设置有线束夹具(11)。
2.根据权利要求1所述的一种用于探针台耐高压低漏电的载物台，其特征在于：所述旋转台(1)顶端连接设置有四氟环(12)，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：高凯，王军，龙海洋，
申请(专利权)人：上海矽弼半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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