一种芯片检测用检测装置及其检测方法制造方法及图纸

技术编号:39181970 阅读:11 留言:0更新日期:2023-10-27 08:29
本发明专利技术公开了一种芯片检测用检测装置,包括透明输送带和底部水池。有益效果:本发明专利技术采用了透明输送带,透明输送带采用PU材质,芯片槽根据芯片尺寸开设,芯片槽内壁与芯片边缘外壁过盈配合,使芯片能够稳定的安插在芯片槽中,步进电机带动第一皮带轮转动,进而通过连接皮带带动第二皮带轮转动,进而带动驱动辊转动,进而带动透明输送带和芯片移动,透明输送带在内部导向辊和压辊的导向下进入到耦合剂池中,透明输送带带动芯片经过超声探头正下方,完成超声检测,透明输送带循环进行转动,在超声探头检测的过程中,工作人员可同步进行芯片的安插固定工作,避免了芯片安装时无法进行检测的问题,提高了检测效率,进而提高了工作效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片检测用检测装置及其检测方法


[0001]本专利技术涉及芯片检测
,具体来说,涉及一种芯片检测用检测装置及其检测方法。

技术介绍

[0002]成品芯片需要通过检测从而得出其是否合格,目前通过超声波检测芯片也越来越普遍,经过检索后发现,公开号为CN110319800B,名称为一种成品芯片检测用超声波检测装置及其检测方法,该申请提出了一种利用超声波对成品芯片进行检测的装置和方法,通过将待检测芯片通过芯片入口插入芯片安装板,第一电机输出轴带动第二皮带轮转动,第二皮带轮通过皮带带动第一皮带轮转动,第一皮带轮带动第一丝杠转动,第一丝杠配合表面的丝套带动安装架移动,安装架带动固定板在单轨表面滑动,固定板挤压挡块后安装架停止移动,固定板的设置有效防止固定板在单轨表面滑脱的情况,同时帮助立杆底部的芯片安装板可以准确的定位在清洗容器正上方,第二电机输出轴带动第四皮带轮转动,第四皮带轮通过皮带带动第三皮带轮转动,第三皮带轮带动第二丝杠转动,第二丝杠配合表面的丝套带动活动块延立轨向下移动,进而活动块带动立杆向下移动,立杆带动底部的芯片安装板向下移动,芯片安装板带动芯片插入清洗容器内的相应芯片卡槽之间。该检测装置通过第一丝杠、第二丝杠的水平、纵向设置,使得芯片安装板移动移动至芯片入口处从而方便芯片安装在芯片固定板上,同时该设置可以通过丝杠驱动将芯片插入芯片卡槽内,无需人为插入芯片,通过在清洗容器内设置多个芯片卡槽,使得该检测装置可以同时对多个芯片进行检测,并通过伸缩气缸输出端活塞杆收缩,带动安装板底部的杆套在固定杆上滑动,进而安装板通过支撑条带动下支撑板移动,当支撑条移动到第二通槽端部时,即可从芯片卡槽内取出芯片,通过伸缩气缸、支撑条的设置,便于下支撑板的移动,不会因为上支撑板而影响取出芯片,具有一定的便利性。
[0003]但是,该申请在实际检测的过程中,仍需要工作人员将芯片插入到芯片入口,同时,在芯片装入到芯片槽的过程中,无法对芯片进行超声波检测,只有芯片安装就位后才能进行检测,安装固定过程较为耗费时间,影响连续检测效率,进而影响工作效率,同时,该申请仍需要人工将检测完成的芯片取下,也较为麻烦,影响使用的便利性,还可以进一步做出改进。
[0004]针对相关技术中的问题,目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种芯片检测用检测装置及其检测方法,具备提高了检测效率和使用的便利性的优点,进而解决上述
技术介绍
中的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现上述提高了检测效率和使用的便利性的优点,本专利技术采用的具体技术方案
