本实用新型专利技术提供了一种晶圆运送机构，包括：运送车，所述运送车的一侧固定安装有把手，所述运送车的顶面开设有放置槽，所述放置槽的内部设置有放置板，所述放置板的顶面开设有若干个活动槽；防护组件，所述防护组件设置在所述放置板的上方，用于对晶圆运送过程中进行防护，放置板设置在放置槽的内部，进而可以将晶圆放置在放置板上，使得防护组件对晶圆进行防护，当需要将晶圆进行放置时，先移动两个移动块，然后将晶圆放置在橡胶块上，松开移动块，使得移动块受到第一弹簧的弹力进行复位，使得两个固定块对晶圆进行夹持固定，通过第二弹簧使得固定块在对晶圆进行固定时进行缓冲，固定完成后，可以使得晶圆在运送过程中，加强磕碰防护。护。护。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆运送机构
[0001]本技术涉及晶圆运输领域，尤其涉及一种晶圆运送机构。
技术介绍
[0002]晶圆在车间内进行生产加工的过程中，往往需要将晶圆在车间内进行运送，而晶圆由于自身特性，在发生碰撞时极易受损，影响晶圆的品质。
[0003]根据公开号为：CN215244913U的中国专利，一种半导体晶圆运送装置，包括运送车体，运送车体顶面具有位于后部的后储物槽、位于前部的前储物槽以及围合后储物槽且围合开口朝向运送车体前方的围板，围板内设置有至少一块置物板；运送车体具有小L型储物仓、大L型储物仓及设备仓，小L型储物仓的仓口位于后储物槽与前储物槽之间，大L型储物仓的仓口位于运送车体的前侧，小L型储物仓与大L型储物仓层叠设置，设备仓位于大L型储物仓下方；设备仓内设置有风机，风机的出风口对接有导风主管线，导风主管线引出两条分别导通小L型储物仓及大L型储物仓的导风支管线。
[0004]上述方案仍存在如下缺点：此晶圆运送机构在使用的过程中，通过小L型储物仓、大L型储物仓及设备仓对晶圆进行储存，进而在运送的过程中未对晶圆进行固定，从而在运送过程中防护性较差，为此我们提出了一种晶圆运送机构。
技术实现思路
[0005]本技术旨在提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种晶圆运送机构，以解决晶圆运送机构在使用的过程中，通过小L型储物仓、大L型储物仓及设备仓对晶圆进行储存，进而在运送的过程中未对晶圆进行固定，从而在运送过程中防护性较差问题。
[0006]为达到上述目的，本技术的技术方案具体是这样实现的：
[0007]本技术的提供了一种晶圆运送机构，包括：运送车，所述运送车的一侧固定安装有把手，所述运送车的顶面开设有放置槽，所述放置槽的内部设置有放置板，所述放置板的顶面开设有若干个活动槽，防护组件，所述防护组件设置在所述放置板的上方，用于对晶圆运送过程中进行防护。
[0008]通过采用上述技术方案，通过设置放置板，放置板设置在放置槽的内部，进而可以将晶圆放置在放置板上，使得防护组件对晶圆进行防护。
[0009]作为本技术进一步的方案，所述防护组件包括：橡胶块，所述橡胶块固定安装在所述活动槽的内部底面，所述活动槽的内部设置有两个移动块，所述移动块的一侧固定安装有第一弹簧，所述移动块的一侧设置有限位柱，所述限位柱的外圆壁面活动套设有第二弹簧，所述第二弹簧的一端与所述移动块的一侧固定安装，所述第二弹簧的另一端固定安装有固定块，所述固定块的一侧与所述限位柱的一端固定安装。
[0010]通过采用上述技术方案，通过设置固定块，固定块与第二弹簧固定安装，当需要将晶圆进行放置时，先移动两个移动块，然后将晶圆放置在橡胶块上，随后松开移动块，使得
移动块受到第一弹簧的弹力进行复位，进而使得两个固定块对晶圆进行夹持固定，通过第二弹簧使得固定块在对晶圆进行固定时进行缓冲，固定完成后，可以使得晶圆在运送过程中，加强磕碰防护。
[0011]作为本技术进一步的方案，所述防护组件还包括：两个滑动块，两个所述滑动块分别固定安装在所述移动块的两侧，所述移动块的一侧开设有限位槽，所述限位槽的内圆壁面与所述限位柱的外圆壁面活动套设，所述放置板的顶面开设有若干个容纳槽，所述容纳槽与所述活动槽相连通，所述容纳槽的内壁面与所述移动块活动套设，所述容纳槽的内壁面与所述第一弹簧的一端固定安装，所述容纳槽的内壁面两侧均开设有滑动槽，所述滑动槽与所述滑动块滑动卡接。
[0012]通过采用上述技术方案，通过设置滑动块，滑动块与滑动槽滑动卡接，进而当工作人员对移动块进行移动时，通过滑动块对移动块进行限位，从而避免移动块受到第一弹簧的弹力产生偏移。
[0013]作为本技术进一步的方案，所述放置板的两侧均固定安装有卡接块，所述运送车的顶面开设有两个卡接槽，所述卡接槽与所述放置槽相连通，所述卡接槽与所述卡接块可拆卸的卡接。
