振动片和振子制造技术

本发明专利技术提供振动片和振子。利用振动片的正面和背面来配置配线，容易实现振动片的小型化。该振动片具有：下部电极（２１，２２，２３），其设置在振动臂（１１，１２，１３）的在厚度方向上相对的第１面（１６ａ）和第２面（１６ｂ）中的第１面（１６ａ）上；压电膜（３１，３２，３３），其形成在下部电极（２１，２２，２３）的上方；上部电极（５１，５２，５３），其形成在下部电极（２１，２２，２３）和压电膜（３１，３２，３３）的上方；配线（２８，５８），其与下部电极（２１，２２，２３）和上部电极（５１，５２，５３）连接，与上部电极（５１，５２，５３）连接的配线（５８）以围住振动臂（１１，１２，１３）的方式经由振动臂（１１，１２，１３）的侧面被引出至振动臂（１１，１２，１３）的第２面（１６ｂ）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有振动臂的振动片和振子。
技术介绍
在具有振动臂的振子中，公知有如下这样的振动片该振动片的振动臂不像弯曲 振动那样在面内进行振动，而是在振动臂的厚度方向进行振动。该振动片一般具有多个振 动臂，且进行行走模式(walk mode)振动，即，相邻的振动臂交替重复地进行相反方向的振 动。例如，在专利文献1中公开了一种利用行走模式振动的角速度传感器。该角速度 传感器具有由硅等形成的3个臂(振动臂)，在各个臂的一面上按这样的顺序形成有臂驱动 用的下层电极(下部电极)、压电薄膜(压电膜)以及上层电极(上部电极)。由这些下层 电极、压电薄膜以及上层电极形成压电元件，能够利用压电薄膜的逆压电效应来在振动片 的厚度方向上进行振动。而且，以使相邻的臂朝相反方向进行振动的方式来设定各电极的 极性。专利文献1日本特开2008-224627号公报在这样的振动片中，在一个面上配置有与下层电极和上层电极连接的配线，各个 配线以避免相互交叉的方式进行配置。因此，配线的配置复杂，而且需要较大的面积。并且，在专利文献1那样的结构中，特别是在要实现振动片的小型化的情况下，振 动片的面积减小，因而难以确保配线路径，难以实现振动片的小型化。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，可以作为以下方式或应用例 来实现。本应用例的振动片具有3个以上的振动臂以及连接所述振动臂的基 部，所述振动臂在厚度方向上振动，且相邻的所述振动臂朝彼此相反的方向振动，该振动片 的特征在于，具有下部电极，其设置在所述振动臂的在厚度方向上相对的第1面和第2面 中的所述第1面上；压电膜，其形成在所述下部电极的上方；上部电极，其形成在所述下部 电极和所述压电膜的上方；以及配线，其与所述下部电极和所述上部电极连接，与所述上部 电极连接的配线以围住所述振动臂的方式，经由所述振动臂的侧面而被引出至所述振动臂 的所述第2面。根据该结构，与上部电极连接的配线以围住振动臂的方式，从振动臂的第1面经 由振动臂的侧面而被引出至振动臂的第2面。这样，通过从振动臂的第1面向作为其背面的第2面引出配线，能够容易地将配线 引出至背面。而且，由于能够将振动片的正面和背面均用于配线的配置，因而扩大了能够配 置配线的面积，增加了配线的配置自由度。并且，即使在有限的空间中也能够实现配线的配 置，能够实现振动片的小型化。在上述应用例的振动片中，优选的是，在所述基部的端部形成有与所 述配线连接的安装电极。 根据该结构，在振动片的基部的端部形成有与配线连接的安装电极，能够经由该 安装电极实现与上部电极和下部电极的电导通。另外，通过使用导电粘结剂等将振动片固 定在安装电极部分上，能够用悬臂结构来保持振动片，能够良好地实现振动片的特性。在上述应用例的振动片中，优选的是，所述基部的厚度形成得比所述 振动臂的厚度厚，将所述振动臂与所述基部连接起来的所述基部的一部分形成为，其厚度 从所述振动臂朝向所述基部连续地变厚。根据该结构，在基部的厚度形成得比振动臂的厚度厚的振动片中，基部的一部分 形成为，其厚度从振动臂朝向基部的端部连续地变厚。基部的与振动臂之间的连接部分形 成为斜面状，从振动臂引出至基部的配线经过该斜面而与安装电极等连接。对于那种在不形成斜面部的情况下将振动臂与基部连接的情况而言，会在振动臂 与基部的边界处产生台阶。而在本应用例中，由于在连接部分具有斜面部，因而与在台阶处 配线发生交叉的情况相比，不会出现配线交叉成锐角的棱角的情况，能够防止该部分处的 配线的断线。