水冷电极和高温炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种水冷电极和应用该水冷电极的高温炉，所述水冷电极包括电极和支撑座，所述电极包括第一段和第二段，所述第一段适于与石墨加热器相连，所述第二段适于与电缆相连；所述支撑座套设于所述第一段的外周侧，所述支撑座内设有第一冷却通道，所述第一冷却通道沿所述电极的周向延伸，并适于供冷却液流通以冷却所述第一段。本实用新型专利技术实施例的水冷电极具有冷却效率较高的优点。水冷电极具有冷却效率较高的优点。水冷电极具有冷却效率较高的优点。

【技术实现步骤摘要】
水冷电极和高温炉


[0001]本技术涉及半导体制备设备
，具体地，涉及一种水冷电极和应用该水冷电极的高温炉。

技术介绍

[0002]SiC高温炉的炉体内工作温度在1200℃以上，短时间内可达到2000℃，目前此类高温炉采用石墨电阻加热，通过电流的热效应对石墨电阻进行加热，从而使炉体内温度升高。相关技术中的水冷电极的冷却效果不高。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术的实施例提出一种水冷电极，该水冷电极具有冷却效率较高的优点。
[0004]本技术的实施例还提出一种高温炉。
[0005]本技术实施例的水冷电极包括电极，所述电极包括第一段和第二段，所述第一段适于与石墨加热器相连，所述第二段适于与电缆相连；支撑座，所述支撑座套设于所述第一段的外周侧，所述支撑座内设有第一冷却通道，所述第一冷却通道沿所述电极的周向延伸，并适于供冷却液流通以冷却所述第一段。
[0006]本技术实施例的水冷电极具有冷却效率较高的优点。
[0007]在一些实施例中，所述第二段内设有第二冷却通道，所述第二冷却通道沿所述电极的长度方向延伸，且所述第二冷却通道的进液端和排液端都设于所述第二段背离所述第一段的一端，所述第二冷却通道适于供冷却液流通以冷却所述第二段。
[0008]在一些实施例中，所述第一冷却通道的宽度尺寸和所述第二冷却通道的长度尺寸之和大于或等于所述电极的长度尺寸。
[0009]在一些实施例中，所述水冷电极包括端盖，所述端盖设有进液管和排液管，所述端盖与所述电极密封连接，且所述进液管与所述第二冷却通道的一端连通，所述排液管与所述第二冷却通道的另一端连通。
[0010]在一些实施例中，所述电极内设有长孔，所述长孔沿所述电极的长度方向延伸，所述端盖包括导流管，所述导流管装配于所述长孔内，所述导流管的外壁与所述长孔内壁之间具有环形间隙，所述导流管的一端与所述长孔的孔底之间具有间隙，且所述导流管远离所述孔底的一端的内腔与所述排液管相连，所述环形间隙远离所述孔底的一端与所述进液管相连。
[0011]在一些实施例中，所述第一冷却通道与所述第二冷却通道相连，以供冷却液在所述第一冷却通道与所述第二冷却通道之间流通。
[0012]在一些实施例中，所述水冷电极包括壳体，所述壳体套设于至少部分所述第二段的外周侧并沿所述电极的长度方向延伸，所述壳体包括第一腔和第二腔，所述端盖设于所述第一腔内，所述第二段设有连接件，以供所述电缆和所述第二段连接，所述连接件位于所
述第二腔内。
[0013]在一些实施例中，所述壳体内设有环形凸缘，所述环形凸缘的内缘与所述电极外壁之间设有第一密封圈，以在所述环形凸缘的两侧密封分隔形成所述第一腔和所述第二腔。
[0014]在一些实施例中，所述壳体靠近所述支撑座的一端设有多个密封圈，所述密封圈的内缘与所述电极的外周壁密封相连。
[0015]本技术实施例的高温炉包括炉体和水冷电极，所述水冷电极可以为上述任一实施例中所述的水冷电极，所述水冷电极设于所述炉体的内壁。
附图说明
[0016]图1是本技术实施例的水冷电极的结构示意图。
[0017]图2是本技术实施例的水冷电极的剖视示意图。
[0018]附图标记：
[0019]电极1；第一段11；第二段12；长孔121；连接件122；
[0020]端盖2；进液管21；排液管22；导流管23；
[0021]支撑座3；第一冷却通道31；
[0022]壳体4；第一腔41；第二腔42；密封圈43。
具体实施方式
[0023]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0024]本技术实施例的水冷电极包括电极1和支撑座3。
[0025]电极1包括第一段11和第二段12，第一段11适于与石墨加热器相连，第二段12适于与电缆相连。