如下:
[0009]一种芯片检测用检测装置,包括透明输送带和底部水池,所述底部水池上方设置有耦合剂池,且耦合剂池两侧固定连接有底板,并且底板通过第二支腿与底部水池内底面固定连接,所述底板顶面固定安装有第一支腿,且第一支腿顶面固定安装有顶板,并且顶板底面固定安装有直线滑台,所述直线滑台输出端安装有滑台移动块,且滑台移动块底面通过安装架固定安装有超声探头,并且超声探头检测端延伸至耦合剂池中,所述底板两端顶面分别架设有第一导向辊和倾斜导向辊,且底板两端底面分别架设有驱动辊和第二导向辊,所述耦合剂池内底面位于超声探头两侧架设有压辊,且耦合剂池顶口两端架设有内部导向辊,所述透明输送带套接在第一导向辊、倾斜导向辊、第二导向辊、驱动辊和内部导向辊的外侧,且透明输送带穿过压辊下方并与压辊抵接,所述底板一端顶面固定安装有步进电机,且步进电机输出端安装有第一皮带轮,所述驱动辊两端中心位置固定安装有第三辊轴,且第三辊轴一端固定套接有第二皮带轮,并且第二皮带轮与第一皮带轮通过连接皮带连接,所述透明输送带表面开设有芯片槽,且芯片槽内壁与芯片外边缘过盈配合,所述底部水池另一端顶面通过支架固定安装有顺料槽,且顺料槽顶部延伸至倾斜导向辊下方。
[0010]进一步的,所述透明输送带采用PU材质,且透明输送带另一侧表面经过拉毛处理。
[0011]进一步的,所述底部水池内底面固定安装有第一辊架,且第一辊架之间转动连接有压辊,并且压辊两端中心位置固定连接有第一辊轴,所述第一辊轴贯穿第一辊架并与第一辊架转动连接,所述压辊表面固定套接有压环,且压环布置于芯片槽之间,并且压环与透明输送带滚动抵接。
[0012]进一步的,所述底部水池顶口内壁固定安装有第二辊架,且第二辊架之间转动连接有内部导向辊,并且内部导向辊两端固定连接有第二辊轴,所述第二辊轴贯穿第二辊架并与第二辊架转动连接。
[0013]进一步的,所述底板一端底面固定安装有第三辊架,且第三辊架之间转动连接有驱动辊,所述第三辊轴贯穿第三辊架并与第三辊架转动连接。
[0014]进一步的,所述底部水池前方固定安装有循环泵,且循环泵进液端通过抽水管与底部水池贯通连接,并且循环泵出水端通过回流管与耦合剂池贯通连接。
[0015]进一步的,所述底板一端顶面固定架设有承载台,且承载台顶面与透明输送带内侧表面滑动抵接。
[0016]进一步的,所述顺料槽顶部表面位于底部水池另一端上方开设有透水孔,且透水孔密集分布有多个。
[0017]进一步的,所述芯片槽等间距开设有多个,且芯片槽之间的间距大于压环宽度。
[0018]一种芯片检测用检测方法,包括一种芯片检测用检测装置,具体检测步骤如下:
[0019]S1、准备阶段:向耦合剂池中加注耦合剂,耦合剂为去离子水,液面没过超声探头底部,超声探头配合使用有水浸超声扫描显微镜及检测主机,开始芯片检测前需要调试水浸超声扫描显微镜及检测主机,并通过检测主机录入待测芯片的工件信息,设置扫描范围、厚度,并进行对焦,调试完成后,即可开始检测。
[0020]S2、检测阶段:打开步进电机及循环泵,将芯片安插到芯片槽中,保持芯片安装方向一致,步进电机带动第一皮带轮转动,进而通过连接皮带带动第二皮带轮转动,进而带动驱动辊转动,进而带动透明输送带和芯片移动,透明输送带在内部导向辊和压辊的导向下
进入到耦合剂池中,透明输送带带动芯片经过超声探头正下方,超声探头进行检测,找出波形,根据相应波形生成扫描图像,并通过检测主机生成芯片缺陷分析报告,即可完成检测。
[0021]S3、卸料阶段:透明输送带在倾斜导向辊处转弯时产生大角度弯折,从而时芯片槽发生扩张,芯片被挤出芯片槽掉落到顺料槽顶面滑落,完成芯片的自动卸料。
