振动片和振子制造技术

本发明专利技术提供振动片和振子。利用振动片的正面和背面来配置配线，容易实现振动片的小型化。该振动片具有：下部电极（２１，２２，２３），其设置在振动臂（１１，１２，１３）的在厚度方向上相对的第１面（１６ａ）和第２面（１６ｂ）中的第１面（１６ａ）上；压电膜（３１，３２，３３），其形成在下部电极（２１，２２，２３）的上方；上部电极（５１，５２，５３），其形成在下部电极（２１，２２，２３）和压电膜（３１，３２，３３）的上方；配线（２８，５８），其与下部电极（２１，２２，２３）和上部电极（５１，５２，５３）连接，与上部电极（５１，５２，５３）连接的配线（５８）以围住振动臂（１１，１２，１３）的方式经由振动臂（１１，１２，１３）的侧面被引出至振动臂（１１，１２，１３）的第２面（１６ｂ）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有振动臂的振动片和振子。
技术介绍
在具有振动臂的振子中，公知有如下这样的振动片该振动片的振动臂不像弯曲 振动那样在面内进行振动，而是在振动臂的厚度方向进行振动。该振动片一般具有多个振 动臂，且进行行走模式(walk mode)振动，即，相邻的振动臂交替重复地进行相反方向的振 动。例如，在专利文献1中公开了一种利用行走模式振动的角速度传感器。该角速度 传感器具有由硅等形成的3个臂(振动臂)，在各个臂的一面上按这样的顺序形成有臂驱动 用的下层电极(下部电极)、压电薄膜(压电膜)以及上层电极(上部电极)。由这些下层 电极、压电薄膜以及上层电极形成压电元件，能够利用压电薄膜的逆压电效应来在振动片 的厚度方向上进行振动。而且，以使相邻的臂朝相反方向进行振动的方式来设定各电极的 极性。专利文献1日本特开2008-224627号公报在这样的振动片中，在一个面上配置有与下层电极和上层电极连接的配线，各个 配线以避免相互交叉的方式进行配置。因此，配线的配置复杂，而且需要较大的面积。并且，在专利文献1那样的结构中，特别是在要实现振动片的小型化的情况下，振 动片的面积减小，因而难以确本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动片，该振动片具有３个以上的振动臂以及连接所述振动臂的基部，所述振动臂在厚度方向上振动，且相邻的所述振动臂朝彼此相反的方向振动，该振动片的特征在于，具有：下部电极，其设置在所述振动臂的在厚度方向上相对的第１面和第２面中的所述第１面上；压电膜，其形成在所述下部电极的上方；上部电极，其形成在所述下部电极和所述压电膜的上方；以及配线，其与所述下部电极和所述上部电极连接，与所述上部电极连接的配线以围住所述振动臂的方式，经由所述振动臂的侧面而被引出至所述振动臂的所述第２面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：石井昌宏，舟川刚夫，
申请(专利权)人：爱普生拓优科梦株式会社，精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]