[0026]具体地，电极1为圆柱状，电极1沿竖直方向延伸，第一段11的直径小于第二段12的直径，第一段11位于第二段12的下端，第一段11的下端与石墨加热器连接，第二段12的外壁与电缆相连，电极1为导体，可将电缆的中的电流输送至石墨加热器中，石墨加热器产生焦耳热，从而对炉体的炉腔进行加热。
[0027]支撑座3套设于第一段11的外周侧，支撑座3内设有第一冷却通道31，第一冷却通道31沿电极1的周向延伸，并适于供冷却液流通以冷却第一段11。
[0028]具体地，支撑座3套设于第一段11的外周侧，以支撑电极1的下端部，支撑座3为环形结构，且支撑座3内设有沿电极1的第一部的周向延伸的第一冷却通道31，第一冷却通道31内可供冷却液流动，当冷却液在第一冷却通道31内流动时，冷却液与支撑座3进行换热，将支撑座3内的热量带出第一冷却通道31，使支撑座3降温，进而对第一段11进行冷却。
[0029]本技术实施例的水冷电极设有带有第一冷却通道31的支撑座3，且支撑座3套设在电极1的第一段11的外周侧，以对电极1的第一段11进行降温散热，从而提高了电极1与石墨加热器连接处的散热效率，进而能够防止电极1与石墨加热器连接处受热不均匀引起故障，从而使本技术实施例的水冷电极具有冷却效率较高的优点。
[0030]在一些实施例中，第二段12内设有第二冷却通道，第二冷却通道沿电极1的长度方向延伸，且第二冷却通道的进液端和排液端都设于第二段12背离第一段11的一端，第二冷却通道适于供冷却液流通以冷却第二段12。
[0031]具体地，第二段12位于第一段11的上端，且第二段12沿竖直方向延伸，第二冷却通道位于第二段12内，且第二冷却通道沿竖直方向延伸，第二冷却通道具有进液端和排液端，进液端和排液端都位于第二段12的上端，第二冷却通道从第二段12的上端延伸至第二段12的下端，以供冷却液在第二段12内流动，以对第二段12进行冷却。
[0032]由此，第一冷却通道31供冷却液在第一段11内流动以对第一段11进行散热，第二冷却通道供冷却液在第二段12内流动以对第二段12进行散热，从而能够在电极1工作的同时对第一段11和第二段12进行散热，使电极1整体都处于额定温度以下，使本技术实施例的水冷电极具有较高的冷却效率。
[0033]在一些实施例中，第一冷却通道31的宽度尺寸和第二冷却通道的长度尺寸之和大于或等于电极1的长度尺寸。
[0034]具体地，第一冷却通道31的宽度尺寸为第一冷却通道31的内腔在上下方向上的尺寸，第二冷却通道的长度尺寸为第二冷却通道的最下端与第二段12的上端的间距，电极1的长度尺寸为电极1的上端和电极1的下端的间距。
[0035]由此，第一冷却通道31的宽度尺寸和第二冷却通道的长度尺寸之和大于或等于电极1的长度尺寸，使第一冷却通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水冷电极，其特征在于，包括：电极，所述电极包括第一段和第二段，所述第一段适于与石墨加热器相连，所述第二段适于与电缆相连；支撑座，所述支撑座套设于所述第一段的外周侧，所述支撑座内设有第一冷却通道，所述第一冷却通道沿所述电极的周向延伸，并适于供冷却液流通以冷却所述第一段；所述第二段内设有第二冷却通道，所述第二冷却通道沿所述电极的长度方向延伸，且所述第二冷却通道的进液端和排液端都设于所述第二段背离所述第一段的一端，所述第二冷却通道适于供冷却液流通以冷却所述第二段。2.根据权利要求1所述的水冷电极，其特征在于，所述第一冷却通道的宽度尺寸和所述第二冷却通道的长度尺寸之和大于或等于所述电极的长度尺寸。3.根据权利要求1所述的水冷电极，其特征在于，包括端盖，所述端盖设有进液管和排液管，所述端盖与所述电极密封连接，且所述进液管与所述第二冷却通道的一端连通，所述排液管与所述第二冷却通道的另一端连通。4.根据权利要求3所述的水冷电极，其特征在于，所述电极内设有长孔，所述长孔沿所述电极的长度方向延伸，所述端盖包括导流管，所述导流管装配于所述长孔内，所述导流管的外壁与所述长孔内壁之间具有环形间隙，所述导流管的一端与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，孙菁阳，曹建伟，朱亮，陈聪，刘毅，
申请(专利权)人：浙江求是半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：