【技术实现步骤摘要】
一种提升管材硬度的方法
[0001]本专利技术涉及材料处理领域,具体涉及一种提升管材硬度的方法。
技术介绍
[0002]目前,靶材主要分为平面靶和管靶。与平面靶相比,管靶具有利用率高,镀膜成分均匀等特点,是溅射镀膜领域的标准选材。
[0003]如CN201722424U公开了一种管靶材组件,其包括:两端具有螺纹的铝或铝合金管靶材;带螺纹的连接接头,与所述铝或铝合金管靶材通过螺纹进行连接。此外,所述管靶材组件还包括密封圈;所述密封圈材质可以为耐高温的橡胶或树脂,且所述密封圈可以具有金属骨架。另外,所述连接接头材料选自铝基合金或铁基合金。本技术通过螺纹连接构成管靶材组件,可以循环再利用所述连接接头,降低成本,节约资源,解决了以往连接接头无法循环利用造成资源浪费的问题。而且,本技术操作简单,并能使所述管靶材与所述连接接头牢固地连接在一起。
[0004]CN212128289U公开了一种旋转管靶材,包括内衬管、标记杆和靶材本体,所述内衬管的端部设置有螺纹件,且内衬管与螺纹件之间为焊接连接,并且螺纹件的外侧连接有防护盖,所述防护盖的边侧设置有固定块,且固定块的内部设置有弹簧,所述弹簧的端部连接有卡杆,且卡杆的端部连接有卡槽,所述标记杆贯穿于固定块的内部,且固定块与标记杆之间为活动连接,所述内衬管的另一端开设有第一连接槽,且第一连接槽的内部设置有固定杆。该旋转管靶材设置有内衬管,不使用时可安装防护盖对内衬管进行保护,在靶材与设备连接处采用不锈钢管通过螺纹方式与设备连接,降低了成本,设置密封圈能够保证加工时的密封性 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种提升管材硬度的方法,其特征在于,所述方法包括:将锭材经第一热处理后进行锻伸,得到坯料;将所得坯料进行第二热处理后进行挤压,得到过渡管材;将所得过渡管材依次进行第一拉拔、第二拉拔、第三拉拔和第四拉拔,得到硬度提升的管材。2.如权利要求1所述方法,其特征在于,所述锭材包括纯铜锭材或铜合金锭材。3.如权利要求1或2所述方法,其特征在于,所述第一热处理的温度为700
‑
800℃;优选地,所述第一热处理的时间为3
‑
4h。4.如权利要求1
‑
3任一项所述方法,其特征在于,所述锻伸包括依次的进行的第一锻伸、第二锻伸和第三锻伸。5.如权利要求4所述方法,其特征在于,所述第一锻伸为将目标的长度缩短至锭材长度的55
‑
60%;优选地,所述第二锻伸为将目标的长度拉伸至第一锻伸所得材料长度的115
‑
125%;优选地,所述第三锻伸为将目标的长度缩短至第二锻伸所得材料长度的60
‑
70%。6.如权利要求1
‑
5任一项所述方法,其特征在于,所述第二热处理的保温温度为700
‑
800℃;优选地,所述第二热处理升温至保温温度即开始挤压。7.如权利要求1
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6任一项所述方法,其特征在于,所述挤压中的挤压力为3000
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4000t;优选地,所述挤压中的挤压速率为4
‑
5mm/s。8.如权利要求1
‑
7任一项所述方法,其特征在于,所述第一拉拔的方式为冷拔;优选地,所述第一拉拔中将壁厚进行减薄,变形量为7
‑
9%,以过渡管材的壁厚为基准;优选地,所述第二拉拔的方式为冷拔;优选地,所述第二拉拔中将壁厚进行减薄,变形量为4
‑
6%,以第一拉拔所得管材的壁厚为基准。9.如权利要求1
‑
8任一项所述方法,其特征在于,所述第三拉拔的方式为冷拔;优选地...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚力军,潘杰,孙明亮,陈勇军,周友平,
申请(专利权)人:宁波江丰电子材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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