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本技术涉及探针台散热技术领域，尤其涉及一种探针台载物台用水冷散热装置。其技术方案包括：安装连接底座，所述安装连接底座上方安装有铝环，所述铝环内部设置有隔热板，所述隔热板上方设置有冷却分散盘，所述冷却分散盘的上方安装有水冷盘，所述水冷盘主体的...
该专利属于上海矽弼半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海矽弼半导体科技有限公司授权不得商用。

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