[0022](三)有益效果
[0023]与现有技术相比,本专利技术提供了一种芯片检测用检测装置及其检测方法,具备以下有益效果:
[0024](1)、本专利技术采用了透明输送带,透明输送带外表面等间距开设有芯片槽,在芯片检测时,可将芯片在承载台位置放入到芯片槽中,透明输送带采用PU材质,芯片槽根据芯片尺寸开设,芯片槽内壁与芯片边缘外壁过盈配合,使芯片能够稳定的安插在芯片槽中,步进电机带动第一皮带轮转动,进而通过连接皮带带动第二皮带轮转动,进而带动驱动辊转动,进而带动本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片检测用检测装置,其特征在于,包括透明输送带(2)和底部水池(9),所述底部水池(9)上方设置有耦合剂池(1),且耦合剂池(1)两侧固定连接有底板(10),并且底板(10)通过第二支腿(12)与底部水池(9)内底面固定连接,所述底板(10)顶面固定安装有第一支腿(3),且第一支腿(3)顶面固定安装有顶板(4),并且顶板(4)底面固定安装有直线滑台(5),所述直线滑台(5)输出端安装有滑台移动块(6),且滑台移动块(6)底面通过安装架(7)固定安装有超声探头(8),并且超声探头(8)检测端延伸至耦合剂池(1)中,所述底板(10)两端顶面分别架设有第一导向辊(17)和倾斜导向辊(21),且底板(10)两端底面分别架设有驱动辊(13)和第二导向辊(20),所述耦合剂池(1)内底面位于超声探头(8)两侧架设有压辊(18),且耦合剂池(1)顶口两端架设有内部导向辊(19),所述透明输送带(2)套接在第一导向辊(17)、倾斜导向辊(21)、第二导向辊(20)、驱动辊(13)和内部导向辊(19)的外侧,且透明输送带(2)穿过压辊(18)下方并与压辊(18)抵接,所述底板(10)一端顶面固定安装有步进电机(15),且步进电机(15)输出端安装有第一皮带轮(16),所述驱动辊(13)两端中心位置固定安装有第三辊轴(33),且第三辊轴(33)一端固定套接有第二皮带轮(34),并且第二皮带轮(34)与第一皮带轮(16)通过连接皮带(14)连接,所述透明输送带(2)表面开设有芯片槽(27),且芯片槽(27)内壁与芯片外边缘过盈配合,所述底部水池(9)另一端顶面通过支架(23)固定安装有顺料槽(22),且顺料槽(22)顶部延伸至倾斜导向辊(21)下方。2.根据权利要求1所述的一种芯片检测用检测装置,其特征在于,所述透明输送带(2)采用PU材质,且透明输送带(2)另一侧表面经过拉毛处理。3.根据权利要求1所述的一种芯片检测用检测装置,其特征在于,所述底部水池(9)内底面固定安装有第一辊架(29),且第一辊架(29)之间转动连接有压辊(18),并且压辊(18)两端中心位置固定连接有第一辊轴(30),所述第一辊轴(30)贯穿第一辊架(29)并与第一辊架(29)转动连接,所述压辊(18)表面固定套接有压环(28),且压环(28)布置于芯片槽(27)之间,并且压环(28)与透明输送带(2)滚动抵接。4.根据权利要求1所述的一种芯片检测用检测装置,其特征在于,所述底部水池(9)顶口内壁固定安装有第二辊架(31),且第二辊架(31)之间转动连接有内部导向辊(19),并且内部导向辊(...

【专利技术属性】
技术研发人员:苏伟雄黄晓波刘春燕
申请(专利权)人:江西龙芯微科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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