温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种水冷电极和应用该水冷电极的高温炉，所述水冷电极包括电极和支撑座，所述电极包括第一段和第二段，所述第一段适于与石墨加热器相连，所述第二段适于与电缆相连；所述支撑座套设于所述第一段的外周侧，所述支撑座内设有第一冷却通道，所述...
该专利属于浙江求是半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江求是半导体设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。