并且，由于在振动臂与基部的连接部分不存在台阶，因此，在使用光刻技术来 形成配线的情况下，能够可靠地进行抗蚀剂的曝光，能够在不发生配线断线的情况下容易 地形成配线。本应用例的振动片具有3个以上的振动臂以及连接所述振动臂的基 部，所述振动臂在厚度方向上振动，且相邻的所述振动臂朝彼此相反的方向振动，该振动片 的特征在于，具有下部电极，其设置在所述振动臂的在厚度方向上相对的第1面和第2面 中的所述第1面上；压电膜，其形成在所述下部电极的上方；上部电极，其形成在所述下部 电极和所述压电膜的上方；以及配线，其与所述下部电极和所述上部电极连接，与所述下部 电极连接的配线以围住所述振动臂的方式，经由所述振动臂的侧面而被引出至所述振动臂 的所述第2面。根据该结构，与下部电极连接的配线以围住振动臂的方式，从振动臂的第1面经 由振动臂的侧面而被引出至振动臂的第2面。这样，通过从振动臂的第1面向作为其背面的第2面引出配线，能够容易地将配线 引出至背面。而且，由于能够将振动片的正面和背面均用于配线的配置，因而扩大了能够配 置配线的面积，增加了配线的配置自由度。并且，即使在有限的空间中也能够实现配线的配 置，能够实现振动片的小型化。在上述应用例的振动片中，优选的是，在所述基部的端部形成有与所 述配线连接的安装电极。根据该结构，在振动片的基部的端部形成有与配线连接的安装电极，能够经由该 安装电极实现与上部电极和下部电极的电导通。另外，通过使用导电粘结剂等将振动片固 定在安装电极部分上，能够用悬臂结构来保持振动片，能够良好地实现振动片的特性。在上述应用例的振动片中，优选的是，所述基部的厚度形成得比所述 振动臂的厚度厚，将所述振动臂与所述基部连接起来的所述基部的一部分形成为，其厚度 从所述振动臂朝向所述基部连续地变厚。根据该结构，在基部的厚度形成得比振动臂的厚度厚的振动片中，基部的一部分形成为，其厚度从振动臂朝向基部的端部连续地变厚。基部的与振动臂之间的连接部分形成为斜面状，从振动臂引出至基部的配线经过该斜面而与安装电极等连接。对于那种在不形成斜面部的情况下将振动臂与基部连接的情况而言，会在振动臂 与基部的边界处产生台阶。而在本应用例中，由于在连接部分具有斜面部，因而与在台阶处 配线发生交叉的情况相比，不会出现配线交叉成锐角的棱角的情况，能够防止该部分处的 配线的断线。并且，由于在振动臂与基部的连接部分不存在台阶，因此，在使用光刻技术来 形成配线的情况下，能够可靠地进行抗蚀剂的曝光，能够在不发生配线断线的情况下容易 地形成配线。本应用例的振子的特征在于，该振子具有上述记载的振动片和收纳所 述振动片的收容器，所述振动片被气密地收容在所述收容器内。根据该结构，由于上述振动片被收容在收容器内，因而能够使振动片小型化，能够 提供小型的振子。附图说明图1是示出第1实施方式中的振动片的结构的概略平面图。图2是示出第1实施方式中的振动片的结构的图1背面的概略平面图。图3是示出第1实施方式中的压电元件的结构的概略剖面图。图4是示出第1实施方式中的振动片的结构的沿图1中B-B线的概略剖面图。图5示出了与下部电极连接的配线，(a)是正面的概略平面图，(b)是背面的概略 平面图。图6示出了与上部电极连接的配线，(a)是正面的概略平面图，(b)是背面的概略 平面图。图7是说明第1实施方式中的振动片的动作的示意图。图8是示出第1实施方式的基部的厚度形成得比振动臂的厚度厚的振动片的变形 例的概略剖面图。图9是示出第2实施方式中的振动片的结构的概略平面图。图10是示出第2实施方式中的振动片的结构的图9背面的概略平面图。图11是示出第2实施方式中的压电元件的结构的概略剖面图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动片，该振动片具有３个以上的振动臂以及连接所述振动臂的基部，所述振动臂在厚度方向上振动，且相邻的所述振动臂朝彼此相反的方向振动，该振动片的特征在于，具有：下部电极，其设置在所述振动臂的在厚度方向上相对的第１面和第２面中的所述第１面上；压电膜，其形成在所述下部电极的上方；上部电极，其形成在所述下部电极和所述压电膜的上方；以及配线，其与所述下部电极和所述上部电极连接，与所述上部电极连接的配线以围住所述振动臂的方式，经由所述振动臂的侧面而被引出至所述振动臂的所述第２面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：石井昌宏，舟川刚夫，
申请(专利权)人：爱普生拓优科梦株式会社，精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]