一种便于调节的石墨卡点自动装卸机制造技术

技术编号:39216728 阅读:12 留言:0更新日期:2023-10-30 11:25
本实用新型专利技术公开了一种便于调节的石墨卡点自动装卸机,涉及装卸机技术领域,该便于调节的石墨卡点自动装卸机,包括机架,所述机架上开设有装卸槽,机架上设置有箱门,机架的内部设置有装卸机械臂,机架的内部固定连接有成品支撑架和待加工支撑架。该便于调节的石墨卡点自动装卸机,通过将前后挡板和左右挡板相对的一侧设置为倾斜面,因此当需要对石墨舟片进行加工时,装卸机械臂将其放置在前后挡板和左右挡板之间,此时通过前后挡板和左右挡板的倾斜面可以逐渐的对产生偏差的石墨舟片进行摆正,因此使其可以与机架上的定位孔之间进行精准对接,进而避免石墨舟片在加工过程中产生公差,因此确保成品良率,减少次品产生所造成的资源浪费。资源浪费。资源浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种便于调节的石墨卡点自动装卸机


[0001]本技术涉及装卸机
,特别涉及一种便于调节的石墨卡点自动装卸机。

技术介绍

[0002]在太阳能电池的生产过程中,PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)镀膜工艺是生产流程中的重要环节,起到举足轻重的作用。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时,需要将未镀膜的硅片插入PECVD镀膜设备的载片器上。目前,载片器通常采用石墨舟,具体操作过程是:将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上,然后,将载有硅片的石墨舟放置在PECVD镀膜设备中,采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。为了固定硅片于石墨舟中,石墨舟的石墨舟片上设有用于固定硅片的卡点,由于硅片在插取过程中会对卡点有一定的磨损及工艺过程中的烧焦,需要定期对卡点进行更换,以便保证石墨舟的良好状态,进而保证硅片的镀膜质量;
[0003]在对石墨片进行加工的时候,需要将石墨片通过上料装置,将石墨片移动到石墨卡点自动装卸机,进而将石墨片直接放在石墨卡点自动装卸机上,在石墨片掉落在石墨卡点自动装卸机上的时候,会使石墨片发生移位,然而现有的一些石墨卡点自动装卸机,在对石墨片进行加工的时候,不能对石墨片进行矫正,进而容易造成对石墨片的加工精度不高,影响后期的使用效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种便于调节的石墨卡点自动装卸机,能够解决
技术介绍
的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种便于调节的石墨卡点自动装卸机,包括机架,所述机架上开设有装卸槽,机架上设置有箱门,机架的内部设置有装卸机械臂,机架的内部固定连接有成品支撑架和待加工支撑架,机架的表面上开设有两个滑槽,机架上设置有限位机构。
[0006]优选的,所述限位机构包括两个两前后挡板,两个前后挡板滑动连接在机架的表面,两个前后挡板相对的一侧设置有两个左右挡板,两个左右挡板和两个前后挡板相对的一侧均为倾斜面,两个前后挡板上分别固定连接有两个滑块,滑块分别滑动连接在两个滑槽的内部。
[0007]优选的,两个所述左右挡板的两侧上分别固定连接有限位杆,前后挡板上开设有移动槽,限位杆滑动连接在移动槽的内部,限位杆上活动套接有限位弹簧,限位弹簧的两端分别固定连接在限位杆的表面和前后挡板上。
[0008]优选的,所述滑槽的内部转动连接有螺纹杆,螺纹杆以中心位置开设两端螺纹相反,每个滑槽内部的两个滑块分别螺纹连接在螺纹杆的正反螺纹上。
[0009]优选的,所述限位杆上均滑动连接有两个顶块,顶块的一端延伸至限位杆的内部,顶块延伸至限位杆内部的一端上活动套接有复位弹簧,复位弹簧的两端分别固定连接在顶块和限位杆的内壁上,限位杆的内部滑动连接有限位块,限位杆上螺纹连接有丝杠,丝杠与限位块转动连接。
[0010]优选的,所述限位块为三角形,顶块位于限位杆内部的一端为弧形。
[0011]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0012](1)、该便于调节的石墨卡点自动装卸机,通过将前后挡板和左右挡板相对的一侧设置为倾斜面,因此当需要对石墨舟片进行加工时,装卸机械臂将其放置在前后挡板和左右挡板之间,此时通过前后挡板和左右挡板的倾斜面可以逐渐的对产生偏差的石墨舟片进行摆正,因此使其可以与机架上的定位孔之间进行精准对接,进而避免石墨舟片在加工过程中产生公差,因此确保成品良率,减少次品产生所造成的资源浪费。
[0013](2)、该便于调节的石墨卡点自动装卸机,通过将滑块与螺纹杆螺纹连接,因此当转动螺纹杆时,滑块带动两个前后挡板进行相对或者是相背的移动,因此使得前后挡板在面对不同宽度的石墨舟片时都可以有效的对其进行限位和摆正。
[0014](3)、该便于调节的石墨卡点自动装卸机,当需要控制两个左右挡板之间的间距时,只需要将其移动至相对应的位置,此时转动丝杠,丝杠的转动使其带动限位块向着顶块移动,随着限位块的直径不断变大,因此顶块伸出限位杆的表面并与移动槽的内壁抵触,因此完成对两个左右挡板之间的移动和固定。
附图说明
[0015]下面结合附图和实施例对本技术进一步地说明:
[0016]图1为本技术一种便于调节的石墨卡点自动装卸机的结构示意图;
[0017]图2为本技术机架前视示意图;
[0018]图3为本技术图1中A处放大示意图;
[0019]图4为本技术限位杆俯视示意图;
[0020]图5为本技术限位杆前视示意图。
[0021]附图标记:1、机架;2、箱门;3、限位块;4、丝杠;5、装卸槽;6、前后挡板;7、左右挡板;8、螺纹杆;9、装卸机械臂;10、成品支撑架;11、待加工支撑架;12、移动槽;13、限位杆;14、限位弹簧;15、滑槽;16、滑块;17、顶块;18、复位弹簧。
具体实施方式
[0022]本部分将详细描述本技术的具体实施例,本技术之较佳实施例在附图中示出,附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述,使人能够直观地、形象地理解本技术的每个技术特征和整体技术方案,但其不能理解为对本技术保护范围的限制。
[0023]请参阅图1

