一种改进型的蒸发磁控真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术提供一种改进型的蒸发磁控真空镀膜机，包括蒸发磁控真空镀膜机本体，蒸发磁控真空镀膜机本体左部前侧铰接有机门；蒸发磁控真空镀膜机本体上部中间部位螺栓连接有驱动电机，且驱动电机的输出轴下端贯穿蒸发磁控真空镀膜机本体内部中上侧；蒸发磁控真空镀膜机本体内侧上部设置有上支撑盘。本实用新型专利技术内花键套管，花键轴，安装轴，第一从动齿轮，第二从动齿轮，第三从动齿轮，固定柱，第一固定齿轮，第二固定齿轮和第三固定齿轮的设置，有利于实现便于单独调整置物架的旋转速度的功能，使设备能够处理不同加工要求的零件，使用更加方便。方便。方便。

【技术实现步骤摘要】
一种改进型的蒸发磁控真空镀膜机


[0001]本技术属于真空镀膜机
，尤其涉及一种改进型的蒸发磁控真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，公开号为CN208791737U的一种物理气相沉积磁控蒸发地真空镀膜设备，包括：配电箱、仓门、密封胶条、安装架、磁控溅射仓、接线口、观察窗、把手、蒸发仓、仓体、通气口、磁控溅射装置、蒸发装置、置物架、传动轴、驱动电机、减速机、齿轮传动箱、驱动齿轮、从动齿轮、连接件、上固定板、固定杆、下固定板、极板、磁铁、铜背板、靶材、坩埚、导电支架、隔板、蒸发电源；所述仓门位于仓体的两侧。
[0003]现有的蒸发磁控真空镀膜机在使用的过程中还存在着一些问题，比如：在镀膜过程中，置物架的旋转速度均相等，无法进行单独调整，从而可能导致设备只能处理相同加工要求的零件，使用较为不便。

