一种半导体产品的生产实验管理方法、系统及电子设备技术方案

本申请公开了一种半导体产品的生产实验管理方法、系统及电子设备，用以提高半导体产品的生产实验效率、准确性，节约大量人力、物力成本。本申请提供的方法，包括：通过第一系统，获取并保存用户设置的关于半导体产品的生产实验信息，并触发第二系统提取所述生产实验信息；通过所述第二系统，提取所述生产实验信息，并根据所述生产实验信息生成实验路径，以及确定需要执行所述实验路径的晶圆；当满足预设条件时，所述晶圆执行所述实验路径。所述晶圆执行所述实验路径。所述晶圆执行所述实验路径。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体产品的生产实验管理方法、系统及电子设备


[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种半导体产品的生产实验管理方法、系统及电子设备。

技术介绍

[0002]规格管理系统(Specification Manager，简称SM)，是针对制程流程规则的设定、基本参数设置的系统。制造执行系统(Manufacturing Execution System，简称MES)、物料管理系统(Material Manager，简称MM)，会根据规格管理系统(Specification Manager，简称SM)中设定的数据、规则进行自动化运作。
[0003]当前工程实验需求多样化，不同产品实验需手动建立很多条路径(Route)，且建立实验路径的作业流程耗时过久，需要跨部门协作，但是跨部门协作过程易造成错误，影响研发效率。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供了一种半导体产品的生产实验管理方法、系统及电子设备，用以提高半导体产品的生产实验效率、准确性，节约大量人力、物力成本。
[0005]本申请实施例提供的一种半导体产品的生产实验管理方法，包括：
[0006]通过第一系统，获取并保存用户设置的关于半导体产品的生产实验信息，并触发第二系统提取所述生产实验信息；
[0007]通过所述第二系统，提取所述生产实验信息，并根据所述生产实验信息生成实验路径，以及确定需要执行所述实验路径的晶圆；当满足预设条件时，所述晶圆执行所述实验路径。
[0008]本申请实施例中，通过第一系统，获取并保存用户设置的关于半导体产品的生产实验信息，并触发第二系统提取所述生产实验信息；然后，通过所述第二系统，提取所述生产实验信息，并根据所述生产实验信息生成实验路径，以及确定需要执行所述实验路径的晶圆；当满足预设条件时，所述晶圆执行所述实验路径，从而通过系统使得用户经由一次性设定后，自动生成实验路径，自动完成晶圆执行所述实验路径的实验过程，达到工程实验自动化的目的，因此提高了半导体产品的生产实验效率、准确性，节约了大量人力、物力成本。
[0009]在一些实施例中，通过第一系统，获取并保存用户设置的关于半导体产品的生产实验信息，并触发第二系统提取所述生产实验信息，包括：
[0010]通过第一系统提供的用户界面，获取用户设置的关于半导体产品的生产实验信息；根据所述生产实验信息，生成实验任务单号，并将所述生产实验信息及对应的实验任务单号保存到第一数据库中，以及将当前需要执行的实验任务单号发送给第二系统。
[0011]在一些实施例中，通过所述第二系统，提取所述生产实验信息，根据所述生产实验信息生成实验路径，以及确定需要执行所述实验路径的晶圆，包括：
[0012]所述第二系统基于所述当前需要执行的实验任务单号，从所述第一数据库中获取
所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息；根据所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息，生成实验路径，以及确定需要执行所述实验路径的晶圆。
[0013]在一些实施例中，所述第二系统基于所述当前需要执行的实验任务单号，从所述第一数据库中获取所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息，包括：
[0014]通过所述第二系统中的网页服务模块，获取所述第一系统发送的所述当前需要执行的实验任务单号，并基于所述当前需要执行的实验任务单号，从所述第一数据库中获取所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息；以及，将所述当前需要执行的实验任务单号及对应的生产实验信息保存到第二数据库中；并将所述当前需要执行的实验任务单号发送给所述第二系统中的监控模块。
[0015]在一些实施例中，根据所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息，生成实验路径，以及确定需要执行所述实验路径的晶圆，包括：
[0016]通过所述第二系统中的监控模块，基于所述当前需要执行的实验任务单号，从所述第二数据库中获取所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息，以及根据所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息，生成实验路径，以及确定需要执行该实验路径的晶圆。
[0017]在一些实施例中，所述当满足预设条件时，所述晶圆执行所述实验路径，包括：
[0018]通过所述监控模块，通知所述实验路径对应的审核模块进行审核，当所述审核模块审核通过时，所述晶圆执行所述实验路径。
