【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及探针台，具体为一种探针台用水冷散热装置及其散热方法。
技术介绍
1、探针台是一种用于微电子器件测试和测量的设备。它通常由一个平台和多个微调探针组成。探针台的主要功能是将微型探针精确地接触到待测试的芯片或器件上的引脚或电极，以进行电性能测试、信号分析、射频测试等。
2、在探针台进行长时间测试作业时会产生热量和热噪声，从而对测试的精准度造成干扰，现有技术中对探针台进行降温时，大多都是通过液氮冷却或通过制冷机进行冷却降温，该降温方式使得设备整体投入成本大大增加，当只需要从高温降低到室温的时候，用水做制冷剂相对比液氮等制冷剂来说性价比更高，为此我们特提出一种探针台用水冷散热装置。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种探针台用水冷散热装置及其散热方法，解决了上述提出的问题。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种探针台用水冷散热装置，包括与气浮运动平台相连的旋转中轴和固定在旋转中轴上方的支撑底板，所述支撑底板的顶部通过...
【技术保护点】
1.一种探针台用水冷散热装置，包括与气浮运动平台相连的旋转中轴（1）和固定在旋转中轴（1）上方的支撑底板（2），其特征在于：所述支撑底板（2）的顶部通过四氟套管固定有云母层（3），所述云母层（3）的顶部安装有水冷盘（4），所述水冷盘（4）的上方固定连接有加热盘（5），所述加热盘（5）和水冷盘（4）接触处为导热材质，所述加热盘（5）的顶部安装有陶瓷（6），所述陶瓷（6）的上方设置有吸盘（7）；
2.根据权利要求1所述的一种探针台用水冷散热装置，其特征在于：漏水检测结构包括通过适配槽（20）插接在进水管道（8）和出水管道（10）上下的上方固定架（9）和下方固定...
【技术特征摘要】
1.一种探针台用水冷散热装置，包括与气浮运动平台相连的旋转中轴（1）和固定在旋转中轴（1）上方的支撑底板（2），其特征在于：所述支撑底板（2）的顶部通过四氟套管固定有云母层（3），所述云母层（3）的顶部安装有水冷盘（4），所述水冷盘（4）的上方固定连接有加热盘（5），所述加热盘（5）和水冷盘（4）接触处为导热材质，所述加热盘（5）的顶部安装有陶瓷（6），所述陶瓷（6）的上方设置有吸盘（7）；
2.根据权利要求1所述的一种探针台用水冷散热装置，其特征在于：漏水检测结构包括通过适配槽（20）插接在进水管道（8）和出水管道（10）上下的上方固定架（9）和下方固定架（11），所述下方固定架（11）的底部螺纹连接有与上方固定架（9）的内腔螺纹连接有的锁紧螺栓（12），所述上方固定架（9）内腔的顶部固定连接有位于进水管道（8）和出水管道（10）之间的湿度检测传感器（16）和套设在湿度检测传感器（16）上方的导流箱（13），所述导流箱（13）的两侧均开设有朝向湿度检测传感器（16）进气口的进气通道（14），所述导流箱（13）的底部开设有与湿度检测传感器（16）出气口连通的出气通道（17）。
3.根据权利要求2所述的一种探针台用水冷散热装置，其特征在于：所述进气通道（14）的内腔固定连接有抽风扇...
【专利技术属性】
技术研发人员：高凯，
申请(专利权)人：上海矽弼半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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