一种探针台载物台用水冷散热装置制造方法及图纸

本技术涉及探针台散热技术领域，尤其涉及一种探针台载物台用水冷散热装置。其技术方案包括：安装连接底座，所述安装连接底座上方安装有铝环，所述铝环内部设置有隔热板，所述隔热板上方设置有冷却分散盘，所述冷却分散盘的上方安装有水冷盘，所述水冷盘主体的上方设置有密封板，所述密封板的上方设置有散热陶瓷板，所述密封板与散热陶瓷板之间设置有连接隔板，所述散热陶瓷板上方设置有散热排气板。本技术整体结构简单，集成度高，空间占用小，通过水冷盘的设置可以对冷却水进行流动导向，同时通过进水槽和出水槽的设置使冷却水在导向流动后能够循环使用，从而大大降低了对探针台的冷却降温作业的投入成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及探针台散热，尤其涉及一种探针台载物台用水冷散热装置。

技术介绍

1、探针台是一种用于微电子器件测试和测量的设备。它通常由一个平台和多个微调探针组成。探针台的主要功能是将微型探针精确地接触到待测试的芯片或器件上的引脚或电极，以进行电性能测试、信号分析、射频测试等。

2、在探针台进行长时间测试作业时会产生热量和热造声，从而对测试的精准度造成干扰，现有技术中对探针台进行降温时，大多都是通过液氮冷却或通过制冷机进行冷却降温，该降温方式使得设备整体投入成本大大增加。为此，我们特提出一种探针台载物台用水冷散热装置。

技术实现思路

1、本技术的目的是针对
技术介绍
中存在的问题，提出一种探针台载物台用水冷散热装置。

2、本技术的技术方案：一种探针台载物台用水冷散热装置，包括安装连接底座，所述安装连接底座上方安装有铝环，所述铝环内部设置有隔热板，所述隔热板上方设置有冷却分散盘，所述冷却分散盘的上方安装有水冷盘，所述水冷盘包括水冷盘主体，所述水冷盘主体一侧分别开设有进水槽和出水槽，所述水冷盘主体上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针台载物台用水冷散热装置，包括安装连接底座(1)，其特征在于：所述安装连接底座(1)上方安装有铝环(2)，所述铝环(2)内部设置有隔热板(3)，所述隔热板(3)上方设置有冷却分散盘(4)，所述冷却分散盘(4)的上方安装有水冷盘(5)，所述水冷盘(5)包括水冷盘主体(51)，所述水冷盘主体(51)一侧分别开设有进水槽(52)和出水槽(53)，所述水冷盘主体(51)上方开设有水冷仓(54)，所述水冷仓(54)内安装有多组分隔导流环板(55)，所述水冷盘主体(51)的上方设置有密封板(6)，所述密封板(6)的上方设置有散热陶瓷板(7)，所述密封板(6)与散热陶瓷板(7)之间设置有连接...

【技术特征摘要】

1.一种探针台载物台用水冷散热装置，包括安装连接底座(1)，其特征在于：所述安装连接底座(1)上方安装有铝环(2)，所述铝环(2)内部设置有隔热板(3)，所述隔热板(3)上方设置有冷却分散盘(4)，所述冷却分散盘(4)的上方安装有水冷盘(5)，所述水冷盘(5)包括水冷盘主体(51)，所述水冷盘主体(51)一侧分别开设有进水槽(52)和出水槽(53)，所述水冷盘主体(51)上方开设有水冷仓(54)，所述水冷仓(54)内安装有多组分隔导流环板(55)，所述水冷盘主体(51)的上方设置有密封板(6)，所述密封板(6)的上方设置有散热陶瓷板(7)，所述密封板(6)与散热陶瓷板(7)之间设置有连接隔板(8)，所述散热陶瓷板(7)上方设置有散热排气板(9)。

2.根据权利要求1所述的一种探针台载物台用水冷散热装置，其特征在于，所述铝环(2)的下方与安装连接底座(1)的上方对应安装，所述安装连接底座(1)的上方位于铝环(2)的内圈设置有多组定位销(10)，所述隔热板(3)和冷却分散盘(4)上均开设有多组销孔(11)，所述定位销(10)的顶端与销孔(11)对应安装。

3.根据权利要求2所述的一种探针台载物台用水冷散热装置，其特征在于，所述水冷盘主体(51)上方安装有多组限位...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵连喜，韩浩，徐永念，
申请(专利权)人：上海矽弼半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：