技术实现思路

[0004]为了解决上述存在的技术问题，本技术提供一种改进型的蒸发磁控真空镀膜机，其能够实现便于单独调整置物架的旋转速度的功能，使设备能够处理不同加工要求的零件，使用更加方便。
[0005]其技术方案是这样的：一种改进型的蒸发磁控真空镀膜机，包括蒸发磁控真空镀膜机本体，蒸发磁控真空镀膜机本体左部前侧铰接有机门；蒸发磁控真空镀膜机本体上部中间部位螺栓连接有驱动电机，且驱动电机的输出轴下端贯穿蒸发磁控真空镀膜机本体内部中上侧；蒸发磁控真空镀膜机本体内侧上部设置有上支撑盘，且上支撑盘的上部中间部位与驱动电机的输出轴下端螺栓连接设置，其中上支撑盘的下侧设置有下支撑盘；下支撑盘与上支撑盘之间内部四周部位分别纵向轴承连接有置物旋转架，且置物旋转架的下端均贯穿下支撑盘的内部；置物旋转架外壁的两侧分别从上到下依次一体化连接有挂钩，其特征在于，蒸发磁控真空镀膜机本体内侧底部中间部位纵向螺栓连接有固定柱，且固定柱外壁从下到上依次键连接有第一固定齿轮，第二固定齿轮和第三固定齿轮；置物旋转架的下端均连接有可调从动齿轮结构。
[0006]优选的，所述的可调从动齿轮结构设置有多个，分别包括内花键套管，内花键套管内部插接有花键轴，并通过螺栓紧固连接设置；花键轴下端一体化连接有安装轴，且安装轴的外壁从上到下依次键连接有第一从动齿轮，第二从动齿轮和第三从动齿轮。
[0007]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0008]本技术中，所述的内花键套管，花键轴，安装轴，第一从动齿轮，第二从动齿轮，第三从动齿轮，固定柱，第一固定齿轮，第二固定齿轮和第三固定齿轮的设置，有利于实
现便于单独调整置物架的旋转速度的功能，使设备能够处理不同加工要求的零件，使用更加方便；本蒸发磁控真空镀膜机中设置有尺寸不同的从动齿轮和固定齿轮，从而第三从动齿轮与第一固定齿轮啮合时，置物旋转架是一种旋转速度，第二从动齿轮与第二固定齿轮啮合时，置物旋转架是另一种旋转速度，第一从动齿轮与第三固定齿轮啮合时，置物旋转架又是一种旋转速度，从而置物旋转架能够以不同的速度进行旋转移动，进而便于操作人员根据零件的加工要求对置物旋转架的旋转速度进行调节。
附图说明
[0009]图1是本技术的结构示意图。
[0010]图2是本技术的可调从动齿轮结构的结构示意图。
[0011]图3是本技术的可调从动齿轮结构使用时的正视示意图。
[0012]图中：
[0013]1、蒸发磁控真空镀膜机本体；2、支撑腿；3、机门；4、驱动电机；5、上支撑盘；6、下支撑盘；7、置物旋转架；8、挂钩；9、固定柱；10、第一固定齿轮；11、第二固定齿轮；12、第三固定齿轮；13、可调从动齿轮结构；131、内花键套管；132、花键轴；133、安装轴；134、第一从动齿轮；135、第二从动齿轮；136、第三从动齿轮。
具体实施方式
[0014]下面结合附图对本技术进行具体描述，如附图1和附图2所示，一种改进型的蒸发磁控真空镀膜机，包括蒸发磁控真空镀膜机本体1，蒸发磁控真空镀膜机本体1左部前侧铰接有机门3；蒸发磁控真空镀膜机本体1上部中间部位螺栓连接有驱动电机4，且驱动电机4的输出轴下端贯穿蒸发磁控真空镀膜机本体1内部中上侧；蒸发磁控真空镀膜机本体1内侧上部设置有上支撑盘5，且上支撑盘5的上部中间部位与驱动电机4的输出轴下端螺栓连接设置，其中上支撑盘5的下侧设置有下支撑盘6；下支撑盘6与上支撑盘5之间内部四周部位分别纵向轴承连接有置物旋转架7，且置物旋转架7的下端均贯穿下支撑盘6的内部；置物旋转架7外壁的两侧分别从上到下依次一体化连接有挂钩8；蒸发磁控真空镀膜机本体1内侧底部中间部位纵向螺栓连接有固定柱9，且固定柱9外壁从下到上依次键连接有第一固定齿轮10，第二固定齿轮11和第三固定齿轮12。
[0015]其中一种改进型的蒸发磁控真空镀膜机，还包括可调从动齿轮结构13，并且可调从动齿轮结构13与置物旋转架7相连接，有利于实现便于单独调整置物架的旋转速度的功能，使设备能够处理不同加工要求的零件，使用更加方便。
[0016]其中，所述的可调从动齿轮结构13设置有多个，分别包括内花键套管131，内花键套管131内部插接有花键轴132，并通过螺栓紧固连接设置；花键轴132下端一体化连接有安装轴133，且安装轴133的外壁从上到下依次键连接有第一从动齿轮134，第二从动齿轮135和第三从动齿轮136。
[0017]本实施方案中，具体的，所述的内花键套管131上端中间部位分别与置物旋转架7的下端一体化连接设置。
[0018]本实施方案中，具体的，所述的蒸发磁控真空镀膜机本体1下部四角部位分别固定安装有支撑腿2。
[0019]本实施方案中，具体的，所述的第三从动齿轮136分别与第一固定齿轮10的外侧四周部位啮合设置。
[0020]本实施方案中，结合附图3所示，所述的第一从动齿轮134，第二从动齿轮135和第三从动齿轮136均采用钢齿轮，且第三从动齿轮136的齿顶圆直径小于第二从动齿轮135的齿顶圆直径，而第二从动齿轮135的齿顶圆直径小于第一从动齿轮134的齿顶圆直径。
[0021]本实施方案中，结合附图3所示，所述的第一固定齿轮10，第二固定齿轮11和第三固定齿轮12均采用钢齿轮，且第三固定齿轮12的齿顶圆直径小于第二固定齿轮11的齿顶圆直径，而第二固定齿轮11的齿顶圆直径小于第一固定齿轮10的齿顶圆直径。
[0022]本实施方案中，具体的，所述的驱动电机4采用AKM2G系列伺服电动机，且驱动电机4与外置的控制面板电性连接设置。
[0023]工作原理
[0024]本技术中，调整置物旋转架7的旋转速度时，首先需要通过外置的扳手松动紧固内花键套管131与花键轴132的螺栓，使花键轴132能够在内花键套管131的内部进行滑动，随后向上或向下移动花键轴132，使花键本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改进型的蒸发磁控真空镀膜机，包括蒸发磁控真空镀膜机本体(1)，蒸发磁控真空镀膜机本体(1)左部前侧铰接有机门(3)；蒸发磁控真空镀膜机本体(1)上部中间部位螺栓连接有驱动电机(4)，且驱动电机(4)的输出轴下端贯穿蒸发磁控真空镀膜机本体(1)内部中上侧；蒸发磁控真空镀膜机本体(1)内侧上部设置有上支撑盘(5)，且上支撑盘(5)的上部中间部位与驱动电机(4)的输出轴下端螺栓连接设置，其中上支撑盘(5)的下侧设置有下支撑盘(6)；下支撑盘(6)与上支撑盘(5)之间内部四周部位分别纵向轴承连接有置物旋转架(7)，且置物旋转架(7)的下端均贯穿下支撑盘(6)的内部；置物旋转架(7)外壁的两侧分别从上到下依次一体化连接有挂钩(8)，其特征在于，蒸发磁控真空镀膜机本体(1)内侧底部中间部位纵向螺栓连接有固定柱(9)，且固定柱(9)外壁从下到上依次键连接有第一固定齿轮(10)，第二固定齿轮(11)和第三固定齿轮(12)；置物旋转架(...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑立冬，夏晓谦，张燕娇，王涛，
申请(专利权)人：山东瑞科森真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：