5,本技术提供一种技术方案:一种便于调节的石墨卡点自动装卸机,包括机架1,机架1上开设有装卸槽5,机架1上设置有箱门2,机架1的内部设置有装卸机械臂9,机架1的内部固定连接有成品支撑架10和待加工支撑架11,机架1的表面上开设有两个滑槽15,机架1上设置有限位机构;
[0024]其中,待加工石墨舟片放置在待加工支撑架11上,加工完毕的石墨舟片放置在成品支撑架10上;
[0025]其中,装卸机械臂9可以进行X轴和Y轴移动,并通过开设的装卸槽5使得装卸机械臂9可以伸出至机架1的上表面,因此通过装卸机械臂9的移动来完成对石墨舟片的装卸;
[0026]进一步的,限位机构包括两个两前后挡板6,两个前后挡板6滑动连接在机架1的表面,两个前后挡板6相对的一侧设置有两个左右挡板7,两个左右挡板7和两个前后挡板6相对的一侧均为倾斜面,两个前后挡板6上分别固定连接有两个滑块16,滑块16分别滑动连接在两个滑槽15的内部;
[0027]其中,滑槽15的内部转动连接有螺纹杆8,螺纹杆8以中心位置开设两端螺纹相反,每个滑槽15内部的两个滑块16分别螺纹连接在螺纹杆8的正反螺纹上;
[0028]通过将前后挡板6和左右挡板7相对的一侧设置为倾斜面,因此当需要对石墨舟片进行加工时,装卸机械臂9将其放置在前后挡板6和左右挡板7之间,此时通过前后挡板6和左右挡板7的倾斜面可以逐渐的对产生偏差的石墨舟片进行摆正,因此使其可以与机架1上的定位孔之间进行精准对接,进而避免石墨舟片在加工过程中产生公差,因此确保成品良率,减少次品产生所造成本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于调节的石墨卡点自动装卸机,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)上开设有装卸槽(5),机架(1)上设置有箱门(2),机架(1)的内部设置有装卸机械臂(9),机架(1)的内部固定连接有成品支撑架(10)和待加工支撑架(11),机架(1)的表面上开设有两个滑槽(15),机架(1)上设置有限位机构。2.根据权利要求1所述的一种便于调节的石墨卡点自动装卸机,其特征在于:所述限位机构包括两个两前后挡板(6),两个前后挡板(6)滑动连接在机架(1)的表面,两个前后挡板(6)相对的一侧设置有两个左右挡板(7),两个左右挡板(7)和两个前后挡板(6)相对的一侧均为倾斜面,两个前后挡板(6)上分别固定连接有两个滑块(16),滑块(16)分别滑动连接在两个滑槽(15)的内部。3.根据权利要求2所述的一种便于调节的石墨卡点自动装卸机,其特征在于:两个所述左右挡板(7)的两侧上分别固定连接有限位杆(13),前后挡板(6)上开设有移动槽(12),限位杆(13)滑动连接在移动槽(12)的内部,限位杆(13)上活动套...

【专利技术属性】
技术研发人员:李平
申请(专利权)人:昆山集晨智能装备有限公司
类型:新型
国别省市:

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