[0019]在一些实施例中，所述实验路径上的每一站点对应一审核模块，当所述实验路径上的每一站点对应的审核模块均审核通过时，所述晶圆执行所述实验路径。
[0020]在一些实施例中，当存在至少一个审核模块未审核通过时，通过所述第二系统的监控模块将未审核通过的信息发送至所述第一系统的用户界面，并获取用户重新设置的关于半导体产品的生产实验信息。
[0021]在一些实施例中，该方法还包括：
[0022]通过所述第二系统中的视觉化模块，根据所述晶圆执行所述实验路径的执行过程以及执行结果，生成可视化界面；所述可视化界面通过所述第一系统的用户界面提供给用户终端。
[0023]在一些实施例中，该方法还包括：
[0024]当执行完所述实验路径时，删除与所述实验路径相关的信息。
[0025]在一些实施例中，所述生产实验信息包括：实验路径信息、以及需要执行待生成的实验路径的晶圆信息，所述实验路径信息包括实验路径的站点信息。
[0026]本申请实施例提供的一种半导体产品的生产实验管理系统，包括：
[0027]第一系统，用于获取并保存用户设置的关于半导体产品的生产实验信息，并触发第二系统提取所述生产实验信息；
[0028]第二系统，用于提取所述生产实验信息，并根据所述生产实验信息生成实验路径，以及确定需要执行所述实验路径的晶圆；当满足预设条件时，所述晶圆执行所述实验路径。
[0029]本申请另一实施例提供了一种电子设备，其包括存储器和处理器，其中，所述存储器用于存储程序指令，所述处理器用于调用所述存储器中存储的程序指令，按照获得的程序执行上述任一种方法。
[0030]此外，根据实施例，例如提供了一种用于计算机的计算机程序产品，其包括软件代码部分，当所述产品在计算机上运行时，这些软件代码部分用于执行上述所定义的方法的步骤。该计算机程序产品可以包括在其上存储有软件代码部分的计算机可读介质。此外，该计算机程序产品可以通过上传过程、下载过程和推送过程中的至少一个经由网络直接加载到计算机的内部存储器中和/或发送。
[0031]本申请另一实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令，所述计算机可执行指令用于使所述计算机执行上述任一种方法。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体产品的生产实验管理方法，其特征在于，该方法包括：通过第一系统，获取并保存用户设置的关于半导体产品的生产实验信息，并触发第二系统提取所述生产实验信息；通过所述第二系统，提取所述生产实验信息，并根据所述生产实验信息生成实验路径，以及确定需要执行所述实验路径的晶圆；当满足预设条件时，所述晶圆执行所述实验路径。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过第一系统，获取并保存用户设置的关于半导体产品的生产实验信息，并触发第二系统提取所述生产实验信息，包括：通过第一系统提供的用户界面，获取用户设置的关于半导体产品的生产实验信息；根据所述生产实验信息，生成实验任务单号，并将所述生产实验信息及对应的实验任务单号保存到第一数据库中，以及将当前需要执行的实验任务单号发送给第二系统。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，通过所述第二系统，提取所述生产实验信息，根据所述生产实验信息生成实验路径，以及确定需要执行所述实验路径的晶圆，包括：所述第二系统基于所述当前需要执行的实验任务单号，从所述第一数据库中获取所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息；根据所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息，生成实验路径，以及确定需要执行所述实验路径的晶圆。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第二系统基于所述当前需要执行的实验任务单号，从所述第一数据库中获取所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息，包括：通过所述第二系统中的网页服务模块，获取所述第一系统发送的所述当前需要执行的实验任务单号，并基于所述当前需要执行的实验任务单号，从所述第一数据库中获取所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息；以及，将所述当前需要执行的实验任务单号及对应的生产实验信息保存到第二数据库中；并将所述当前需要执行的实验任务单号发送给所述第二系统中的监控模块。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，根据所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息，生成实验路径，以及确定需要执行所述实验路径的晶圆，包括：通过所述第二系统中的监控模块，基于所述当前需要执行的实验任务单号，从所述第二数据库中获取所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息，以及根据所述当前需要执行的实验任务单号对应的生产实验信息，生成实验...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄金晓，郭宏智，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：