温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种探针台用水冷散热装置及其散热方法，包括与气浮运动平台相连的旋转中轴和固定在旋转中轴上方的支撑底板，本发明涉及探针台技术领域。该一种探针台用水冷散热装置及其散热方法，通过多个导向隔板均集成安装在水冷盘内从而大大减小了装置整体的体...
该专利属于上海矽弼半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海矽弼半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。