[0014]通过采用上述技术方案，通过设置卡接块，卡接块与卡接槽可拆卸的卡接，进而当工作人员将放置板放置在放置槽的内部后，可以通过卡接块对放置板进行限位。
[0015]作为本技术进一步的方案，所述运送车的两侧均开设有连接孔，所述连接孔与所述卡接槽相连通，所述卡接块的一侧开设有固定槽，所述固定槽与所述连接孔相对应，所述连接孔的内圆壁面活动套设有固定柱，所述固定柱的外圆壁面与所述固定槽的内圆壁面活动套设。
[0016]通过采用上述技术方案，通过设置固定柱，固定柱与固定槽活动套设，进而当工作人员将放置板进行放置后，使得卡接块与卡接槽可拆卸的卡接，通过固定柱可以对放置板进行限位固定，进而便于工作人员进行固定。
[0017]作为本技术进一步的方案，所述运送车的两侧均固定安装有安装块，所述固定柱的外圆壁面固定套设有安装环，所述固定柱的外圆壁面活动套设有拉簧，所述拉簧的一端与所述安装环的一端固定安装，所述拉簧的另一端与所述安装块的一侧固定安装，所述安装块的一侧开设有移动孔，所述移动孔的内圆壁面与所述固定柱的外圆壁面活动套设，所述固定柱的一端固定安装有连接柱。
[0018]通过采用上述技术方案，通过设置拉簧，拉簧与固定柱活动套设，进而当工作人员拉动固定柱后再松开，使得固定柱可以通过拉簧进行复位。
[0019]本技术提供了一种晶圆运送机构，有益效果在于：
[0020]通过设置防护组件，防护组件可以对晶圆运送过程中进行防护，防护组件通过橡胶块、移动块、第一弹簧、第二弹簧和固定块可以对晶圆进行固定和缓冲，从而在运送的过程中增加了对晶圆的防护，通过设置放置板4，放置板4设置在放置槽3的内部，进而可以将晶圆放置在放置板4上，使得防护组件对晶圆进行防护，通过设置固定块11，固定块11与第二弹簧10固定安装，当需要将晶圆进行放置时，先移动两个移动块7，然后将晶圆放置在橡胶块6上，随后松开移动块7，使得移动块7受到第一弹簧8的弹力进行复位，进而使得两个固定块11对晶圆进行夹持固定，通过第二弹簧10使得固定块11在对晶圆进行固定时进行缓
冲，固定完成后，可以使得晶圆在运送过程中，加强磕碰防护。
[0021]通过设置滑动块12，滑动块12与滑动槽15滑动卡接，进而当工作人员对移动块7进行移动时，通过滑动块12对移动块7进行限位，从而避免移动块7受到第一弹簧8的弹力产生偏移，通过设置卡接块16，卡接块16与卡接槽17可拆卸的卡接，进而当工作人员将放置板4放置在放置槽3的内部后，可以通过卡接块16对放置板4进行限位，通过设置固定柱20，固定柱20与固定槽19活动套设，进而当工作人员将放置板4进行放置后，使得卡接块16与卡接槽17可拆卸的卡接，通过固定柱20可以对放置板4进行限位固定，进而便于工作人员进行固定，通过设置拉簧23，拉簧23与固定柱20活动套设，进而当工作人员拉动固定柱20后再松开，使得固定柱20可以通过拉簧23进行复位。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆运送机构，其特征在于，包括：运送车(1)，所述运送车(1)的一侧固定安装有把手(2)，所述运送车(1)的顶面开设有放置槽(3)，所述放置槽(3)的内部设置有放置板(4)，所述放置板(4)的顶面开设有若干个活动槽(5)；防护组件，所述防护组件设置在所述放置板(4)的上方，用于对晶圆运送过程中进行防护。2.根据权利要求1所述的一种晶圆运送机构，其特征在于，所述防护组件包括：橡胶块(6)，所述橡胶块(6)固定安装在所述活动槽(5)的内部底面，所述活动槽(5)的内部设置有两个移动块(7)，所述移动块(7)的一侧固定安装有第一弹簧(8)，所述移动块(7)的一侧设置有限位柱(9)，所述限位柱(9)的外圆壁面活动套设有第二弹簧(10)，所述第二弹簧(10)的一端与所述移动块(7)的一侧固定安装，所述第二弹簧(10)的另一端固定安装有固定块(11)，所述固定块(11)的一侧与所述限位柱(9)的一端固定安装。3.根据权利要求2所述的一种晶圆运送机构，其特征在于，所述防护组件还包括：两个滑动块(12)，两个所述滑动块(12)分别固定安装在所述移动块(7)的两侧，所述移动块(7)的一侧开设有限位槽(13)，所述限位槽(13)的内圆壁面与所述限位柱(9)的外圆壁面活动套设，所述放置板(4)的顶面开设有若干个容纳槽(14)，所述容纳槽(14)与所述活动槽(5)相连通，所述容纳槽(14)的内壁面与所述移动块(7)活动套设，所述容纳槽(14)的内壁面...
【专利技术属性】
技术研发人员：靳国亮，冷文超，
申请(专利权)人：长三角一体化示范区浙江嘉善嘉芯半导体设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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