一种晶圆运送机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆运送机构，包括：运送车，所述运送车的一侧固定安装有把手，所述运送车的顶面开设有放置槽，所述放置槽的内部设置有放置板，所述放置板的顶面开设有若干个活动槽；防护组件，所述防护组件设置在所述放置板的上方，用于对晶圆运送过程中进行防护，放置板设置在放置槽的内部，进而可以将晶圆放置在放置板上，使得防护组件对晶圆进行防护，当需要将晶圆进行放置时，先移动两个移动块，然后将晶圆放置在橡胶块上，松开移动块，使得移动块受到第一弹簧的弹力进行复位，使得两个固定块对晶圆进行夹持固定，通过第二弹簧使得固定块在对晶圆进行固定时进行缓冲，固定完成后，可以使得晶圆在运送过程中，加强磕碰防护。护。护。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆运送机构


[0001]本技术涉及晶圆运输领域，尤其涉及一种晶圆运送机构。

技术介绍

[0002]晶圆在车间内进行生产加工的过程中，往往需要将晶圆在车间内进行运送，而晶圆由于自身特性，在发生碰撞时极易受损，影响晶圆的品质。
[0003]根据公开号为：CN215244913U的中国专利，一种半导体晶圆运送装置，包括运送车体，运送车体顶面具有位于后部的后储物槽、位于前部的前储物槽以及围合后储物槽且围合开口朝向运送车体前方的围板，围板内设置有至少一块置物板；运送车体具有小L型储物仓、大L型储物仓及设备仓，小L型储物仓的仓口位于后储物槽与前储物槽之间，大L型储物仓的仓口位于运送车体的前侧，小L型储物仓与大L型储物仓层叠设置，设备仓位于大L型储物仓下方；设备仓内设置有风机，风机的出风口对接有导风主管线，导风主管线引出两条分别导通小L型储物仓及大L型储物仓的导风支管线。
[0004]上述方案仍存在如下缺点：此晶圆运送机构在使用的过程中，通过小L型储物仓、大L型储物仓及设备仓对晶圆进行储存，进而在运送的过程中未对晶圆进行固定，从而在运送本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆运送机构，其特征在于，包括：运送车(1)，所述运送车(1)的一侧固定安装有把手(2)，所述运送车(1)的顶面开设有放置槽(3)，所述放置槽(3)的内部设置有放置板(4)，所述放置板(4)的顶面开设有若干个活动槽(5)；防护组件，所述防护组件设置在所述放置板(4)的上方，用于对晶圆运送过程中进行防护。2.根据权利要求1所述的一种晶圆运送机构，其特征在于，所述防护组件包括：橡胶块(6)，所述橡胶块(6)固定安装在所述活动槽(5)的内部底面，所述活动槽(5)的内部设置有两个移动块(7)，所述移动块(7)的一侧固定安装有第一弹簧(8)，所述移动块(7)的一侧设置有限位柱(9)，所述限位柱(9)的外圆壁面活动套设有第二弹簧(10)，所述第二弹簧(10)的一端与所述移动块(7)的一侧固定安装，所述第二弹簧(10)的另一端固定安装有固定块(11)，所述固定块(11)的一侧与所述限位柱(9)的一端固定安装。3.根据权利要求2所述的一种晶圆运送机构，其特征在于，所述防护组件还包括：两个滑动块(12)，两个所述滑动块(12)分别固定安装在所述移动块(7)的两侧，所述移动块(7)的一侧开设有限位槽(13)，所述限位槽(13)的内圆壁面与所述限位柱(9)的外圆壁面活动套设，所述放置板(4)的顶面开设有若干个容纳槽(14)，所述容纳槽(14)与所述活动槽(5)相连通，所述容纳槽(14)的内壁面与所述移动块(7)活动套设，所述容纳槽(14)的内壁面...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳国亮，冷文超，
申请(专利权)人：长三角一体化示范区浙江嘉善嘉芯半导体设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：