温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供了一种晶圆运送机构，包括：运送车，所述运送车的一侧固定安装有把手，所述运送车的顶面开设有放置槽，所述放置槽的内部设置有放置板，所述放置板的顶面开设有若干个活动槽；防护组件，所述防护组件设置在所述放置板的上方，用于对晶圆运送过程...该专利属于长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司授权不得商用。